公开(公告)号：WO2017063837A1

公开(公告)日：2017-04-20

申请号：PCT/EP2016/072481

申请日：2016-09-22

Applicant: MUEHLBAUER GMBH & CO. KG

Inventor： JUNKER, Henri ,  FERSTL, Markus

IPC: H01L21/67 ,  H01L23/00 ,  H05K13/04 ,  H01L21/683 ,  B65G47/91

CPC classification number: H01L21/67144 ,  B65G47/915 ,  H01L24/75 ,  H01L2224/75753 ,  H01L2224/75822 ,  H01L2224/75823 ,  H01L2224/75824 ,  H05K13/0413 ,  H05K13/046

Abstract: Eine Bauteilhandhabungsvorrichtung dient zum Entnehmen von Bauteilen von einem strukturierten Bauteilvorrat und zum Ablegen der entnommenen Bauteile an einer Empfangseinrichtung. Eine erste Wendeeinrichtung mit mehreren Aufnehmern ist dazu eingerichtet, an einer Spendestelle ein Bauteil von dem strukturierten Bauteilvorrat zu empfangen, das empfangene Bauteil um einen ersten vorbestimmten Winkel um seine Längs- oder Querachse zu wenden und zu einer Übergabestelle zu fördern. Eine zweite Wendeeinrichtung mit mehreren Aufnehmern ist dazu eingerichtet, das Bauteil an der Übergabestelle von einem Aufnehmer der ersten Wendeeinrichtung zu empfangen, das empfangene Bauteil um einen zweiten vorbestimmten Winkel um seine Längs- oder Querachse zu wenden und zu einer Ablagestelle zu fördern. Den ersten und zweiten Wendeeinrichtungen zugeordnete Lage- und Eigenschaftssensoren sind dazu eingerichtet, Lagedaten der ersten und zweiten Wendeeinrichtungen, Lagedaten von an den Aufnehmern befindlichen Bauteilen, und/oder Eigenschaften von an den Aufnehmern befindlichen Bauteilen zu erfassen, und für eine Steuerung zur Verfügung zu stellen. Die Steuerung ist dazu eingerichtet, mittels eines ersten Drehantriebes die erste Wendeeinrichtung um eine erste Achse kontrolliert zu drehen, mittels eines ersten Linearantriebes die erste Wendeeinrichtung längs der ersten Achse kontrolliert zu verfahren, mittels eines zweiten Drehantriebes die zweite Wendeeinrichtung um eine zu der ersten Achse nicht kollineare zweite Achse kontrolliert zu drehen, und mittels eines zweiten Linearantriebes die zweite Wendeeinrichtung längs der zweiten Achse kontrolliert zu verfahren.

Abstract translation: 组件处理设备用于从结构化组件供应中移除组件，并将移除的组件放置在接收设备处。 具有多个换能器的第一转动装置适于接收在分配点，所述结构化元件贮存器，通过围绕L＆AUML第一预定角度接收的组件的一部分; NGS，或打开横向轴线和导航用途bergamont为了F＆ouml;促进 ， 具有多个换能器的第二转向装置适于对导航使用组件接收所述第一转动装置，通过围绕L＆AUML第二预定角度接收的组件的接收机的bergamont顺序; NGS或转弯横向轴线和一个沉积部位至f＆OUML ;推广。 与位置和属性的传感器相关联的第一和第二逆变器被配置为检测所述第一和第二转动装置的位置的数据，保持在拾取部件的位置数据，和/或性质的保留在拾取器组件，以及f导航用途r用于AV导航中使用的控制 提供供应;. 所述控制器适于通过第一旋转驱动装置旋转时，控制围绕第一轴线，由一第一线性驱动器中，第一转向装置L＆AUML手段的第一换向装置;将所述第一轴的NGS继续控制时，第二转向装置是第二旋转驱动到的第一装置 轴非共线的第二轴被控制为旋转，并且通过第二线性驱动器进行控制，沿着第二轴的第二旋转装置被控制。

公开(公告)号：WO2017063838A1

公开(公告)日：2017-04-20

申请号：PCT/EP2016/072482

申请日：2016-09-22

Applicant: MUEHLBAUER GMBH & CO. KG

Inventor： KOCH, Konstantin ,  FERSTL, Markus ,  BRANDL, Franz ,  MIEHLICH, Rainer ,  LAKHADANAU, Siarhei

IPC: H01L21/677 ,  H05K13/04 ,  H01L23/00 ,  G01N21/88 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01L21/68 ,  G01N21/95

CPC classification number: H05K13/021 ,  H01L21/67144 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67721 ,  H01L21/681 ,  H01L21/6835 ,  H01L21/6836 ,  H01L24/75 ,  H01L2221/68313 ,  H01L2224/75 ,  H01L2224/75753 ,  H01L2224/75822 ,  H01L2224/75823 ,  H01L2224/75824 ,  H05K13/08

Abstract: Eine Bauteilhandhabungsvorrichtung dient zum Entnehmen von Bauteilen aus einem strukturierten Bauteilvorrat und zum Ablegen der entnommenen Bauteile an einer Empfangseinrichtung. Diese muss vor der erstmaligen Inbetriebnahme, nach dem Auswechseln von Vorrichtungsbestandteilen oder nach Wartungsarbeiten jeweils neu justiert werden, um den Präzisionsanforderungen beim Handhaben der Bauteile gerecht zu werden. Die Bauteilhandhabungsvorrichtung verfügt hierzu über eine Selbstjustierungsvorrichtung, welche es ermöglicht ohne manuelles Eingreifen eines Bedieners die Vorrichtung zeiteffizient und mit hoher Präzision zu justieren. Die Selbstjustierungsvorrichtung besteht hierbei aus einer Mehrzahl von optischen Sensoren und einer Steuerung Ein Abgleich der durch die optischen Sensoren gewonnenen Messergebnisse mit Hilfe von originär für die Bauteilkontrolle während der Fertigung installierten Lage- und Eigenschaftssensoren stellt ein hohes Maß an Verfahrenszuverlässigkeit her und ermöglicht gleichzeitig die Kontrolle von Vorrichtungsbestandteilen auf Beschädigung.

Abstract translation: 组件处理设备用于从结构化组件供应中移除组件，并将移除的组件放置在接收设备处。 在初始启动之前，更换设备部件之后或维护之后，必须重新调整该部件以满足部件处理的精度要求。 为此，部件处理设备具有自调整装置，其能够以省时和高精度的方式调整装置而无需操作者的人工干预。 自对准装置由多个光学传感器和一个控制装置组成，在生产过程中，通过安装在原件位置和性能传感器上的光学传感器获得的测量结果的比较表明了高度的准确性。 过程可靠性，并允许控制设备组件的损坏。

公开(公告)号：WO2016189576A1

公开(公告)日：2016-12-01

申请号：PCT/JP2015/064692

申请日：2015-05-22

Applicant: 富士機械製造株式会社

Inventor： 村井　正樹 ,  山崎　敏彦 ,  清水　利律

IPC: H01L21/603 ,  H01L21/60

CPC classification number: H05K13/046 ,  H01L24/75 ,  H01L2224/75301 ,  H01L2224/75651 ,  H01L2224/75823 ,  H01L2224/7592 ,  H01L2224/7598 ,  H01L2924/3511 ,  H05K3/32 ,  H05K13/02 ,  H05K13/0408

Abstract: 回路基板（１７）の圧着部に載せたダイ（１４）を上方から加圧して該ダイを該回路基板の圧着部に圧着する電子部品圧着装置（２５）において、回路基板の圧着部上のダイを加圧する複数の加圧ツール（２８）を備える。複数の加圧ツールの各々を３６０°いずれの方向にも傾動可能とする倣い機構（２９）を介して支持ブロック（２６）に支持させると共に、支持ブロックを上下方向に駆動する駆動機構（２７）を設ける。複数の支持ブロックを回路基板の幅方向に配列し、コンベア（１８）により回路基板を搬送して該回路基板の圧着部上のダイが複数の支持ブロックのいずれかの支持ブロックの下方に到達したときに該回路基板の搬送を停止して該支持ブロックの駆動機構により該支持ブロックを下降動作させて該支持ブロックの加圧ツールで該ダイを該回路基板の圧着部に圧着する。

Abstract translation: 将从上方施加压力的电子部件压接装置（25）放置在配置在电路基板（17）的压接部上的模具（14）和模具的压接部 ，其中所述装置（25）设置有用于将所述管芯压在所述电路板的压接部分上的多个加压工具（28）。 提供了一种驱动机构（27），其中加压工具被支撑在由可沿着360°的任何方向倾斜的顺应机构（29）插入的支撑块（26）上，支撑块被垂直地驱动。 多个支撑块沿电路板的宽度方向布置，电路板由传送器（18）输送，当电路板的压接部分上的管芯具有 到达多个支撑块的任何支撑块的下方，支撑块由用于支撑块的驱动机构降低，并且模具通过加压工具压接到电路板的压接部分 支持块。

公开(公告)号：WO2017063835A1

公开(公告)日：2017-04-20

申请号：PCT/EP2016/072479

申请日：2016-09-22

Applicant: MUEHLBAUER GMBH & CO. KG

Inventor： KOCH, Konstantin ,  FERSTL, Markus

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  H05K13/04 ,  H01L23/00 ,  G01N21/95 ,  H01L21/683 ,  G01N21/88

CPC classification number: H05K13/021 ,  H01L21/67144 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67721 ,  H01L21/681 ,  H01L21/6835 ,  H01L21/6836 ,  H01L24/75 ,  H01L2221/68313 ,  H01L2224/75 ,  H01L2224/75753 ,  H01L2224/75822 ,  H01L2224/75823 ,  H01L2224/75824 ,  H05K13/08

Abstract: Eine Empfangseinrichtung für Bauteile ist dazu eingerichtet, relativ zu einer Ablagestelle mittels eines Drehantriebes zumindest teilweise um eine die Ablagestelle enthaltende dritte Achse kontrolliert zu drehen, und/oder wenigstens eines Linearantriebes zumindest teilweise längs einer der ersten, zweiten und/oder dritten Achsen kontrolliert zu verfahren, und/oder eines Drehantriebes einen durch die Empfangseinrichtung geführten Träger längs einer der ersten und/oder zweiten Achsen kontrolliert zu verfahren.

Abstract translation: 到旋转r部件由旋转驱动围绕控制的含有相对沉积部位第三轴线至少部分的装置，其适于沉积位点和/或至少一个直线驱动器，至少部分地升＆AUML;

一种导航用接收机NGS一个 第一，第二和/或第三轴线受控进行，和/或旋转驱动一个由所述接收实测值导航用途艰辛Tr的AUML亨特L BEAR进行NGS装置控制所述第一和/或第二轴线的一个。

公开(公告)号：WO2014130353A1

公开(公告)日：2014-08-28

申请号：PCT/US2014/016418

申请日：2014-02-14

Applicant: LUXVUE TECHNOLOGY CORPORATION

Inventor： GOLDA, Dariusz ,  HIGGINSON, John A. ,  BIBL, Andreas ,  PARKS, Paul Argus ,  BATHURST, Stephen Paul

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  B65G47/91 ,  B25J11/00 ,  B25J19/02

CPC classification number: H01L24/75 ,  B25J7/00 ,  B25J9/0015 ,  B25J15/0052 ,  B25J15/0085 ,  H01L24/95 ,  H01L2224/75252 ,  H01L2224/75282 ,  H01L2224/75725 ,  H01L2224/75823 ,  H01L2224/75901 ,  H01L2224/7592 ,  H01L2224/7598 ,  H01L2924/12041 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/00

Abstract: Systems and methods for transferring a micro device from a carrier substrate are disclosed. In an embodiment, a mass transfer tool manipulator assembly allows active alignment between an array of electrostatic transfer heads on a micro pick up array and an array of micro devices on a carrier substrate. Displacement of a compliant element of the mass transfer tool manipulator assembly may be sensed to control alignment between the array of electrostatic transfer heads and the array of micro devices.

Abstract translation: 公开了用于从载体衬底传送微器件的系统和方法。 在一个实施例中，质量传递工具操纵器组件允许在微拾取阵列上的静电转印头阵列和载体衬底上的微器件阵列之间的主动对准。 可以检测质量传递工具操纵器组件的柔性元件的位移，以控制静电转印头阵列与微器件阵列之间的对准。

公开(公告)号：WO2013135302A1

公开(公告)日：2013-09-19

申请号：PCT/EP2012/054650

申请日：2012-03-16

Applicant: EV GROUP E. THALLNER GmbH ,  WIMPLINGER, Markus ,  SIGL, Alfred

Inventor： WIMPLINGER, Markus ,  SIGL, Alfred

IPC: H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67144 ,  H01L21/68771 ,  H01L21/68778 ,  H01L24/75 ,  H01L24/89 ,  H01L24/97 ,  H01L2224/75251 ,  H01L2224/75252 ,  H01L2224/75316 ,  H01L2224/75317 ,  H01L2224/75318 ,  H01L2224/7532 ,  H01L2224/757 ,  H01L2224/75704 ,  H01L2224/75724 ,  H01L2224/75744 ,  H01L2224/75822 ,  H01L2224/75823 ,  H01L2224/75824 ,  H01L2224/7598 ,  H01L2224/9205 ,  H01L2224/94 ,  H01L2224/97 ,  H01L2924/351 ,  H01L2924/00

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft eine Druckübertragungseinrichtung zum Bonden einer Vielzahl von Chips (13) auf ein Substrat (12) mit: - einem Druckkörper (2) zur Beaufschlagung der Chips (13) mit einer in Bondrichtung (B) wirkenden Bondkraft, wobei der Druckkörper (2) eine erste Druckseite (2o) und eine gegenüberliegende zweite Druckseite (2f) aufweist, die quer zur Bondrichtung (B) verlaufen, - am Umfang der Druckübertragungseinrichtung (1) anbringbaren Fixiermitteln (8, 8', 8") zur Fixierung der Druckübertragungseinrichtung (1) an einem Haltekörper (9) in der Bondrichtung (B), und - einer Gleitschicht (3) zur gleitenden Bewegung des Druckkörpers (2) quer zur Bondrichtung (B).

Abstract translation: 本发明涉及一种压力传递装置用于在基板上接合多个芯片（13）（12）包括： - 压力体（2）用于装载具有芯片（13）的在接合方向（B）作用的粘接力，其中，所述压力体（ 2）具有第一压力侧（20）和相对的第二压力面（2F），它横向延伸（向接合方向B）， - 在压力传递装置的外周（1）可附接固定装置（8,8”，8“），用于固定所述真空传递装置 （1）在接合方向（B）的保持体（9），以及 - 用于滑动压力体（2）的移动横向于接合方向（B）的滑动层（3）。