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    Frequency synthesizer
    1.
    发明申请
    Frequency synthesizer 有权
    频率合成器

    公开(公告)号：US20050285692A1

    公开(公告)日：2005-12-29

    申请号：US11157400

    申请日：2005-06-20

    申请人： Tomi Mattila ,  Olli Jaakkola ,  Ville Kaajakari ,  Aarne Oja ,  Heikki Seppa

    发明人： Tomi Mattila ,  Olli Jaakkola ,  Ville Kaajakari ,  Aarne Oja ,  Heikki Seppa

    IPC分类号： H03L1/00 ,  H03L1/02 ,  H03L7/085 ,  H03L7/197

    CPC分类号： H03L7/1976 ,  G01K7/32 ,  H03L1/026 ,  H03L1/027 ,  H03L7/085 ,  H03L7/197

    摘要： Method for stabilizing the frequency of a frequency synthesizer by means of a reference oscillator unit coupled to a voltage controlled oscillator (VCO) and a frequency synthesizer, wherein the synthesizer is provided with a phase locked loop (PLL) to stabilize the operation of the voltage controlled oscillator, wherein the reference oscillator unit is a MEMS (MicroElectromechanicalSystems) reference oscillator unit, the temperature of the MEMS reference oscillator unit is measured, and the output frequency is corrected according to the measured temperature by using a frequency/temperature function.

    摘要翻译： 用于通过耦合到压控振荡器（VCO）和频率合成器的参考振荡器单元稳定频率合成器的频率的方法，其中所述合成器具有锁相环（PLL）以稳定所述电压的操作 控制振荡器，其中参考振荡器单元是MEMS（微机电系统）参考振荡器单元，测量MEMS参考振荡器单元的温度，并且通过使用频率/温度函数根据测量的温度校正输出频率。

    Multi-mode frequency synthesizer with temperature compensation
    2.
    发明授权
    Multi-mode frequency synthesizer with temperature compensation 有权
    具有温度补偿功能的多模式频率合成器

    公开(公告)号：US07145402B2

    公开(公告)日：2006-12-05

    申请号：US11157400

    申请日：2005-06-20

    申请人： Tomi Mattila ,  Olli Jaakkola ,  Ville Kaajakari ,  Aarne Oja ,  Heikki Seppä

    发明人： Tomi Mattila ,  Olli Jaakkola ,  Ville Kaajakari ,  Aarne Oja ,  Heikki Seppä

    IPC分类号： H03B1/00 ,  H03B5/30 ,  H03L1/02 ,  H03L7/06

    CPC分类号： H03L7/1976 ,  G01K7/32 ,  H03L1/026 ,  H03L1/027 ,  H03L7/085 ,  H03L7/197

    摘要： Method for stabilizing the frequency of a frequency synthesizer by means of a reference oscillator unit coupled to a voltage controlled oscillator (VCO) and a frequency synthesizer, wherein the synthesizer is provided with a phase locked loop (PLL) to stabilize the operation of the voltage controlled oscillator, wherein the reference oscillator unit is a MEMS (MicroElectromechanicalSystems) reference oscillator unit, the temperature of the MEMS reference oscillator unit is measured, and the output frequency is corrected according to the measured temperature by using a frequency/temperature function.

    摘要翻译： 用于通过耦合到压控振荡器（VCO）和频率合成器的参考振荡器单元稳定频率合成器的频率的方法，其中所述合成器具有锁相环（PLL）以稳定所述电压的操作 控制振荡器，其中参考振荡器单元是MEMS（微机电系统）参考振荡器单元，测量MEMS参考振荡器单元的温度，并且通过使用频率/温度函数根据测量的温度校正输出频率。

    Micromechanical sensor, sensor array and method
    4.
    发明授权
    Micromechanical sensor, sensor array and method 有权
    微机械传感器，传感器阵列及方法

    公开(公告)号：US08136403B2

    公开(公告)日：2012-03-20

    申请号：US11988417

    申请日：2006-07-04

    申请人： Heikki Seppa ,  Kirsi Tappura ,  Jussi Tuppurainen ,  Tomi Mattila ,  Ari Alastalo ,  Hannu Helle ,  Aarne Oja

    发明人： Heikki Seppa ,  Kirsi Tappura ,  Jussi Tuppurainen ,  Tomi Mattila ,  Ari Alastalo ,  Hannu Helle ,  Aarne Oja

    IPC分类号： G01N29/02

    CPC分类号： G01N29/022 ,  B81B2201/0292 ,  G01N29/036 ,  G01N29/2462 ,  G01N29/30 ,  G01N2291/0255 ,  G01N2291/0256 ,  G01N2291/106

    摘要： The present invention relates to a micromechanical sensor for analyzing liquid samples and an array of such sensors. The invention also concerns a method for sensing liquid samples and the use of longitudinal bulk acoustic waves for analyzing liquid phase samples micromechanically. The sensor comprises a body and a planar wave guide portion spaced from the body. At least one electro-mechanical transducer element are used for excitation of longitudinal bulk acoustic waves to the wave guide portion in response to electrical actuation and for converting acoustic waves into electrical signals. The wave guide portion is provided with a sample-receiving zone onto which the sample can be introduced. By means of the invention, the sensitivity of micromechanical liquid sensors can be improved.

    摘要翻译： 本发明涉及用于分析液体样品的微机械传感器和这种传感器的阵列。 本发明还涉及用于感测液体样品的方法和使用纵向体声波来微机械地分析液相样品。 传感器包括主体和与主体间隔开的平面波导部分。 至少一个机电换能器元件用于响应于电致动并将声波转换成电信号而将纵向体声波激发到波导部分。 波导部分设置有可以将样品引入其上的样本接收区域。 通过本发明，可提高微机械液体传感器的灵敏度。

    Micromechanical Sensor, Sensor Array and Method
    5.
    发明申请
    Micromechanical Sensor, Sensor Array and Method 有权
    微机械传感器，传感器阵列和方法

    公开(公告)号：US20090277271A1

    公开(公告)日：2009-11-12

    申请号：US11988417

    申请日：2006-07-04

    申请人： Heikki Seppa ,  Kirsi Tappura ,  Jussi Tuppurainen ,  Tomi Mattila ,  Ari Alastalo ,  Hannu Helle ,  Aarne Oja

    发明人： Heikki Seppa ,  Kirsi Tappura ,  Jussi Tuppurainen ,  Tomi Mattila ,  Ari Alastalo ,  Hannu Helle ,  Aarne Oja

    IPC分类号： G01N29/02

    CPC分类号： G01N29/022 ,  B81B2201/0292 ,  G01N29/036 ,  G01N29/2462 ,  G01N29/30 ,  G01N2291/0255 ,  G01N2291/0256 ,  G01N2291/106

    摘要： The present invention relates to a micromechanical sensor for analyzing liquid samples and an array of such sensors. The invention also concerns a method for sensing liquid samples and the use of longitudinal bulk acoustic waves for analyzing liquid phase samples micromechanically. The sensor comprises a body and a planar wave guide portion spaced from the body. At least one electro-mechanical transducer element are used for excitation of longitudinal bulk acoustic waves to the wave guide portion in response to electrical actuation and for converting acoustic waves into electrical signals. The wave guide portion is provided with a sample-receiving zone onto which the sample can be introduced. By means of the invention, the sensitivity of micromechanical liquid sensors can be improved.

    摘要翻译： 本发明涉及用于分析液体样品的微机械传感器和这种传感器的阵列。 本发明还涉及用于感测液体样品的方法和使用纵向体声波来微机械地分析液相样品。 传感器包括主体和与主体间隔开的平面波导部分。 至少一个机电换能器元件用于响应于电致动并将声波转换成电信号而将纵向体声波激发到波导部分。 波导部分设置有可以将样品引入其上的样本接收区域。 通过本发明，可提高微机械液体传感器的灵敏度。

    Method and system for electrically controlling the spacing between micromechanical electrodes
    8.
    发明授权
    Method and system for electrically controlling the spacing between micromechanical electrodes 失效
    用于电控微机电极之间的间距的方法和系统

    公开(公告)号：US06630657B1

    公开(公告)日：2003-10-07

    申请号：US09720121

    申请日：2000-12-21

    申请人： Heikki Seppä ,  Aarne Oja

    发明人： Heikki Seppä ,  Aarne Oja

    IPC分类号： H01J4014

    CPC分类号： G01C19/5726

    摘要： The invention relates to a method for controlling by electrical means the interelectrode distance of such a micromechanical electrode structure [(7,8)] in which at least one electrode [(7)] is attached elastically suspended on the surrounding structure, whereby the elastic properties of each electrode and the electrical control applied over the electrodes determine the interelectrode distance. According to the invention, the distance between the electrodes [(7,8)] is controlled by controlling the AC control current passing via the electrodes [(7,8)].

    摘要翻译： 本发明涉及一种通过电气方式控制这种微机电电极结构[（7,8）]的电极间距离的方法，其中至少一个电极[（7）]被弹性地悬挂在周围结构上，由此弹性 每个电极的性质和施加在电极上的电气控制确定电极间距离。 根据本发明，通过控制通过电极[（7,8）]的AC控制电流来控制电极[（7,8）]之间的距离。

    Micromechanical precision silicon scale
    9.
    发明授权
    Micromechanical precision silicon scale 失效
    微机械精密硅片

    公开(公告)号：US06513388B1

    公开(公告)日：2003-02-04

    申请号：US09720112

    申请日：2000-12-21

    申请人： Aarne Oja ,  Heikki Seppä ,  Teuvo Sillanp{umlaut over (aa)}

    发明人： Aarne Oja ,  Heikki Seppä ,  Teuvo Sillanp{umlaut over (aa)}

    IPC分类号： G01B716

    CPC分类号： G01G3/12 ,  G01G7/06

    摘要： The invention concerns a silicon micromechanical weight sensor (26). According to the invention, the weight sensor comprises at least two conducting electrodes (2, 15) displaced at a distance from each other, whereby one of the elastically suspended electrode surfaces (2) or, alternatively, a structure connected thereto, acts as the pan surface of the weight sensor.

    摘要翻译： 本发明涉及硅微机械重量传感器（26）。 根据本发明，重量传感器包括至少两个相互间隔一定距离的导电电极（2,15），由此弹性悬置的电极表面（2）中的一个或连接到其上的结构作为 重量传感器的盘面。

    Micromechanical Resonator
    10.
    发明申请
    Micromechanical Resonator 审中-公开
    微机械谐振器

    公开(公告)号：US20120229226A1

    公开(公告)日：2012-09-13

    申请号：US13497805

    申请日：2010-09-27

    申请人： Aarne Oja ,  Tuomas Pensala ,  Johanna Meltaus

    发明人： Aarne Oja ,  Tuomas Pensala ,  Johanna Meltaus

    IPC分类号： H03B5/32

    CPC分类号： H03H9/02259 ,  B81B3/0081 ,  B81B2201/0271 ,  H03H3/0076 ,  H03H9/02338 ,  H03H9/02448 ,  H03H9/2436 ,  H03H9/2452 ,  H03H9/2463 ,  H03H2003/027 ,  H03H2003/0407 ,  H03H2009/02496 ,  H03H2009/02503 ,  H03H2009/02511 ,  H03H2009/241 ,  H03H2009/2442

    摘要： The invention relates to a micromechanical resonator comprising a substrate (1) of first material (2), a resonator (3) suspended to the supporting structure (1), the resonator (3) being at least partially of the same material (2) as the supporting structure and dimensioned for resonation at a specific frequency f0, coupling means (5) for initiating, maintaining and coupling the resonation of the resonator (3) to an external circuit (6), and the resonator (3) including second material (4), the thermal properties of which being different from the first material (2). In accordance with the invention the resonator (3) includes the second material (4) located concentrated in specific places of the resonator (3).

    摘要翻译： 本发明涉及一种微机械谐振器，其包括第一材料（2）的衬底（1），悬挂于支撑结构（1）的谐振器（3），谐振器（3）至少部分由相同的材料（2）组成， 作为用于在特定频率f0处的谐振的支撑结构和尺寸，用于启动，维持和耦合谐振器（3）的谐振到外部电路（6）的耦合装置（5）和包括第二材料的谐振器 （4），其热性质与第一材料（2）不同。 根据本发明，谐振器（3）包括集中在谐振器（3）的特定位置的第二材料（4）。