公开(公告)号：US07641468B2

公开(公告)日：2010-01-05

申请号：US10931672

申请日：2004-09-01

申请人： Wei Wu ,  William M. Tong ,  Jun Gao ,  Carl Picciotto

发明人： Wei Wu ,  William M. Tong ,  Jun Gao ,  Carl Picciotto

IPC分类号： B29D17/00

CPC分类号： B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002

摘要： An imprint apparatus and method employ an effective pressure in imprint lithography. The imprint apparatus includes a compressible chamber that encloses an imprint mold having a mold pattern and a sample to be imprinted. The chamber is compressed to imprint the mold pattern on the sample. The mold is pressed against the sample with the effective pressure. The effective pressure is controlled by a selected ratio of a cavity area of the chamber to a contact area between the mold and the sample.

摘要翻译： 压印设备和方法在压印光刻中采用有效压力。 压印装置包括可压缩室，其包围具有模具图案和要印刷的样品的压印模具。 压缩室以将模具图案压印在样品上。 模具以有效的压力压在样品上。 有效压力通过腔室的空腔面积与模具和样品之间的接触面积的选定比例来控制。

公开(公告)号：US20080026305A1

公开(公告)日：2008-01-31

申请号：US11492838

申请日：2006-07-26

申请人： Wei Wu ,  William M. Tong ,  Jun Gao ,  Carl Picciotto

发明人： Wei Wu ,  William M. Tong ,  Jun Gao ,  Carl Picciotto

IPC分类号： G03F9/00 ,  G03B27/42 ,  G03C5/00

CPC分类号： G03F9/7069 ,  G03F9/7065 ,  G03F9/7088

摘要： A method and system are disclosed for aligning a lithography template having a pattern with a substrate in preparation for transferring the pattern to a surface of the substrate. The system includes an optical imaging system adapted to image a first alignment structure formed on a top surface of the template using light of a first wavelength and a second alignment structure formed on a top surface of the substrate using light of a second wavelength.

摘要翻译： 公开了一种方法和系统，用于将具有图案的光刻模板与衬底对准以准备将图案转移到衬底的表面。 该系统包括光学成像系统，其适于使用第二波长的光形成在基板的顶表面上的第一波长的光和形成在第二对准结构上的形成在模板的顶表面上的第一对准结构。

公开(公告)号：US07226797B2

公开(公告)日：2007-06-05

申请号：US10995837

申请日：2004-11-23

申请人： William M. Tong ,  Wei Wu ,  Jun Gao ,  Carl E. Picciotto

发明人： William M. Tong ,  Wei Wu ,  Jun Gao ,  Carl E. Picciotto

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： G06T7/0004

摘要： Using an imaging system in relation to a plurality of material layers in an initial alignment state is provided, a first of the plurality of material layers at least partially obscuring a second of the plurality of material layers in the initial alignment state. The first material layer is moved from a first position corresponding to the initial alignment state to a second position out of a field of view of the imaging system, and a first image of the second material layer is stored. The first material layer is moved back the first position to restore the initial alignment state. A second image of the first material layer is acquired. The second image and the stored first image are processed to determine the initial alignment state.

摘要翻译： 提供了在初始对准状态下相对于多个材料层使用成像系统，多个材料层中的第一个在初始对准状态下至少部分地遮蔽多个材料层中的第二个材料层。 第一材料层从对应于初始取向状态的第一位置移动到成像系统的视野外的第二位置，并且存储第二材料层的第一图像。 第一材料层被移回第一位置以恢复初始对准状态。 获取第一材料层的第二图像。 处理第二图像和存储的第一图像以确定初始对准状态。

公开(公告)号：US07796800B2

公开(公告)日：2010-09-14

申请号：US11046146

申请日：2005-01-28

申请人： Carl E. Picciotto ,  William M. Tong ,  Jun Gao

发明人： Carl E. Picciotto ,  William M. Tong ,  Jun Gao

IPC分类号： G06K9/00

CPC分类号： G01B11/002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F9/7003 ,  G03F9/7088 ,  G03F9/7092

摘要： Determining a dimensional change in a surface of an object is described. At a first time, a first image of the surface is acquired at a first spatial window thereon having a first known position relative to a frame of reference. At a second time, a second image of the surface is acquired at a second spatial window thereon having a second known position relative to the frame of reference. The first image and the second image are processed according to an image displacement sensing algorithm to determine a relative translation of a first point on the surface between the first and second times. The relative translation of the first point, the first known position, and the second known position are used to determine the dimensional change in the surface between the first and second times.

摘要翻译： 描述确定物体表面中的尺寸变化。 在第一时间，在其上具有相对于参照系的第一已知位置的第一空间窗口处获取表面的第一图像。 在第二时间，在其上具有相对于参考框架的第二已知位置的第二空间窗口处获取表面的第二图像。 根据图像位移检测算法处理第一图像和第二图像，以确定第一次和第二次之间表面上的第一点的相对平移。 使用第一点，第一已知位置和第二已知位置的相对平移来确定第一次和第二次之间的表面中的尺寸变化。

公开(公告)号：US20090056575A1

公开(公告)日：2009-03-05

申请号：US11897776

申请日：2007-08-31

申请人： Jon A. Bartman ,  William M. Tong ,  Wei Wu ,  YuFong Chen

发明人： Jon A. Bartman ,  William M. Tong ,  Wei Wu ,  YuFong Chen

IPC分类号： B41F1/16

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B29C2059/023 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

摘要： A pattern transfer apparatus including an inflatable membrane is described.

摘要翻译： 描述包括充气膜的图案转印装置。

公开(公告)号：US20160358742A1

公开(公告)日：2016-12-08

申请号：US14052610

申请日：2013-10-11

申请人： William M. Tong ,  Alan D. Brodie ,  Jeffrey Elam ,  Anil Mane

发明人： William M. Tong ,  Alan D. Brodie ,  Jeffrey Elam ,  Anil Mane

IPC分类号： H01J37/06 ,  H01J37/12 ,  C23C16/32 ,  C23C16/40 ,  C23C16/34 ,  H01J37/317 ,  C23C16/455

CPC分类号： C23C16/45529 ,  B81B3/0008 ,  C23C16/32 ,  C23C16/34 ,  C23C16/40 ,  C23C16/402 ,  C23C16/403 ,  C23C16/405 ,  H01J37/026 ,  H01J37/06 ,  H01J37/12 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/1205 ,  H01J2237/31794

摘要： A system and method associated with a charge drain coating are disclosed. The charge drain coating may be applied to surfaces of an electron-optical device to drain electrons that come into contact with the charge drain coating so that the performance of the electron-optical device will not be hindered by electron charge build-up. The charge drain coating may include a doping material that coalesces into clusters that are embedded within a high dielectric insulating material. The charge drain coating may be deposited onto the inner surfaces of lenslets of the electron-optical device.

摘要翻译： 公开了一种与电荷放电涂层相关的系统和方法。 可以将电荷漏极涂层施加到电子 - 光学器件的表面以排出与电荷漏极涂层接触的电子，使得电子 - 电子器件的性能不会受到电子电荷积聚的阻碍。 电荷漏极涂层可以包括聚集成嵌入高介电绝缘材料中的簇的掺杂材料。 电荷漏极涂层可以沉积到电子 - 光学器件的小透镜的内表面上。

公开(公告)号：US07780841B2

公开(公告)日：2010-08-24

申请号：US11059258

申请日：2005-02-15

申请人： Sean Xiao-An Zhang ,  Zhiyong Li ,  Zhang-Lin Zhou ,  William M. Tong ,  R. Stanley Williams ,  Yong Chen

发明人： Sean Xiao-An Zhang ,  Zhiyong Li ,  Zhang-Lin Zhou ,  William M. Tong ,  R. Stanley Williams ,  Yong Chen

IPC分类号： G01N27/327

CPC分类号： G01N33/5308 ,  G01N33/5438 ,  G01N2430/00

摘要： A sensor array for sensing at least one of chemical moieties and biological moieties is provided. The sensor array comprises a plurality of working electrodes electrically associated with a reference electrode, each working electrode in combination with the reference electrode forming a transducer. Each working electrode is provided with a coating of a sensing element comprised of an ionizable moiety and a functional group sensitive to one of the chemical and/or biological moieties.

摘要翻译： 提供了用于感测化学部分和生物部分中的至少一个的传感器阵列。 传感器阵列包括与参考电极电连接的多个工作电极，每个工作电极与参考电极组合形成换能器。 每个工作电极设置有由可电离部分和对化学和/或生物部分之一敏感的官能团组成的感测元件的涂层。

公开(公告)号：US07763552B2

公开(公告)日：2010-07-27

申请号：US11413476

申请日：2006-04-28

申请人： William M. Tong ,  Duncan Stewart ,  R. Stanley Williams ,  Manish Sharma ,  Zhiyong Li ,  Gary A. Gibson

发明人： William M. Tong ,  Duncan Stewart ,  R. Stanley Williams ,  Manish Sharma ,  Zhiyong Li ,  Gary A. Gibson

IPC分类号： H01L21/768 ,  H01L21/62

CPC分类号： H01L21/76892 ,  H01L21/76823 ,  H01L23/5254 ,  H01L27/1052 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/12044 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/00

摘要： A method of forming an electrical interconnect, which includes a first electrode, an interlayer of a programmable material disposed over at least a portion of the first electrode, and a second electrode disposed over the programmable material at a non-zero angle relative to the first electrode. The interlayer includes a modified region having differing electrical properties than the rest of the interlayer, sandwiched at the junction of the first electrode and the second electrode. The interlayer may be exposed to a focused beam to form the modified region.

摘要翻译： 一种形成电互连的方法，包括第一电极，设置在第一电极的至少一部分上的可编程材料的中间层，以及设置在可编程材料上的第二电极，相对于第一电极以非零角度 电极。 中间层包括夹在第一电极和第二电极的接合处的与中间层的其余部分不同的电特性的改性区域。 中间层可以暴露于聚焦光束以形成改质区域。

公开(公告)号：US07309642B2

公开(公告)日：2007-12-18

申请号：US11271354

申请日：2005-11-09

申请人： William M. Tong ,  M. Saif Islam

发明人： William M. Tong ,  M. Saif Islam

IPC分类号： H01L21/30 ,  H01L21/46

CPC分类号： H01L49/006 ,  B82Y10/00 ,  G01N21/658 ,  Y10S977/888 ,  Y10S977/893

摘要： A method for forming quantum dots includes forming a superlattice structure that includes at least one nanostrip protruding from the superlattice structure, providing a quantum dot substrate, transferring the at least one nanostrip to the quantum dot substrate, and removing at least a portion of the at least one nanostrip from the substrate. The superlattice structure is formed by providing a superlattice substrate, forming alternating layers of first and second materials on the substrate to form a stack, cleaving the stack to expose the alternating layers, and etching the exposed alternating layers with an etchant that etches the second material at a greater rate than the first to form the at least one nanostrip.

公开(公告)号：US08766228B2

公开(公告)日：2014-07-01

申请号：US13121133

申请日：2008-10-29

申请人： Jianhua Yang ,  Duncan Stewart ,  Philip J. Kuekes ,  William M. Tong

发明人： Jianhua Yang ,  Duncan Stewart ,  Philip J. Kuekes ,  William M. Tong

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： H01L27/10 ,  H01L21/2254 ,  H01L27/2463 ,  H01L45/08 ,  H01L45/1233 ,  H01L45/145 ,  H01L45/146 ,  H01L45/1625 ,  H01L45/1658 ,  H01L45/1675

摘要： An electrically actuated device includes a first electrode, a second electrode, and an active region disposed between the first and second electrodes. The device further includes at least one of dopant initiators or dopants localized at an interface between i) the first electrode and the active region, or ii) the second electrode and the active region, or iii) the active region and each of the first and second electrodes.

摘要翻译： 电驱动装置包括第一电极，第二电极和设置在第一和第二电极之间的有源区。 该器件还包括位于i）第一电极和有源区之间的界面处的掺杂剂引发剂或掺杂剂中的至少一种，或ii）第二电极和有源区，或iii）活性区和第一和 第二电极。