ボンディング装置
    2.
    发明申请
    ボンディング装置 审中-公开
    绑定装置

    公开(公告)号:WO2015045935A1

    公开(公告)日:2015-04-02

    申请号:PCT/JP2014/074366

    申请日:2014-09-16

    Inventor: 和田 浩光

    Abstract:  複数のデバイスチップを同時に接合する際に、それぞれのデバイスチップと電極パッドとの接合不良を防ぐことができるボンディング装置を提供する。 具体的には、基板表面に設けられた電極パッド上にデバイスチップを接合するボンディング装置であって、基板を水平方向に載置するステージ部と、複数のデバイスチップチップを一度に保持するヘッド部と、ヘッド部を上下方向に昇降移動させるヘッド昇降機構とを備え、 ヘッド昇降機構の可動側部材には、ボールジョイントを介して接続された前記ヘッド部と、当該可動側部材の可動方向に対して振動を加える加振装置とを備え、ヘッド部をステージ部側に向けて加圧する加圧装置をさらに備えた、ボンディング装置である。

    Abstract translation: 提供了一种当同时接合多个器件芯片时能够防止器件芯片和电极焊盘之间的接合故障的接合装置。 具体而言,在基板表面上设置在电极焊盘上的用于接合器件芯片的接合装置设置有:沿水平方向安装基板的台部, 同时保持多个器件芯片的头部; 以及在垂直方向上抬起头部的头部提升机构。 头部提升机构的可动侧构件设置有:头部,其经由球窝接头与可动侧构件连接; 以及相对于可动侧构件的移动方向施加振动的振动装置。 接合装置还设置有使头部朝向台部加压的加压装置。

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