公开(公告)号：US08821640B2

公开(公告)日：2014-09-02

申请号：US12438502

申请日：2007-08-31

申请人： John M. Cleary ,  Jose I. Arno ,  Bryan C. Hendrix ,  Donn Naito ,  Scott Battle ,  John N. Gregg ,  Michael J. Wodjenski ,  Chongying Xu

发明人： John M. Cleary ,  Jose I. Arno ,  Bryan C. Hendrix ,  Donn Naito ,  Scott Battle ,  John N. Gregg ,  Michael J. Wodjenski ,  Chongying Xu

IPC分类号： C23C16/54 ,  C23C16/44 ,  C23C16/00 ,  C23C16/448

CPC分类号： C23C16/4481 ,  C23C14/48 ,  C23C16/08 ,  C23C16/16 ,  C23C16/18 ,  C23C16/30 ,  C23C16/4402 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45544

摘要： Apparatus and method for volatilizing a source reagent susceptible to particle generation or presence of particles in the corresponding source reagent vapor, in which such particle generation or presence is suppressed by structural or processing features of the vapor generation system. Such apparatus and method are applicable to liquid and solid source reagents, particularly solid source reagents such as metal halides, e.g., hafnium chloride. The source reagent in one specific implementation is constituted by a porous monolithic bulk form of the source reagent material. The apparatus and method of the invention are usefully employed to provide source reagent vapor for applications such as atomic layer deposition (ALD) and ion implantation.

摘要翻译： 挥发易于产生颗粒的源试剂的源试剂的装置和方法，其中通过蒸气发生系统的结构或加工特征抑制了这种颗粒产生或存在的相应源试剂蒸气。 这种装置和方法适用于液体和固体源试剂，特别是固体源试剂如金属卤化物，例如氯化铪。 一种具体实施方案中的源试剂由源试剂材料的多孔整体块形式构成。 本发明的装置和方法有用地用于提供用于例如原子层沉积（ALD）和离子注入的应用的源试剂蒸气。

公开(公告)号：US20100255198A1

公开(公告)日：2010-10-07

申请号：US12438502

申请日：2007-08-31

申请人： John M. Cleary ,  Jose I. Arno ,  Bryan C. Hendrix ,  Donn Naito ,  Scott Battle ,  John N. Gregg ,  Michael J. Wodjenski ,  Chongying Xu

发明人： John M. Cleary ,  Jose I. Arno ,  Bryan C. Hendrix ,  Donn Naito ,  Scott Battle ,  John N. Gregg ,  Michael J. Wodjenski ,  Chongying Xu

IPC分类号： C23C16/44 ,  C23C16/00

CPC分类号： C23C16/4481 ,  C23C14/48 ,  C23C16/08 ,  C23C16/16 ,  C23C16/18 ,  C23C16/30 ,  C23C16/4402 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45544

摘要： Apparatus and method for volatilizing a source reagent susceptible to particle generation or presence of particles in the corresponding source reagent vapor, in which such particle generation or presence is suppressed by structural or processing features of the vapor generation system. Such apparatus and method are applicable to liquid and solid source reagents, particularly solid source reagents such as metal halides, e.g., hafnium chloride. The source reagent in one specific implementation is constituted by a porous monolithic bulk form of the source reagent material. The apparatus and method of the invention are usefully employed to provide source reagent vapor for applications such as atomic layer deposition (ALD) and ion implantation.

摘要翻译： 挥发易于产生颗粒的源试剂的源试剂的装置和方法，其中通过蒸气发生系统的结构或加工特征抑制了这种颗粒产生或存在的相应源试剂蒸气。 这种装置和方法适用于液体和固体源试剂，特别是固体源试剂如金属卤化物，例如氯化铪。 一种具体实施方案中的源试剂由源试剂材料的多孔整体块形式构成。 本发明的装置和方法有用地用于提供用于例如原子层沉积（ALD）和离子注入的应用的源试剂蒸气。

公开(公告)号：US07972421B2

公开(公告)日：2011-07-05

申请号：US12401325

申请日：2009-03-10

申请人： Dennis Brestovansky ,  Michael J. Wodjenski ,  Jose I. Arno ,  J. Donald Carruthers ,  Phillip A. Moroco ,  Judith A. Moroco, legal representative

发明人： Dennis Brestovansky ,  Michael J. Wodjenski ,  Jose I. Arno ,  J. Donald Carruthers ,  Phillip A. Moroco

IPC分类号： B01D53/04

CPC分类号： B01D53/053 ,  B01D53/0407 ,  B01D2253/102 ,  B01D2253/304 ,  B01D2253/342 ,  B01D2257/40 ,  B01D2257/704 ,  B01D2257/706 ,  B01D2257/93 ,  B01D2258/0216 ,  B01D2259/4525 ,  F17C11/00 ,  F17C13/084 ,  F17C2201/0157 ,  F17C2205/0103 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2205/0391 ,  F17C2270/0518 ,  Y02E60/321 ,  Y10T137/0318

摘要： A fluid storage and dispensing apparatus including a fluid storage and dispensing vessel having a rectangular parallelepiped shape, and an integrated gas cabinet assembly including such fluid storage and dispensing apparatus and/or a point-of-use ventilation gas scrubber in the vented gas cabinet. By the use of physical adsorbent and chemical sorbent media, the gas cabinet can be enhanced in safety of operation, e.g., where the process gas supplied from the gas cabinet is of a toxic or otherwise hazardous character.

摘要翻译： 液体储存和分配设备包括具有长方体形状的流体储存和分配容器，以及在通气气体柜中包括这种流体储存和分配装置和/或使用点的通气气体洗涤器的集成气体柜组件。 通过使用物理吸附剂和化学吸附剂介质，可以提高气柜的操作安全性，例如，从气柜提供的工艺气体具有有毒或其他危险性质。

公开(公告)号：US20090173225A1

公开(公告)日：2009-07-09

申请号：US12401325

申请日：2009-03-10

申请人： Dennis Brestovansky ,  Michael J. Wodjenski ,  Jose I. Arno ,  J. Donald Carruthers ,  Philip A. Moroco ,  Judith A. Moroco

发明人： Dennis Brestovansky ,  Michael J. Wodjenski ,  Jose I. Arno ,  J. Donald Carruthers ,  Philip A. Moroco ,  Judith A. Moroco

IPC分类号： B01D53/02 ,  B01J20/00 ,  B01J20/10 ,  B01J20/22 ,  B01J20/20

CPC分类号： B01D53/053 ,  B01D53/0407 ,  B01D2253/102 ,  B01D2253/304 ,  B01D2253/342 ,  B01D2257/40 ,  B01D2257/704 ,  B01D2257/706 ,  B01D2257/93 ,  B01D2258/0216 ,  B01D2259/4525 ,  F17C11/00 ,  F17C13/084 ,  F17C2201/0157 ,  F17C2205/0103 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2205/0391 ,  F17C2270/0518 ,  Y02E60/321 ,  Y10T137/0318

摘要： A fluid storage and dispensing apparatus including a fluid storage and dispensing vessel having a rectangular parallelepiped shape, and an integrated gas cabinet assembly including such fluid storage and dispensing apparatus and/or a point-of-use ventilation gas scrubber in the vented gas cabinet. By the use of physical adsorbent and chemical sorbent media, the gas cabinet can be enhanced in safety of operation, e.g., where the process gas supplied from the gas cabinet is of a toxic or otherwise hazardous character.

摘要翻译： 液体储存和分配设备包括具有长方体形状的流体储存和分配容器，以及在通气气体柜中包括这种流体储存和分配装置和/或使用点的通气气体洗涤器的集成气体柜组件。 通过使用物理吸附剂和化学吸附剂介质，可以提高气柜的操作安全性，例如，从气柜提供的工艺气体具有有毒或其他危险性质。

公开(公告)号：US07018448B2

公开(公告)日：2006-03-28

申请号：US10694648

申请日：2003-10-28

申请人： Michael J. Wodjenski ,  Jose I. Arno

发明人： Michael J. Wodjenski ,  Jose I. Arno

IPC分类号： B01D53/04

CPC分类号： B01D53/0446 ,  B01D53/0454 ,  B01D2253/104 ,  B01D2253/11 ,  B01D2253/202 ,  B01D2257/706 ,  B01D2257/93 ,  B01D2258/0216 ,  B01D2259/40009 ,  B01D2259/402 ,  B01D2259/4525

摘要： A gas cabinet assembly for dispensing of gas to a process facility such as a semiconductor manufacturing tool. A purge gas dry scrubber is integrated with the gas flow circuitry and a venturi pump in the gas cabinet. Purge gas is flowed through the flow circuitry in the gas cabinet subsequent to on-stream dispensing of process gas through such flow circuitry, and forms a purge effluent including the residual process gas. The purge effluent is flowed through a dry scrubber unit to sorptively remove the process gas species from the purge effluent. The resultant process gas-depleted purge effluent is vented from the gas cabinet, e.g., into the ducting of the house exhaust system of the process facility. Monitoring of the relative depletion of the dry scrubbing medium in the dry scrubber may be carried out with endpoint detection, e.g., using colorimetric change techniques, toxic gas monitor devices, or PLC/CPU arrangements.

摘要翻译： 一种用于将气体分配到诸如半导体制造工具的处理设备的气柜组件。 吹扫气干燥洗涤器与气体流路和气柜中的文丘里泵集成。 在通过这种流动电路的流程分配工艺气体之后，吹扫气体通过气体柜中的流动回路流动，并形成包括剩余工艺气体的净化流出物。 清洗流出物流过干洗单元以从吹扫流出物中吸附去除工艺气体物质。 所得到的工艺废气净化流出物从气柜排出，例如进入处理设备的房屋排气系统的管道。 干洗涤器中干洗涤介质的相对耗尽的监测可以通过终点检测进行，例如使用比色改变技术，有毒气体监测装置或PLC / CPU装置。

公开(公告)号：US08506689B2

公开(公告)日：2013-08-13

申请号：US13168987

申请日：2011-06-26

申请人： Dennis Brestovansky ,  Michael J. Wodjenski ,  Jose I. Arno ,  J. Donald Carruthers ,  Judith A. Moroco

发明人： Dennis Brestovansky ,  Michael J. Wodjenski ,  Jose I. Arno ,  J. Donald Carruthers ,  Phillip A. Moroco

IPC分类号： B01D53/04

CPC分类号： B01D53/053 ,  B01D53/0407 ,  B01D2253/102 ,  B01D2253/304 ,  B01D2253/342 ,  B01D2257/40 ,  B01D2257/704 ,  B01D2257/706 ,  B01D2257/93 ,  B01D2258/0216 ,  B01D2259/4525 ,  F17C11/00 ,  F17C13/084 ,  F17C2201/0157 ,  F17C2205/0103 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2205/0391 ,  F17C2270/0518 ,  Y02E60/321 ,  Y10T137/0318

摘要： A fluid storage and dispensing apparatus including a fluid storage and dispensing vessel having a rectangular parallelepiped shape, and an integrated gas cabinet assembly including such fluid storage and dispensing apparatus and/or a point-of-use ventilation gas scrubber in the vented gas cabinet. By the use of physical adsorbent and chemical sorbent media, the gas cabinet can be enhanced in safety of operation, e.g., where the process gas supplied from the gas cabinet is of a toxic or otherwise hazardous character.

公开(公告)号：US20110277846A1

公开(公告)日：2011-11-17

申请号：US13168987

申请日：2011-06-26

申请人： Dennis Brestovansky ,  Michael J. Wodjenski ,  Jose I. Arno ,  J. Donald Carruthers ,  Philip A. Moroco ,  Judith A. Moroco

发明人： Dennis Brestovansky ,  Michael J. Wodjenski ,  Jose I. Arno ,  J. Donald Carruthers ,  Philip A. Moroco ,  Judith A. Moroco

IPC分类号： F15D1/00 ,  B67D7/06

CPC分类号： B01D53/053 ,  B01D53/0407 ,  B01D2253/102 ,  B01D2253/304 ,  B01D2253/342 ,  B01D2257/40 ,  B01D2257/704 ,  B01D2257/706 ,  B01D2257/93 ,  B01D2258/0216 ,  B01D2259/4525 ,  F17C11/00 ,  F17C13/084 ,  F17C2201/0157 ,  F17C2205/0103 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2205/0391 ,  F17C2270/0518 ,  Y02E60/321 ,  Y10T137/0318

摘要： A fluid storage and dispensing apparatus including a fluid storage and dispensing vessel having a rectangular parallelepiped shape, and an integrated gas cabinet assembly including such fluid storage and dispensing apparatus and/or a point-of-use ventilation gas scrubber in the vented gas cabinet. By the use of physical adsorbent and chemical sorbent media, the gas cabinet can be enhanced in safety of operation, e.g., where the process gas supplied from the gas cabinet is of a toxic or otherwise hazardous character.

摘要翻译： 液体储存和分配设备包括具有长方体形状的流体储存和分配容器，以及在通气气体柜中包括这种流体储存和分配装置和/或使用点的通气气体洗涤器的集成气体柜组件。 通过使用物理吸附剂和化学吸附剂介质，可以提高气柜的操作安全性，例如，从气柜提供的工艺气体具有有毒或其他危险性质。

公开(公告)号：US06991671B2

公开(公告)日：2006-01-31

申请号：US10314777

申请日：2002-12-09

申请人： Dennis Brestovansky ,  Michael J. Wodjenski ,  Jose I. Arno ,  J. Donald Carruthers

发明人： Dennis Brestovansky ,  Michael J. Wodjenski ,  Jose I. Arno ,  J. Donald Carruthers

IPC分类号： B01D53/04 ,  B01D53/14

CPC分类号： B01D53/053 ,  B01D53/0407 ,  B01D2253/102 ,  B01D2253/304 ,  B01D2253/342 ,  B01D2257/40 ,  B01D2257/704 ,  B01D2257/706 ,  B01D2257/93 ,  B01D2258/0216 ,  B01D2259/4525 ,  F17C11/00 ,  F17C13/084 ,  F17C2201/0157 ,  F17C2205/0103 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2205/0391 ,  F17C2270/0518 ,  Y02E60/321 ,  Y10T137/0318

摘要： A fluid storage and dispensing apparatus including a fluid storage and dispensing vessel having a rectangular parallelepiped shape, and an integrated gas cabinet assembly including such fluid storage and dispensing apparatus and/or a point-of-use ventilation gas scrubber in the vented gas cabinet. By the use of physical adsorbent and chemical sorbent media, the gas cabinet can be enhanced in safety of operation, e.g., where the process gas supplied from the gas cabinet is of a toxic or otherwise hazardous character.

公开(公告)号：US20130125999A1

公开(公告)日：2013-05-23

申请号：US13704612

申请日：2011-06-18

申请人： Joseph D. Sweeney ,  Anthony M. Avila ,  Michael J. Wodjenski ,  Joseph R. Despres ,  Thomas H. Baum

发明人： Joseph D. Sweeney ,  Anthony M. Avila ,  Michael J. Wodjenski ,  Joseph R. Despres ,  Thomas H. Baum

IPC分类号： F17D3/00

CPC分类号： F17D3/01 ,  F17D3/00 ,  G05D7/0635 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/30466 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67253 ,  Y10T137/0324 ,  Y10T137/86389

摘要： Apparatus and method for determining endpoint of a fluid supply vessel in which fluid flow is controlled through a flow passage disposed in an interior volume of the fluid supply vessel with a static flow restricting device and a selectively actuatable valve element upon establishing fluid flow. The endpoint determination can be employed to terminate fluid supply from the fluid supply vessel and/or to switch from a fluid-depleted supply vessel to a fresh vessel for continuity or renewal of fluid supply operation. The apparatus and method are suitable for use with fluidutilizing apparatus such as ion implanters.

摘要翻译： 用于确定流体供应容器的端点的装置和方法，其中通过设置在流体供应容器的内部容积中的流动通道具有静态流动限制装置和在建立流体流动时可选择性致动的阀元件来控制流体流动。 端点确定可以用于终止从流体供应容器供应的流体和/或从流体耗尽的供应容器切换到新鲜的容器，以便连续或更新流体供应操作。 该设备和方法适用于离子注入机等流体化处理装置。

公开(公告)号：US20110252883A1

公开(公告)日：2011-10-20

申请号：US13171434

申请日：2011-06-28

申请人： James Dietz ,  Steven E. Bishop ,  James V. McManus ,  Steven M. Lurcott ,  Michael J. Wodjenski ,  Robert Kaim ,  Frank Dimeo, JR.

发明人： James Dietz ,  Steven E. Bishop ,  James V. McManus ,  Steven M. Lurcott ,  Michael J. Wodjenski ,  Robert Kaim ,  Frank Dimeo, JR.

IPC分类号： G01F23/30

CPC分类号： G01N33/00 ,  F17C11/00 ,  G01F15/063 ,  G01F22/02 ,  G01F23/0076 ,  G01M3/32 ,  G01M3/3236 ,  G06Q10/087 ,  G06Q30/04 ,  G06Q50/04 ,  H01L21/561 ,  H01L21/568 ,  H01L21/6835 ,  H01L22/10 ,  H01L23/5389 ,  H01L24/24 ,  H01L24/48 ,  H01L24/82 ,  H01L25/03 ,  H01L25/0652 ,  H01L25/16 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/16227 ,  H01L2224/24011 ,  H01L2224/2518 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01058 ,  H01L2924/01076 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/19042 ,  H05K1/185 ,  H05K3/4602 ,  H05K2203/0165 ,  H05K2203/085 ,  H05K2203/1469 ,  Y02P90/30 ,  Y10T29/4913 ,  Y10T29/49133 ,  Y10T29/49165 ,  Y10T29/53183 ,  H01L2224/45099

摘要： A monitoring system for monitoring fluid in a fluid supply vessel during operation including dispensing of fluid from the fluid supply vessel. The monitoring system includes (i) one or more sensors for monitoring a characteristic of the fluid supply vessel or the fluid dispensed therefrom, (ii) a data acquisition module operatively coupled to the one or more sensors to receive monitoring data therefrom and responsively generate an output correlative to the characteristic monitored by the one or more sensors, and (iii) a processor and display operatively coupled with the data acquisition module and arranged to process the output from the data acquisition module and responsively output a graphical representation of fluid in the fluid supply vessel, billing documents, usage reports, and/or resupply requests.

摘要翻译： 一种用于在操作期间监测流体供应容器中的流体的监测系统，包括从流体供应容器分配流体。 监测系统包括（i）用于监测流体供应容器或从其分配的流体的特性的一个或多个传感器，（ii）可操作地耦合到所述一个或多个传感器以从其接收监测数据的数据采集模块，并且响应地生成 输出与由一个或多个传感器监测的特性相关联，以及（iii）处理器和显示器，其与数据采集模块可操作地耦合并被布置成处理来自数据采集模块的输出并且响应地输出流体在流体中的图形表示 供应船，记帐单，使用报告和/或补货请求。