避免真空腔腔门过冲的启闭装置及真空腔室

    公开(公告)号:CN106939746A

    公开(公告)日:2017-07-11

    申请号:CN201511026740.3

    申请日:2015-12-31

    Inventor: 高颖 雷仲礼

    Abstract: 本发明提供了一种避免真空腔腔门过冲的启闭装置及真空腔室,包括具有线性驱动轴的线性驱动部件和接头部件,接头部件一端固定于腔门边缘,接头部件另一端具有一连接孔;线性驱动部件的一端活动连接于真空腔的外壁上,另一端和接头部件另一端通过连接孔进行活动连接;通过线性驱动部件的旋转来驱动接头部件旋转从而打开或关闭腔门;环绕在线性驱动轴的端部的挡板套筒;位于接头部件的连接孔上的挡板,其具有靠近线性驱动部件的截止端;一栓销穿过连接孔,将挡板与挡板套套筒固定连接,且将挡板与接头部件之间活动连接;位于接头部件上的挡板阻件,其靠近挡板的截止端设置,且当挡板的截止端与挡板阻件接触后,接头部件被挡板卡住而不能继续旋转。

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