公开(公告)号：US20120220076A1

公开(公告)日：2012-08-30

申请号：US13466275

申请日：2012-05-08

申请人： Manchao Xiao ,  Liu Yang ,  Xinjian Lei ,  Iain Buchanan

发明人： Manchao Xiao ,  Liu Yang ,  Xinjian Lei ,  Iain Buchanan

IPC分类号： H01L21/06

CPC分类号： H01L21/06 ,  C23C18/1204 ,  C23C18/1225 ,  H01L21/0256 ,  H01L21/02562 ,  H01L21/02568 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02658 ,  H01L31/0296 ,  H01L31/032 ,  H01L31/0322 ,  H01L45/06 ,  H01L45/144 ,  H01L45/1608 ,  Y02E10/541

摘要： Described herein is a method and liquid-based precursor composition for depositing a multicomponent film. In one embodiment, the method and compositions described herein are used to deposit Germanium Tellurium (GeTe), Antimony Tellurium (SbTe), Antimony Germanium (SbGe), Germanium Antimony Tellurium (GST), Indium Antimony Tellurium (IST), Silver Indium Antimony Tellurium (AIST), Cadmium Telluride (CdTe), Cadmium Selenide (CdSe), Zinc Telluride (ZnTe), Zinc Selenide (ZnSe), Copper indium gallium selenide (CIGS) films or other tellurium and selenium based metal compounds for phase change memory and photovoltaic devices.

公开(公告)号：US20120034767A1

公开(公告)日：2012-02-09

申请号：US13023145

申请日：2011-02-08

申请人： Manchao Xiao ,  Liu Yang ,  Xinjian Lei ,  Iain Buchanan

发明人： Manchao Xiao ,  Liu Yang ,  Xinjian Lei ,  Iain Buchanan

IPC分类号： H01L21/36

CPC分类号： H01L21/06 ,  C23C18/1204 ,  C23C18/1225 ,  H01L21/0256 ,  H01L21/02562 ,  H01L21/02568 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02658 ,  H01L31/0296 ,  H01L31/032 ,  H01L31/0322 ,  H01L45/06 ,  H01L45/144 ,  H01L45/1608 ,  Y02E10/541

摘要： Described herein is a method and liquid-based precursor composition for depositing a multicomponent film. In one embodiment, the method and compositions described herein are used to deposit Germanium Tellurium (GeTe), Antimony Tellurium (SbTe), Antimony Germanium (SbGe), Germanium Antimony Tellurium (GST), Indium Antimony Tellurium (IST), Silver Indium Antimony Tellurium (AIST), Cadmium Telluride (CdTe), Cadmium Selenide (CdSe), Zinc Telluride (ZnTe), Zinc Selenide (ZnSe), Copper indium gallium selenide (CIGS) films or other tellurium and selenium based metal compounds for phase change memory and photovoltaic devices.

摘要翻译： 本文描述了一种用于沉积多组分膜的方法和基于液体的前体组合物。 在一个实施方案中，本文所述的方法和组合物用于沉积锗碲（GeTe），锑碲（SbTe），锑锗（SbGe），锗锑碲（GST），铟锑碲（IST），银铟锑碲 （AIST），碲化镉（CdTe），硒化镉（CdSe），碲化锌（ZnTe），硒化锌（ZnSe），铜铟镓硒（CIGS）膜或其他用于相变记忆和光伏的碲和硒基金属化合物 设备。

公开(公告)号：US08906455B2

公开(公告)日：2014-12-09

申请号：US13624190

申请日：2012-09-21

申请人： Liu Yang ,  Xinjian Lei ,  Bing Han ,  Manchao Xiao ,  Eugene Joseph Karwacki, Jr. ,  Hansong Cheng

发明人： Liu Yang ,  Xinjian Lei ,  Bing Han ,  Manchao Xiao ,  Eugene Joseph Karwacki, Jr. ,  Hansong Cheng

IPC分类号： C23C16/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/316 ,  H01L21/318 ,  C23C16/34 ,  H01L21/314 ,  C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  C23C16/30

CPC分类号： H01L21/02271 ,  C23C16/308 ,  C23C16/345 ,  C23C16/401 ,  C23C16/45536 ,  H01L21/02126 ,  H01L21/0214 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/0217 ,  H01L21/02211 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/0228 ,  H01L21/3145 ,  H01L21/31608 ,  H01L21/31633 ,  H01L21/3185

摘要： This invention discloses the method of forming silicon nitride, silicon oxynitride, silicon oxide, carbon-doped silicon nitride, carbon-doped silicon oxide and carbon-doped oxynitride films at low deposition temperatures. The silicon containing precursors used for the deposition are monochlorosilane (MCS) and monochloroalkylsilanes. The method is preferably carried out by using plasma enhanced atomic layer deposition, plasma enhanced chemical vapor deposition, and plasma enhanced cyclic chemical vapor deposition.

摘要翻译： 本发明公开了在低沉积温度下形成氮化硅，氮氧化硅，氧化硅，碳掺杂氮化硅，碳掺杂氧化硅和碳掺杂氧氮化物膜的方法。 用于沉积的含硅前体是一氯硅烷（MCS）和一氯代烷基硅烷。 该方法优选通过使用等离子体增强原子层沉积，等离子体增强化学气相沉积和等离子体增强循环化学气相沉积来进行。

公开(公告)号：US08507040B2

公开(公告)日：2013-08-13

申请号：US13156501

申请日：2011-06-09

申请人： Manchao Xiao ,  Xinjian Lei ,  Liu Yang

发明人： Manchao Xiao ,  Xinjian Lei ,  Liu Yang

IPC分类号： C23C16/06 ,  C23C16/08 ,  C23C16/18

CPC分类号： C23C16/305 ,  C23C16/45553

摘要： This invention discloses the synthesis of metal chalcogenides using chemical vapor deposition (CVD) process, atomic layer deposition (ALD) process, or wet solution process. Ligand exchange reactions of organosilyltellurium or organosilylselenium with a series of metal compounds having neucleophilic substituents generate metal chalcogenides. This chemistry is used to deposit germanium-antimony-tellurium (GeSbTe) and germanium-antimony-selenium (GeSbSe) films or other tellurium and selenium based metal compounds for phase change memory and photovoltaic devices.

摘要翻译： 本发明公开了使用化学气相沉积（CVD）工艺，原子层沉积（ALD）工艺或湿法工艺的金属硫族化合物的合成。 有机甲硅烷基碲或有机甲硅烷基硒与一系列具有亲核取代基的金属化合物的配体交换反应产生金属硫族化物。 该化学物质用于沉积锗 - 锑碲（GeSbTe）和锗 - 锑 - 硒（GeSbSe）膜或其他碲和硒基金属化合物用于相变记忆和光伏器件。

公开(公告)号：US20120171378A1

公开(公告)日：2012-07-05

申请号：US13156501

申请日：2011-06-09

申请人： Manchao Xiao ,  Xinjian Lei ,  Liu Yang

发明人： Manchao Xiao ,  Xinjian Lei ,  Liu Yang

IPC分类号： C23C16/30 ,  B05D3/10

CPC分类号： C23C16/305 ,  C23C16/45553

摘要： This invention discloses the synthesis of metal chalcogenides using chemical vapor deposition (CVD) process, atomic layer deposition (ALD) process, or wet solution process. Ligand exchange reactions of organosilyltellurium or organosilylselenium with a series of metal compounds having neucleophilic substituents generate metal chalcogenides. This chemistry is used to deposit germanium-antimony-tellurium (GeSbTe) and germanium-antimony-selenium (GeSbSe) films or other tellurium and selenium based metal compounds for phase change memory and photovoltaic devices.

摘要翻译： 本发明公开了使用化学气相沉积（CVD）工艺，原子层沉积（ALD）工艺或湿法工艺的金属硫族化合物的合成。 有机甲硅烷基碲或有机甲硅烷基硒与一系列具有亲核取代基的金属化合物的配体交换反应产生金属硫族化物。 该化学物质用于沉积锗 - 锑碲（GeSbTe）和锗 - 锑 - 硒（GeSbSe）膜或其他碲和硒基金属化合物用于相变记忆和光伏器件。

公开(公告)号：US08193027B2

公开(公告)日：2012-06-05

申请号：US13023145

申请日：2011-02-08

申请人： Manchao Xiao ,  Liu Yang ,  Xinjian Lei ,  Iain Buchanan

发明人： Manchao Xiao ,  Liu Yang ,  Xinjian Lei ,  Iain Buchanan

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L21/06 ,  H01L21/44 ,  H01L21/469

CPC分类号： H01L21/06 ,  C23C18/1204 ,  C23C18/1225 ,  H01L21/0256 ,  H01L21/02562 ,  H01L21/02568 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02658 ,  H01L31/0296 ,  H01L31/032 ,  H01L31/0322 ,  H01L45/06 ,  H01L45/144 ,  H01L45/1608 ,  Y02E10/541

摘要： Described herein is a method and liquid-based precursor composition for depositing a multicomponent film. In one embodiment, the method and compositions described herein are used to deposit Germanium Tellurium (GeTe), Antimony Tellurium (SbTe), Antimony Germanium (SbGe), Germanium Antimony Tellurium (GST), Indium Antimony Tellurium (IST), Silver Indium Antimony Tellurium (AIST), Cadmium Telluride (CdTe), Cadmium Selenide (CdSe), Zinc Telluride (ZnTe), Zinc Selenide (ZnSe), Copper indium gallium selenide (CIGS) films or other tellurium and selenium based metal compounds for phase change memory and photovoltaic devices.

摘要翻译： 本文描述了一种用于沉积多组分膜的方法和基于液体的前体组合物。 在一个实施方案中，本文所述的方法和组合物用于沉积锗碲（GeTe），锑碲（SbTe），锑锗（SbGe），锗锑碲（GST），铟锑碲（IST），银铟锑碲 （AIST），碲化镉（CdTe），硒化镉（CdSe），碲化锌（ZnTe），硒化锌（ZnSe），铜铟镓硒（CIGS）膜或其他用于相变记忆和光伏的碲和硒基金属化合物 设备。

公开(公告)号：US08563353B2

公开(公告)日：2013-10-22

申请号：US13466275

申请日：2012-05-08

申请人： Manchao Xiao ,  Liu Yang ,  Xinjian Lei ,  Iain Buchanan

发明人： Manchao Xiao ,  Liu Yang ,  Xinjian Lei ,  Iain Buchanan

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L21/06 ,  H01L21/469

CPC分类号： H01L21/06 ,  C23C18/1204 ,  C23C18/1225 ,  H01L21/0256 ,  H01L21/02562 ,  H01L21/02568 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02658 ,  H01L31/0296 ,  H01L31/032 ,  H01L31/0322 ,  H01L45/06 ,  H01L45/144 ,  H01L45/1608 ,  Y02E10/541

摘要： Described herein is a method and liquid-based precursor composition for depositing a multicomponent film. In one embodiment, the method and compositions described herein are used to deposit Germanium Tellurium (GeTe), Antimony Tellurium (SbTe), Antimony Germanium (SbGe), Germanium Antimony Tellurium (GST), Indium Antimony Tellurium (IST), Silver Indium Antimony Tellurium (AIST), Cadmium Telluride (CdTe), Cadmium Selenide (CdSe), Zinc Telluride (ZnTe), Zinc Selenide (ZnSe), Copper indium gallium selenide (CIGS) films or other tellurium and selenium based metal compounds for phase change memory and photovoltaic devices.

摘要翻译： 本文描述了一种用于沉积多组分膜的方法和基于液体的前体组合物。 在一个实施方案中，本文所述的方法和组合物用于沉积锗碲（GeTe），锑碲（SbTe），锑锗（SbGe），锗锑碲（GST），铟锑碲（IST），银铟锑碲 （AIST），碲化镉（CdTe），硒化镉（CdSe），碲化锌（ZnTe），硒化锌（ZnSe），铜铟镓硒（CIGS）膜或其他用于相变记忆和光伏的碲和硒基金属化合物 设备。

公开(公告)号：US20100304047A1

公开(公告)日：2010-12-02

申请号：US12476734

申请日：2009-06-02

申请人： Liu Yang ,  Xinjian Lei ,  Bing Han ,  Manchao Xiao ,  Eugene Joseph Karwacki, JR. ,  Kazuhide Hasebe ,  Masanobu Matsunaga ,  Masato Yonezawa ,  Hansong Cheng

发明人： Liu Yang ,  Xinjian Lei ,  Bing Han ,  Manchao Xiao ,  Eugene Joseph Karwacki, JR. ,  Kazuhide Hasebe ,  Masanobu Matsunaga ,  Masato Yonezawa ,  Hansong Cheng

IPC分类号： H05H1/24 ,  B05D5/12

CPC分类号： H01L21/02271 ,  C23C16/308 ,  C23C16/345 ,  C23C16/401 ,  C23C16/45536 ,  H01L21/02126 ,  H01L21/0214 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/0217 ,  H01L21/02211 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/0228 ,  H01L21/3145 ,  H01L21/31608 ,  H01L21/31633 ,  H01L21/3185

摘要： This invention discloses the method of forming silicon nitride, silicon oxynitride, silicon oxide, carbon-doped silicon nitride, carbon-doped silicon oxide and carbon-doped oxynitride films at low deposition temperatures. The silicon containing precursors used for the deposition are monochlorosilane (MCS) and monochloroalkylsilanes. The method is preferably carried out by using plasma enhanced atomic layer deposition, plasma enhanced chemical vapor deposition, and plasma enhanced cyclic chemical vapor deposition.

摘要翻译： 本发明公开了在低沉积温度下形成氮化硅，氮氧化硅，氧化硅，碳掺杂氮化硅，碳掺杂氧化硅和碳掺杂氧氮化物膜的方法。 用于沉积的含硅前体是一氯硅烷（MCS）和一氯代烷基硅烷。 该方法优选通过使用等离子体增强原子层沉积，等离子体增强化学气相沉积和等离子体增强循环化学气相沉积来进行。

公开(公告)号：US20130189853A1

公开(公告)日：2013-07-25

申请号：US13624190

申请日：2012-09-21

申请人： Liu Yang ,  Xinjian Lei ,  Bing Han ,  Manchao Xiao ,  Eugene Joseph Karwacki, JR. ,  Kazuhide Hasebe ,  Masanobu Matsunaga ,  Masato Yonezawa ,  Hansong Cheng

发明人： Liu Yang ,  Xinjian Lei ,  Bing Han ,  Manchao Xiao ,  Eugene Joseph Karwacki, JR. ,  Kazuhide Hasebe ,  Masanobu Matsunaga ,  Masato Yonezawa ,  Hansong Cheng

IPC分类号： H01L21/02

CPC分类号： H01L21/02271 ,  C23C16/308 ,  C23C16/345 ,  C23C16/401 ,  C23C16/45536 ,  H01L21/02126 ,  H01L21/0214 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/0217 ,  H01L21/02211 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/0228 ,  H01L21/3145 ,  H01L21/31608 ,  H01L21/31633 ,  H01L21/3185

摘要： This invention discloses the method of forming silicon nitride, silicon oxynitride, silicon oxide, carbon-doped silicon nitride, carbon-doped silicon oxide and carbon-doped oxynitride films at low deposition temperatures. The silicon containing precursors used for the deposition are monochlorosilane (MCS) and monochloroalkylsilanes. The method is preferably carried out by using plasma enhanced atomic layer deposition, plasma enhanced chemical vapor deposition, and plasma enhanced cyclic chemical vapor deposition.

摘要翻译： 本发明公开了在低沉积温度下形成氮化硅，氮氧化硅，氧化硅，碳掺杂氮化硅，碳掺杂氧化硅和碳掺杂氧氮化物膜的方法。 用于沉积的含硅前体是一氯硅烷（MCS）和一氯代烷基硅烷。 该方法优选通过使用等离子体增强原子层沉积，等离子体增强化学气相沉积和等离子体增强循环化学气相沉积来进行。

公开(公告)号：US08298628B2

公开(公告)日：2012-10-30

申请号：US12476734

申请日：2009-06-02

申请人： Liu Yang ,  Xinjian Lei ,  Bing Han ,  Manchao Xiao ,  Eugene Joseph Karwacki, Jr. ,  Kazuhide Hasebe ,  Masanobu Matsunaga ,  Masato Yonezawa ,  Hansong Cheng

发明人： Liu Yang ,  Xinjian Lei ,  Bing Han ,  Manchao Xiao ,  Eugene Joseph Karwacki, Jr. ,  Kazuhide Hasebe ,  Masanobu Matsunaga ,  Masato Yonezawa ,  Hansong Cheng

IPC分类号： C23C16/00 ,  H05H1/24

CPC分类号： H01L21/02271 ,  C23C16/308 ,  C23C16/345 ,  C23C16/401 ,  C23C16/45536 ,  H01L21/02126 ,  H01L21/0214 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/0217 ,  H01L21/02211 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/0228 ,  H01L21/3145 ,  H01L21/31608 ,  H01L21/31633 ,  H01L21/3185

摘要： This invention discloses the method of forming silicon nitride, silicon oxynitride, silicon oxide, carbon-doped silicon nitride, carbon-doped silicon oxide and carbon-doped oxynitride films at low deposition temperatures. The silicon containing precursors used for the deposition are monochlorosilane (MCS) and monochloroalkylsilanes. The method is preferably carried out by using plasma enhanced atomic layer deposition, plasma enhanced chemical vapor deposition, and plasma enhanced cyclic chemical vapor deposition.

摘要翻译： 本发明公开了在低沉积温度下形成氮化硅，氮氧化硅，氧化硅，碳掺杂氮化硅，碳掺杂氧化硅和碳掺杂氧氮化物膜的方法。 用于沉积的含硅前体是一氯硅烷（MCS）和一氯代烷基硅烷。 该方法优选通过使用等离子体增强原子层沉积，等离子体增强化学气相沉积和等离子体增强循环化学气相沉积来进行。