半導体装置
    4.
    发明申请
    半導体装置 审中-公开
    半导体器件

    公开(公告)号:WO2009034863A1

    公开(公告)日:2009-03-19

    申请号:PCT/JP2008/065652

    申请日:2008-09-01

    Inventor: 須永 武史

    Abstract:  小型化を図ることが可能な半導体装置を提供する。この半導体装置(50)は、MEMS技術を用いて形成されたシリコンからなるセンサ素子(10)と、センサ素子(10)を収納するパッケージ(20)とを備えている。そして、センサ素子(10)は、枠体部(11)と、枠体部(11)の内側に配置される重り部(12)と、重り部(12)を枠体部(11)に揺動可能に支持する撓み部(13)とを含んでいる。また、重り部(12)の上面領域(1d)および枠体部(11)の上面領域(1e)には、センサ素子(10)と電気的に接続される集積回路(15(15a、15b))が形成されている。

    Abstract translation: 提供的是减少半导体器件的尺寸。 一种半导体器件(50)设置有通过使用MEMS技术形成的由硅制成的传感器元件(10)和存储传感器元件(10)的封装(20)。 传感器元件(10)包括框架部分(11),布置在框架部分(11)内部的配重部分(12)和用于将重量部分(12)可摆动地支撑到框架部分的柔性部分(13) 11)。 在重量部分(12)的上表面区域(1d)和框架部分(11)的上表面区域(1e)中,集成电路(15(15a,15b))电连接到传感器元件 ) 形成了。

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