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公开(公告)号:JP2018197702A
公开(公告)日:2018-12-13
申请号:JP2017102552
申请日:2017-05-24
申请人: ルネサスエレクトロニクス株式会社
CPC分类号: G01R31/2887 , G01R1/0466 , G01R1/0483 , G01R1/06722 , G01R31/2896 , H01L21/4825 , H01L21/4842 , H01L21/4853 , H01L21/565 , H01L22/14
摘要: 【課題】半導体装置の製造効率を向上させる。 【解決手段】 半導体装置に搭載された半導体チップと電気的に接続された外部端子と、テスト回路に接続されたプローブピンPA1の先端部PAc1と、を接触させることで、前記半導体チップと前記テスト回路とを電気的に接続し、電気的試験を行う工程を含んでいる。プローブピンPA1は、先端部PAc1が、基材PAs1と、基材PAs1上に形成されたニッケル膜PAb1と、ニッケル膜PAb1上に形成され、銀からなる導電膜PAm1と、により構成され、導電膜PAm1は、ニッケル膜PAb1よりも厚い。 【選択図】図10
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公开(公告)号:JP2017026505A
公开(公告)日:2017-02-02
申请号:JP2015146314
申请日:2015-07-24
申请人: ルネサスエレクトロニクス株式会社
CPC分类号: H01L22/14 , G01R31/2884 , H01L21/56 , H01L21/67242 , H01L22/32 , H01L23/49541 , H01L24/32 , H01L24/49 , H01L24/73 , H01L24/83 , H01L24/85 , H01L24/92 , H01L2223/54433 , H01L2223/54486 , H01L2224/04042 , H01L2224/2929 , H01L2224/29339 , H01L2224/32245 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/48091 , H01L2224/48101 , H01L2224/48106 , H01L2224/48137 , H01L2224/48245 , H01L2224/48247 , H01L2224/73265 , H01L2224/85203 , H01L2224/85205 , H01L2224/85207 , H01L2224/92247 , H01L23/3121 , H01L23/49575 , H01L23/544 , H01L2924/01028 , H01L2924/01029 , H01L2924/01046 , H01L2924/01047 , H01L2924/0105 , H01L2924/01079 , H01L2924/01083 , H01L2924/014 , H01L2924/17747 , H01L2924/181 , H01L2924/19042
摘要: 【課題】電気的試験の信頼性を向上させる。 【解決手段】一実施の形態による半導体装置の製造方法は、複数のリードLD1(第1リード)に電位(第1電位)VT1を供給して電気的試験を行う工程において、複数のリードLD1のそれぞれに複数のテスト端子27、28を接触させて電位VT1を供給する。また、複数のテスト端子27のうちのテスト端子27は、複数のリードLD1のそれぞれに個別に接触するように設けられ、テスト端子28は、複数のリードLD1に一括して接触する。 【選択図】図15
摘要翻译: 为了改善电测试的可靠性。 一种用于根据一个实施例的多个引线LD1(第一引线),多个引线LD1的制造半导体器件,在执行通过供给的电位(第一电位)的电测试的步骤VT1方法 由分别的多个测试端子27和28的接触提供电位VT1。 此外,分别设置在多个测试端子27的测试端子27,以便个别地接触所述多个引线LD1,测试端子28相接触,以共同地对多个引线LD1。 .The 15
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公开(公告)号:JP6407672B2
公开(公告)日:2018-10-17
申请号:JP2014233829
申请日:2014-11-18
申请人: ルネサスエレクトロニクス株式会社
CPC分类号: H01L22/14 , G01R1/0466 , G01R1/06716 , G01R1/07357 , G01R31/2601 , H01L21/565 , H01L22/30 , H01L2224/32245 , H01L2224/48247 , H01L2224/73265 , H01L2924/181 , H01L2924/00012 , H01L2924/00
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公开(公告)号:JP2018059866A
公开(公告)日:2018-04-12
申请号:JP2016198908
申请日:2016-10-07
申请人: ルネサスエレクトロニクス株式会社
CPC分类号: H01L23/49816 , G01R1/0458 , G01R1/0483 , G01R31/2863 , G01R31/2874 , H01L21/563 , H01L21/78 , H01L22/34 , H01L23/49838 , H01L24/06 , H01L24/45 , H01L24/46 , H01L2224/04042 , H01L2224/32225 , H01L2224/45144 , H01L2224/45644 , H01L2224/48227 , H01L2224/48228 , H01L2224/48465 , H01L2224/73265 , H01L2924/15311 , H01L2924/181 , H01L2924/00012 , H01L2924/00014
摘要: 【課題】半導体装置の信頼性を向上する。 【解決手段】(a)半田ボール5を備えたBGAをバーンインテスト用のソケットに装着する工程、(b)上記ソケットの導電性のコンタクトピン11aによって半田ボール5を挟み込んで上記BGAのバーンインテストを行う工程、を有する。ここで、上記ソケットのコンタクトピン11aは、上記BGAの装着方向に沿って延在する導電性の第1突出部11bと、第1突出部11bの延在方向に交差する方向に沿って設けられ、かつ半田ボール5のBGAの装着側の表面に対向して配置された導電性の第2突出部11cと、を備えている。そして、上記(b)工程において、コンタクトピン11aの第1突出部11bを半田ボール5に接触させた状態で上記BGAのバーンインテストを行う。 【選択図】図6
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公开(公告)号:JP2016099136A
公开(公告)日:2016-05-30
申请号:JP2014233829
申请日:2014-11-18
申请人: ルネサスエレクトロニクス株式会社
CPC分类号: H01L22/14 , G01R1/0466 , G01R1/06716 , G01R1/07357 , G01R31/2601 , H01L21/565 , H01L22/30 , H01L2224/32245 , H01L2224/48247 , H01L2224/73265 , H01L2924/181
摘要: 【課題】コンタクトピンの製造容易性の向上を図りながら、外部端子へのコンタクトピンによる多点接触の確実性を向上する。 【解決手段】コンタクトピンPINは、コンタクトピンPIN1とコンタクトピンPIN2とを備える。そして、コンタクトピンPIN1は、y方向に延在する支持部SPU1と、この支持部SPU1に繋がる先端部PTU1とを有し、コンタクトピンPIN2も、y方向に延在する支持部SPU2と、この支持部SPU2に繋がる先端部PTU2とを有する。ここで、コンタクトピンPIN1の支持部SPU1およびコンタクトピンPIN2の支持部SPU2は、水平面内(xy平面内)のx方向に沿って並べて配置され、かつ、コンタクトピンPIN2の先端部PTU2は、コンタクトピンPIN1の先端部PTU1から、x方向と交差(直交)する水平面内のy方向に沿ってずれている。 【選択図】図11
摘要翻译: 要解决的问题:提供一种制造半导体器件的方法,该半导体器件能够通过接触引脚将外部端子的多点接触确定性提高,同时提高接触针的制造容易度。解决方案:接触针PIN包括接触针PIN1和接触针 PIN2。 接触销PIN1包括沿y方向延伸的支撑部分SPU1和连接到支撑部分SPU1的尖端部分PTU1。 接触销PIN2还包括沿y方向延伸的支撑部分SPU2和连接到支撑部分SPU2的尖端部分PTU2。 接触销PIN1的支撑部分SPU1和接触销PIN2的支撑部分SPU2沿水平面(xy平面)中的x方向并排布置。 接触销PIN2的尖端部分PTU2沿着与接触销PIN1的尖端部分PTU1交叉(垂直于x方向)的水平面沿y方向偏离。图11
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公开(公告)号:JP6234441B2
公开(公告)日:2017-11-22
申请号:JP2015511033
申请日:2013-04-11
申请人: ルネサスエレクトロニクス株式会社
CPC分类号: H01L22/14 , G01R1/06738 , G01R31/40 , H01L24/36 , H01L24/37 , H01L24/40 , H01L24/97 , H01L25/50 , G01R1/0466 , G01R1/0483 , G01R31/2874 , H01L2224/32245 , H01L2224/37147 , H01L2224/40095 , H01L2224/40245 , H01L2224/48137 , H01L2224/48247 , H01L2224/73221 , H01L2224/73265 , H01L2224/83801 , H01L2224/84801 , H01L2224/97 , H01L2924/00014 , H01L2924/13091 , H01L2924/181
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