公开(公告)号：CN103811376A

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：CN201210445677.7

申请日：2012-11-09

申请人： 沈阳芯源微电子设备有限公司

发明人： 卢继奎 ,  谷德君

IPC分类号： H01L21/67

CPC分类号： H01L21/67023 ,  B05B13/0242 ,  B05B13/0278 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/68742 ,  H01L21/68785

摘要： 本发明属于半导体行业晶片湿法处理领域，具体地说是一种液体喷洒装置，包括液杯、承片台、主轴电机及摆臂装置，摆臂装置包括夹持气缸、升降气缸及摆臂，液杯与主轴电机的输出轴相连，在液杯内设有盛放晶片的承片台，承片台及晶片随液杯由主轴电机驱动旋转；摆臂的一端与升降气缸的输出端相连，另一端连接有夹持气缸，并且摆臂的另一端设有至少一个向晶片喷洒液体的液体喷嘴，通过机械手送来的晶片由夹持气缸夹持，摆臂及夹持气缸通过升降气缸驱动升降。本发明的承片台放置在液杯里，对晶片表面喷洒液体时，液杯中会一直有液体用于浸泡晶片，增加液体与晶片的接触时间；由于晶片背面也有液体，这样也可以对晶片背面进行清洗。

公开(公告)号：CN103762291A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201310734591.0

申请日：2013-12-27

申请人： 铜陵中发三佳科技股份有限公司

发明人： 杨宇 ,  曹杰 ,  代迎桃 ,  汪宗华

IPC分类号： H01L33/48 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68

CPC分类号： H01L33/48 ,  H01L21/67706 ,  H01L2933/0033

摘要： 本发明公开了适用于LED支架EMC封装的料片排料装置，它包括带有支撑脚（1）的底板（2），所述底板上表面设有若干LED支架放置槽（3），所述LED支架放置槽两旁开设有让位槽（4），所述让位槽周围均布有与LED支架的定位孔相适配的定位针（5），底板上表面周边还设有若干导向定位柱（6）。还公开了与料片排料装置配合使用的投料装置，使操作工人在生产的过程当中能安全的，平稳的，方便的将LED支架摆放在模具上。

公开(公告)号：CN103733326A

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：CN201280040368.X

申请日：2012-09-06

申请人： 川崎重工业株式会社

发明人： 坂东贤二

IPC分类号： H01L21/677 ,  B65G49/06

CPC分类号： B65G47/06 ,  B65G47/52 ,  B65G49/06 ,  B65G49/064 ,  B65G49/068 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67778

摘要： 搬运系统（1）具备收纳壳体（12）、升降装置（13）、传递装置（14）和搬运装置（15）。升降装置（13）使收纳壳体（12）升降而使其中的各基板（11）依次位于接收位置。传递装置（14）将接收位置的基板（11）接收后在传递位置上传递给搬运装置（15）。搬运装置（15）具有一对输送带（51、51）。一对输送带（51、51）在左右方向上隔着间隔设置，多个型材（54）相互对应地分别设置在此处。对应的型材（54）形成为向搬运方向一起移动，并且支持在传递位置上被传递的基板（11）的外缘部且将该基板（11）定位在规定位置上的结构。

公开(公告)号：CN103658072A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310412186.7

申请日：2013-09-11

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 李承俊 ,  柳廷和 ,  韩苏拉 ,  申东明

IPC分类号： B08B1/02 ,  B08B3/08 ,  B08B7/04 ,  H01L21/67

CPC分类号： B08B1/02 ,  B08B1/002 ,  B08B1/04 ,  B08B3/041 ,  H01L21/67046 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/6776

摘要： 提供一种基板清洁装置。该基板清洁装置包括用于传送基板的多个传送滚筒；将液体化学物供应到所述基板的第一表面的液体化学物供给器；其中所述液体化学物供给器包括壳体和清洁滚筒，该清洁滚筒被能旋转地安装在所述壳体内并且具有被配置为接触所述基板的上部分。

公开(公告)号：CN103632994A

公开(公告)日：2014-03-12

申请号：CN201210310050.0

申请日：2012-08-29

申请人： 扬州鑫晶光伏科技有限公司

发明人： 朱守权

IPC分类号： H01L21/66 ,  H01L31/18

CPC分类号： Y02P70/521 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/68764 ,  H01L22/10

摘要： 太阳能硅电池片的测试定位系统，涉及太阳能硅电池片生产设备领域，尤其涉及对电池片在传输过程进行定位和测试的设备，包括输送皮带，在所述输送皮带的上方间隔设置压缩空气管道，压缩空气管道的出口端斜向布置并朝向输送皮带。本发明通过人为增加电池片与皮带间的摩擦力，使电池片不会在皮带上因惯性打滑，出现位置错误。但不能接触电池片，又不能位于电池片的正上方而挡住氙灯的照射。所以在电池片的斜上方增加压缩空气进行吹压，增加电池片在传输皮带上的压力从而增加电池片与皮带直接的摩擦力。当电池片与皮带间有足够的摩擦力，不会出现电池片在皮带上打滑，使得电池片在测试时定位准确，不会出现测试错误现象。

公开(公告)号：CN101784466B

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN200880101257.9

申请日：2008-07-02

申请人： 吉布尔.施密德有限责任公司

发明人： L·尼科莱特

IPC分类号： B65G49/06 ,  H01L21/00 ,  H01L21/677 ,  H01L31/18 ,  H05K13/00

CPC分类号： H01L21/67706 ,  B65G49/064 ,  B65G2249/04 ,  H01L21/67057 ,  H01L21/67086 ,  H01L21/67721 ,  H05K13/0061

摘要： 为了将印刷电路板(30)传送通过处理系统(12)，可通过保持夹(22)连接一个接一个放置的印刷电路板(30)而形成一种链。保持夹(22)的外端部悬置在为传送和安装而设置的两个间隔的传送链(16)上。保持夹形成为两部件式，具有上保持部件(32)和下保持部件(40)，将印刷电路板(30)安装在其间。

公开(公告)号：CN103540905A

公开(公告)日：2014-01-29

申请号：CN201310456318.6

申请日：2009-12-09

申请人： 佳能安内华股份有限公司

发明人： 田中康友

IPC分类号： C23C14/50 ,  C23C16/44 ,  F16H19/04 ,  F16H35/06 ,  B66F3/02 ,  B65G49/06 ,  C23C14/56

CPC分类号： H01L21/67706 ,  B65G49/061 ,  B65G2249/02 ,  C23C14/50 ,  C23C14/568 ,  F16H19/04 ,  F16H35/008 ,  Y10T74/1956

摘要： 本发明提供齿条-小齿轮机构及真空处理装置。以简单的机构避免由于齿条和小齿轮的相位错位而引起齿尖彼此碰撞，从而使齿条和小齿轮顺畅地啮合。齿条-小齿轮机构设有固定于载置台的齿条和连结于驱动源的多个小齿轮，所述载置台用于搭载被搬运物并在搬运轨道上移动，这些小齿轮中，至少两个小齿轮同步旋转而依次与齿条啮合，由此将齿条从当前工序的小齿轮向下一工序的小齿轮交接而将其搬运，该齿条-小齿轮机构具有：用于检测小齿轮的相位差值的部件；该齿条-小齿轮机构具有控制装置，该控制装置具有用于存储检测部件所检测到的小齿轮的相位差值的存储部，该控制装置基于当前工序的小齿轮的相位差值，对下一工序的小齿轮的相位差值进行控制。

公开(公告)号：CN103415646A

公开(公告)日：2013-11-27

申请号：CN201280009871.9

申请日：2012-02-20

申请人： CTF太阳能有限公司

发明人： 迈克尔·哈里 ,  希尔马·里希特 ,  斯特芬·博瑟尔特 ,  拉尔夫·施托伊滕 ,  斯特芬·乔治 ,  塞巴斯蒂安·蒂特尔 ,  维尔纳·沙德

IPC分类号： C23C14/54 ,  C23C14/56

CPC分类号： H01L31/18 ,  C03C17/002 ,  C03C17/09 ,  C23C14/541 ,  C23C14/56 ,  C23C14/568 ,  C23C16/46 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02557 ,  H01L21/02562 ,  H01L21/02568 ,  H01L21/02617 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/6776 ,  H01L31/1828 ,  H01L31/1876 ,  H01L31/1892 ,  Y02E10/543 ,  Y02P70/521

摘要： 本发明介绍了一种方法和一种设备，用于涂覆板状基材，特别是涂覆用于制造太阳能电池的玻璃基材。该方法包括，在传输轴上运动穿过加热室和涂层室的基材在顶侧和底侧上不同强度地受到加热，从而可以提高涂层温度，而基材不会由于软化而不再可加工。描述了一种设备，其适用于实施该方法，并且加热室和涂层室具有独立的加热系统以及传输系统。

公开(公告)号：CN103329257A

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：CN201180065526.2

申请日：2011-10-28

申请人： 株式会社爱发科

发明人： 大野哲宏 ,  佐藤重光 ,  大空弘树 ,  佐藤善胜 ,  松冈隆滋

IPC分类号： H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  C23C14/50

CPC分类号： B65G49/063 ,  B65G49/061 ,  B65G2249/02 ,  C23C14/50 ,  C23C14/56 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67709 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/6776

摘要： 一种被处理体的运送机构具备：运送部件，在下部具备圆柱状的滑动轴并运送被处理体；支撑部件，由具备与所述滑动轴相接并引导所述运送部件的U字状的槽部的多个辊构成，在所述被处理体的运送机构中，所述滑动轴及所述辊中一方的至少接触部由包括硅、铝、氧及氮的块体构成，所述滑动轴及所述辊中另一方的至少接触部由不锈钢构成。

公开(公告)号：CN103298715A

公开(公告)日：2013-09-11

申请号：CN201180056602.3

申请日：2011-11-28

申请人： TP太阳能公司

发明人： 路易斯·阿雷安卓·芮·加希亚 ,  理查德·W·帕克斯 ,  彼得·G·拉给

IPC分类号： B65G19/00

CPC分类号： B65G17/12 ,  B65G17/26 ,  B65G17/32 ,  F27B17/0025 ,  F27D3/0084 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67742

摘要： 本发明揭露一种新等级工作件传送带，包含零质量、少阴影运输系统，其系拥有具有定义处理路径之一对平行、横向间隔、可移动链的传动，其系具有指朝处理路径中央线横切突出。在指之间的间隙排除传送带管/杆支撑物，以改善晶圆品质并且保留能量。实施包括指所固定到的布线链、带与滚筒链运输。指会被向下定角，以致于工作件之底部与侧边缘的交叉点仅仅与每一指进行点接触。一对指链实施单一通道传动；将相对指向指添加到中央双横向指传动链会实施多通道系统。本发明方法包括在肩并肩通道中之可各别架构的处理温度轮廓，其系以区域接着区域、上与下半为基础，以用于宽广的处理弹性。以新转换器为主的灯-电压控制系统可提供稳定的灯功率以用于精确的温度控制。