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    SAMPLE INSPECTION DEVICE AND SAMPLE INSPECTION METHOD
    2.
    发明公开
    SAMPLE INSPECTION DEVICE AND SAMPLE INSPECTION METHOD 审中-公开

    公开(公告)号：EP3734641A1

    公开(公告)日：2020-11-04

    申请号：EP18897698.9

    申请日：2018-12-20

    申请人： Photo Electron Soul Inc.

    发明人： NISHITANI, Tomohiro ,  KOIZUMI, Atsushi ,  SHIKANO, Haruka

    IPC分类号： H01J37/244 ,  G01N23/2251 ,  H01J37/073 ,  H01J37/252

    摘要： The present invention addresses the problem of providing a sample inspection device and a sample inspection method, whereby noise is removed from a detection signal, and a generated electron beam is utilized effectively for inspection.
    A sample inspection device according to the present invention is provided with a light source for emitting frequency-modulated light, a photocathode for emitting an electron beam in response to receiving the frequency-modulated light, a detector for detecting electrons emitted from a sample irradiated by the electron beam and generating a detection signal, and a signal extractor for extracting a signal having a frequency corresponding to a modulation frequency of the frequency-modulated light from within the detection signal.

    VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ELEKTRONENTRANSFER VON EINER PROBE ZU EINEM ENERGIEANALYSATOR UND ELEKTRONEN-SPEKTROMETERVORRICHTUNG
    3.
    发明公开
    VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ELEKTRONENTRANSFER VON EINER PROBE ZU EINEM ENERGIEANALYSATOR UND ELEKTRONEN-SPEKTROMETERVORRICHTUNG 审中-公开

    公开(公告)号：EP3712924A1

    公开(公告)日：2020-09-23

    申请号：EP20163611.5

    申请日：2020-03-17

    申请人： SPECS Surface Nano Analysis GmbH

    发明人： Schönhense, Gerd ,  Kampen, Thorsten ,  Schaff, Oliver ,  Mähl, Sven

    IPC分类号： H01J49/44 ,  H01J37/04 ,  H01J37/252 ,  H01J37/05 ,  H01J49/48

    摘要： Eine Elektronen-Abbildungsvorrichtung 100, die für einen Elektronentransfer entlang einer elektronenoptischen Achse OA von einer Elektronen 2 emittierenden Probe 1 zu einer Energieanalysatorvorrichtung 200 eingerichtet ist, umfasst eine probenseitige erste Linsengruppe 10, eine analysatorseitige zweite Linsengruppe 30 und eine Ablenkeinrichtung 20, die zur Ablenkung der Elektronen 2 in einer Austrittsebene der Elektronen-Abbildungsvorrichtung 100 in einer Ablenkrichtung senkrecht zur elektronenoptischen Achse OA eingerichtet ist, wobei die erste Linsengruppe 10 eine erste reziproke Ebene RP1 innerhalb der ersten Linsengruppe 10 und eine erste Gauß-Ebene GP1 zwischen der ersten und der zweiten Linsengruppe 10, 30 bildet und zur Erzeugung eines ersten Impulsverteilungsbildes einer Impulsverteilung von Elektronen 2 aus der Probe 1 in der ersten reziproken Ebene RP1 und zur Erzeugung eines ersten Gauß-Bildes der Probe 1 in der ersten Gauß-Ebene GP1 eingerichtet ist, die zweite Linsengruppe 30 eine zweite reziproke Ebene RP2 analysatorseitig von der zweiten Linsengruppe 30 bildet und zur Erzeugung eines zweiten Impulsverteilungsbildes der Impulsverteilung der Elektronen 2 aus der Probe 1 in der zweiten reziproken Ebene RP2 eingerichtet ist, und die erste Linsengruppe 10 zur Erzeugung des ersten Gauß-Bildes mit einer derartig geringen Größe eingerichtet ist, dass das mit der zweiten Linsengruppe 30 erzeugte zweite Impulsverteilungsbild ein Parallelbild ist. Es werden auch eine Elektronen-Spektrometervorrichtung, ein Elektronentransferverfahren und ein Elektronen-Spektrometrieverfahren beschrieben.