公开(公告)号：WO2015023556A3

公开(公告)日：2015-10-08

申请号：PCT/US2014050470

申请日：2014-08-11

申请人： SCHOTT CORP ,  DAVIS MARK J

发明人： DAVIS MARK J

IPC分类号： C04B35/495

CPC分类号： C04B35/14 ,  C03B32/02 ,  C03C3/078 ,  C03C10/0009 ,  C03C10/0072 ,  C03C17/007 ,  C03C2203/50 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/785 ,  H01L41/18 ,  H01L41/183 ,  H01L41/187 ,  H01L41/1871

摘要： (M1Ox) - (M2Oy) - SiO2 wherein Mi is one or more metals and/or metalloids, M2 is one or more metals and/or metalloids, x is a value equal to the valence of M1, and y is a value equal to the valence of M2. The piezoelectric glass ceramic has a total alkali metal concentration of less than about 1000 parts per million by weight (ppmw). A process of preparing a piezoelectric glass ceramic and a piezoelectric glass ceramic body prepared therefrom.

摘要翻译： （M1Ox） - （M2Oy）-SiO2其中Mi是一种或多种金属和/或准金属，M2是一种或多种金属和/或类金属，x是等于M1的价态的值， 而y是等于M2的化合价的值。 压电玻璃陶瓷的总碱金属浓度小于约百万分之1000（ppmw）。 一种制备压电玻璃陶瓷和由其制备的压电玻璃陶瓷体的方法。

公开(公告)号：WO2015055593A1

公开(公告)日：2015-04-23

申请号：PCT/EP2014/071919

申请日：2014-10-13

申请人： AGENCE NATIONALE POUR LA GESTION DES DÉCHETS RADIOACTIFS ,  AREVA

发明人： LESOILLE, Sylvie ,  BERTRAND, Johan ,  MACE, Jean-Reynald ,  PERISSE, Jocelyn ,  LEPARMENTIER, Stéphanie ,  AUGUSTE, Jean-Louis ,  DELAIZIR, Gaelle

IPC分类号： G02B6/02 ,  G01N21/77 ,  G01N21/65 ,  C03B37/012

CPC分类号： G01N21/7703 ,  C03B37/0128 ,  C03B37/02718 ,  C03B37/10 ,  C03B2201/10 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/24 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/36 ,  C03B2201/58 ,  C03B2203/14 ,  C03B2203/42 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/30 ,  C03C2203/50 ,  C03C2214/08 ,  G01N21/65 ,  G01N2021/7709 ,  G01N2021/7713 ,  G01N2021/7716 ,  G02B6/03694

摘要： L'invention concerne une fibre optique (100) pour la détection et/ou la mesure quantitative d'hydrogène comportant un cœur (110) de fibre et au moins une gaine optique (120) entourant le cœur (110), au moins l'un parmi le cœur (110) et la gaine optique (120) étant réalisé majoritairement en verre de silice. La fibre optique (100) comporte du palladium sous forme métallique inclus dans au moins une partie de fibre réalisée majoritairement en verre de silice sélectionnée parmi le cœur (110) et la gaine optique (120). L'invention concerne également un procédé de fabrication d'une telle fibre optique (100), une utilisation de cette fibre optique (100), et un système de détection et/ou de mesure quantitative d'hydrogène comportant une telle fibre optique (100).

摘要翻译： 本发明涉及一种用于检测和/或定量测量氢的光纤（100），其包括纤芯（110）和围绕芯（110）的至少一个光学包层（120），至少一个核（ 110），光学包层（120）主要由石英玻璃制成。 光纤（100）包括金属形式的钯，其包括在主要由石英玻璃制成的至少一个纤维部分中，所述部分选自芯部（110）和光学包层（120）。 本发明还涉及使用该光纤（100）制造这种光纤（100）的方法，以及包括这种光纤（100）的用于检测和/或定量测量氢的系统。

公开(公告)号：WO2007143069A2

公开(公告)日：2007-12-13

申请号：PCT/US2007012899

申请日：2007-05-31

申请人： CORNING INC ,  MAXON JOHN E ,  ROSCH WILLIAM R

发明人： MAXON JOHN E ,  ROSCH WILLIAM R

IPC分类号： C03C3/06 ,  C03B19/14

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1484 ,  C03B2201/42 ,  C03C4/0071 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/42 ,  C03C2203/50 ,  Y02P40/57

摘要： The invention is directed to a low expansion glass with reduced striae, the glass have a point to point variation in titania content is 0.1 wt% or less through its thickness and a CTE of 0 ± 3 ppb/°C throughout the temperature range 5-35 °C. The invention is further directed to a method for producing the low expansion glass by using a method in which the time for repetition of the oscillation patterns used in the process are 10 minutes or less. In addition, the low expansion glass of the invention can have striae further reduced by heat treating the glass at temperatures above 1600 °C for a time in the range of 48 160 hours. The invention is also directed to optical elements suitable for extreme ultraviolet lithography, which elements are made of a titania-containing silica glass having a titania content in the range of 5-10 wt.%, a polished and shaped surface have a peak to valley roughness of less than 10 nm, an average variation in titania content of less than ± 0.1 wt. % as measured through the vertical thickness of the glass and a coefficient of thermal expansion of 0 ± 3 ppb/°C throughout the temperature range 5 35 °C.

摘要翻译： 本发明涉及一种具有减少条纹的低膨胀玻璃，通过其厚度，玻璃具有0.1重量％以下的二氧化钛含量的点对点变化，并且在整个温度范围内的CTE为0±3ppb /℃， 35°C。 本发明还涉及一种通过使用在该方法中使用的振荡图案的重复时间为10分钟以下的方法制造低膨胀玻璃的方法。 此外，本发明的低膨胀玻璃可以通过在高于1600℃的温度下热处理玻璃在48 160小时的时间内进一步降低条纹。 本发明还涉及适用于极紫外光刻的光学元件，该元件由二氧化钛含量在5-10重量％范围内的含二氧化钛的二氧化硅玻璃制成，抛光和成形的表面具有峰谷 粗糙度小于10nm，二氧化钛含量的平均变化小于±0.1wt。 通过玻璃的垂直厚度测量，并且在整个温度范围5 35°C时，热膨胀系数为0±3ppb /°C。

公开(公告)号：WO1998008776A1

公开(公告)日：1998-03-05

申请号：PCT/US1997015234

申请日：1997-08-27

申请人： CORNING INCORPORATED ,  ALLAN, Douglas, C. ,  POWELL, William, R.

发明人： CORNING INCORPORATED

IPC分类号： C03C03/06

CPC分类号： G03F7/70958 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B19/1065 ,  C03B19/1453 ,  C03B20/00 ,  C03B2207/32 ,  C03C1/006 ,  C03C3/06 ,  C03C23/0025 ,  C03C2201/02 ,  C03C2203/50 ,  G03F7/70058 ,  G03F7/70216 ,  Y10S65/13

摘要： The invention relates to fused silica having low compaction under high energy irradation, particularly adaptable for use in photolithography applications.

摘要翻译： 本发明涉及在高能量辐照下具有低压实性的熔融二氧化硅，特别适用于光刻应用。

公开(公告)号：WO2016146700A1

公开(公告)日：2016-09-22

申请号：PCT/EP2016/055714

申请日：2016-03-16

申请人： S & B INDUSTRIAL MINERALS GMBH

发明人： PETERS, Sebastian

IPC分类号： C03C3/105 ,  C03C17/30 ,  C08K5/00 ,  C03C11/00

CPC分类号： C09K21/02 ,  C03C3/105 ,  C03C3/108 ,  C03C11/007 ,  C03C17/30 ,  C03C2203/20 ,  C03C2203/50 ,  C03C2217/76 ,  C03C2218/31 ,  C08K7/28 ,  C08L101/12 ,  C09K3/10 ,  C09K2003/1053 ,  C09K2003/1078 ,  H01B3/18 ,  C08L21/00

摘要： Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung eines Brandschutzmittels auf Basis homogener Schaumprodukte. Dabei wird zunächst ein Glas mit einer wässrigen Alkalimetallhydroxid-Lösung bei Temperaturen oberhalb von 50 °C reagiert. Das Reaktionsprodukt wird als viskose Masse ausgetragen, granuliert und solange abgekühlt, bis eine feste Granulatkörnung vorliegt. Erfindungsgemäß werden die Granulatkörner mit einer hydrophoben Beschichtung einer Schichtdicke von ca. 20 μm bis 500 μm ausgerüstet und als Brandschutzzusatz in einen Baustoff eingearbeitet.

摘要翻译： 本发明是一种用于均匀泡沫产品的基础上产生的防火剂的方法。 在这里，用含水碱金属氢氧化物溶液的玻璃化温度高于50℃下首先反应 将反应产物排出作为粘性物质，造粒，只要冷却，直到固体颗粒粒度存在。 根据本发明，将颗粒设置有大约20微米至500个微米的层厚度的疏水涂层和结合作为在建筑物材料阻燃添加剂。

公开(公告)号：WO2004020357A2

公开(公告)日：2004-03-11

申请号：PCT/US2003/024477

申请日：2003-08-05

申请人： CORNING INCORPORATED

发明人： MOORE, Lisa, A. ,  BOOKBINDER, Dana, C. ,  HOUSE, Keith, L. ,  SCHIEFELBEIN, Susan, L. ,  BALL, Laura, J. ,  BANEY, Bruno, Paul, Marc ,  KHRAPKO, Rostislav, R.

IPC分类号： C03C25/60

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03B37/01211 ,  C03B37/01228 ,  C03B37/01426 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/01861 ,  C03B37/01892 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/50 ,  C03B2201/54 ,  C03B2203/26 ,  C03B2207/30 ,  C03B2207/90 ,  C03C25/602 ,  C03C25/607 ,  C03C25/68 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/50 ,  C03C2203/50 ,  G02B6/02

摘要： A method of forming an alkali metal oxide-doped optical fiber by diffusing an alkali metal into a surface of a glass article is disclosed. The silica glass article may be in the form of a tube or a rod, or a collection of tubes or rods. The silica glass article containing the alkali metal, and impurities that may have been unintentionally diffused into the glass article, is etched to a depth sufficient to remove the impurities. The silica glass article may be further processed to form a complete optical fiber preform. The preform, when drawn into an optical fiber, exhibits a low attenuation.

摘要翻译： 公开了一种通过将碱金属扩散到玻璃制品的表面中形成掺杂碱金属氧化物的光纤的方法。 石英玻璃制品可以是管或棒的形式，或者是管或棒的集合。 含有碱金属的二氧化硅玻璃制品和可能已经无意地扩散到玻璃制品中的杂质被蚀刻到足以除去杂质的深度。 石英玻璃制品可以进一步加工以形成完整的光纤预型件。 当预成型件被拉入光纤时，表现出低的衰减。

公开(公告)号：WO00058231A1

公开(公告)日：2000-10-05

申请号：PCT/JP2000/001869

申请日：2000-03-27

IPC分类号： B08B7/00 ,  C03B19/14 ,  C03C3/06 ,  C03C23/00 ,  C03B20/00 ,  H01L21/027

CPC分类号： C03C23/002 ,  B08B7/0057 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1469 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/21 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/23 ,  C03C2203/50 ,  Y02P40/57

摘要： A process for producing a synthetic quartz glass for optical members, which comprises the step of irradiating a synthetic quartz glass having an OH group content of 50 ppm or lower with vacuum ultraviolet having a wavelength of 180 nm or shorter to improve the transmittance in a region of wavelengths not longer than 165 nm.

摘要翻译： 一种光学部件用合成石英玻璃的制造方法，其特征在于，包括使用波长为180nm以下的真空紫外线照射OH基含量为50ppm以下的合成石英玻璃以提高区域的透射率的工序 的波长不超过165nm。

公开(公告)号：WO1997016382A1

公开(公告)日：1997-05-09

申请号：PCT/EP1996004746

申请日：1996-10-31

申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH ,  SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. ,  FUJINOKI, Akira ,  NISHIMURA, Hiroyuki ,  MORI, Toshiki

发明人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH ,  SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD.

IPC分类号： C03B19/14

CPC分类号： C03B19/1453 ,  C03B19/1415 ,  C03B2201/21 ,  C03B2207/32 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C23/002 ,  C03C2201/21 ,  C03C2203/40 ,  C03C2203/50 ,  C03C2203/54 ,  G02B1/00 ,  Y02P40/57

摘要： The invention relates to process for producing a quartz glass optical body which is greatly resistive to irradiation of a laser having a short wavelength. According to the invention a quartz glass body is doped with hydrogen during and/or after production of the quartz glass body to a concentration in the range of 2 x 10 molecules/cm to 5 x 10 molecules/cm . To eliminate reduction-related defects induced by hydrogen in the bulk, the quartz glass body is irradiated with ultraviolet light of a wavelength in the range 150 nm to 300 nm. By such an irradiation hydrogen-induced defects occurring in production of synthetic quartz glass body by means of an oxyhydrogen flame or formed in a high-temperature hydrogen treatment are eliminated and thereby the quartz glass body is greatly improved in a stability against ultraviolet light. A quartz glass optical body according to the invention is especially suitable for use with an ArF eximer laser of 193 nm in wavelength or a YAG fifth harmonics laser of 213 nm in wavelength.

摘要翻译： 本发明涉及对具有短波长的激光的照射极大地抵抗的石英玻璃光学体的制造方法。 根据本发明，在制造石英玻璃体期间和/或之后，在2×10 17分子/ cm 3至5×10 19分子范围内的浓度下，石英玻璃体被掺杂氢 /厘米<3>。 为了消除体内由氢引起的还原相关缺陷，用波长为150nm至300nm的紫外线照射石英玻璃体。 通过这样的照射，消除了通过氢氧焰生产合成石英玻璃体或在高温氢处理中形成的氢诱发缺陷，从而大大提高了对紫外线的稳定性的石英玻璃体。 根据本发明的石英玻璃光学体系特别适用于波长193nm的ArF准分子激光器或波长为213nm的YAG五次谐波激光器。

公开(公告)号：WO1991011401A1

公开(公告)日：1991-08-08

申请号：PCT/JP1991000134

申请日：1991-02-05

申请人： THE FURUKAWA ELECTRIC CO., LTD. ,  OYOBE, Akira ,  NAKAMURA, Kazunori ,  KAGI, Nobuyuki ,  SASAKI, Yasumasa

发明人： THE FURUKAWA ELECTRIC CO., LTD.

IPC分类号： C03C03/06

CPC分类号： C03C13/045 ,  C03B19/1438 ,  C03B19/1453 ,  C03B37/01433 ,  C03B37/01446 ,  C03B37/016 ,  C03B37/01838 ,  C03B37/01853 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/36 ,  C03C3/06 ,  C03C3/095 ,  C03C4/12 ,  C03C23/0095 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/3435 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/50 ,  Y10S65/16 ,  Y10S501/90

摘要： A quartz glass doped with rare earth element, aluminium and further fluorine, and endowed with various characteristics such as practicable luminescent properties, high amplification gain, achievement of wider band, size reduction of elements, fusibility and connectivity of quartz glasses with each other, and so forth. This glass is not accompanied with crystallization inherent in this type of doped quartz glass in the course of its producton, so that it is transparent of course and contains no residual bubbles. Since the production process comprises a combination of a technique for forming a porous glass with a method of solution impregnation, it is possible to produce readily a quartz glass doped with both rare earth element and aluminum, having high purity and excellent transparency, and being useful as an active optical element.

公开(公告)号：WO2016154190A1

公开(公告)日：2016-09-29

申请号：PCT/US2016/023557

申请日：2016-03-22

申请人： CORNING INCORPORATED

发明人： ANNAMALAI, Sezhian

IPC分类号： C03C10/00 ,  B32B17/00 ,  B32B19/00 ,  C03C27/06 ,  C03B23/20 ,  C03B23/203 ,  G02B5/08 ,  C03C3/06

CPC分类号： C03C10/0009 ,  B32B3/28 ,  B32B5/16 ,  B32B5/30 ,  B32B7/04 ,  B32B17/06 ,  B32B37/04 ,  B32B2260/025 ,  B32B2260/04 ,  B32B2264/101 ,  B32B2264/102 ,  B32B2264/12 ,  B32B2307/30 ,  B32B2307/416 ,  B32B2307/704 ,  B32B2307/732 ,  B32B2551/00 ,  C03B19/066 ,  C03B23/203 ,  C03B32/02 ,  C03B2201/06 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  C03C27/06 ,  C03C2201/10 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/50 ,  C03C2203/52 ,  C03C2204/00 ,  G02B1/00 ,  G02B5/0891 ,  G03F1/60

摘要： A glass composite for use in Extreme Ultra-Violet Lithography (EUVL) is provided. The glass composite includes a first silica-titania glass section. The glass composite further includes a second doped silica-titania glass section mechanically bonded to a surface of the first silica-titania glass section, wherein the second doped silica-titania glass section has a thickness of greater than about 1.0 inch.

摘要翻译： 提供了一种用于极光紫外光刻（EUVL）的玻璃复合材料。 玻璃复合材料包括第一二氧化硅 - 二氧化钛玻璃部分。 所述玻璃复合物还包括机械地结合到所述第一二氧化硅 - 二氧化钛玻璃部分的表面的第二掺杂二氧化硅 - 二氧化钛玻璃部分，其中所述第二掺杂二氧化硅 - 二氧化钛玻璃部分具有大于约1.0英寸的厚度。