公开(公告)号：US07101654B2

公开(公告)日：2006-09-05

申请号：US10757119

申请日：2004-01-14

申请人： Xiaoming Wu ,  Larry F. Rhodes ,  Lawrence Seger

发明人： Xiaoming Wu ,  Larry F. Rhodes ,  Lawrence Seger

IPC分类号： G03F7/039 ,  G03F7/075 ,  G03F7/30 ,  C08F28/06 ,  C08G77/00

CPC分类号： G03F7/0395 ,  C08G61/06 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111

摘要： The disclosed invention relates to novel norbornene-type monomers containing pendent lactone or sultone groups. The invention also relates to norbornene-type polymers and copolymers comprising one or more repeating units represented by the formula: and containing pendent lactone or sultone groups. These polymers and copolymers are useful in making photoimagable materials. The photoimagable materials are particularly suitable for use in photoresist compositions useful in 193 and 157 nm photolithography.

摘要翻译： 所公开的发明涉及含有侧链内酯或磺内酯基团的新型降冰片烯型单体。 本发明还涉及降冰片烯型聚合物和共聚物，其包含一个或多个由下式表示的重复单元：并含有侧链内酯或磺内酯基。 这些聚合物和共聚物可用于制备可光成像材料。 光可塑材料特别适合用于193和157nm光刻中的光致抗蚀剂组合物。

公开(公告)号：US06936672B2

公开(公告)日：2005-08-30

申请号：US09921051

申请日：2001-08-02

申请人： Andrew Bell ,  Larry F. Rhodes ,  Brian L. Goodall ,  John C. Fondran ,  Lester H. Mclntosh, III ,  Dennis A. Barnes

发明人： Andrew Bell ,  Larry F. Rhodes ,  Brian L. Goodall ,  John C. Fondran ,  Lester H. Mclntosh, III ,  Dennis A. Barnes

IPC分类号： B29C45/00 ,  B29K45/00 ,  C08F4/70 ,  C08F4/80 ,  C08F32/00 ,  C08F232/00 ,  C08F232/08 ,  C08F4/44 ,  C08F132/08

CPC分类号： C08F232/08 ,  C08F32/00 ,  C08F232/00

摘要： A catalyst system and a process for the bulk addition polymerization or of polycyclic olefins, such as norbornene, methylnorbornene, ethylnorbornene, butylnorbornene or hexylnorbornene, 1,2,3,4,4a,5,8,8a-octahydro-1,4:5,8-dimethanonapthalene, 5,5′-(1,2-ethanediyl)bisbicyclo[2.2.1]hept-2-ene, and 1,4,4a,4b,5,8,8a,8b-octahydro-1,4:5,8-dimethanobiphenylene are disclosed. The catalyst includes an organonickel or organopalladium transition metal procatalyst and an activator compound. Polymerization can be carried out in a reaction injection molding process to yield thermoplastic and thermoset molded polymeric articles possessing high glass transition temperatures.

摘要翻译： 催化剂体系和本体加成聚合方法或降冰片烯，甲基降冰片烯，乙基降冰片烯，丁基降冰片烯或己基降冰片烯等多环烯烃，1,2,3,4,4a，5,8,8a-八氢-1,4： 5,8-二甲基萘，5,5' - （1,2-乙二基）双双环[2.2.1]庚-2-烯和1,4,4a，4b，5,8,8a，8b-八氢-1 ，4：5,8-二甲基亚二苯基。 催化剂包括有机金属或有机钯过渡金属前催化剂和活化剂化合物。 可以在反应注射成型工艺中进行聚合以产生具有高玻璃化转变温度的热塑性和热固性模塑聚合物制品。

公开(公告)号：US06649707B1

公开(公告)日：2003-11-18

申请号：US09679001

申请日：2000-10-04

申请人： Larry F. Rhodes ,  Brian L. Goodall ,  Rolf Mülhaupt ,  Robert A. Shick ,  George M. Benedikt ,  Sai Kumar Jayaraman ,  Lynn M. Soby ,  Lester H. McIntosh, III

发明人： Larry F. Rhodes ,  Brian L. Goodall ,  Rolf Mülhaupt ,  Robert A. Shick ,  George M. Benedikt ,  Sai Kumar Jayaraman ,  Lynn M. Soby ,  Lester H. McIntosh, III

IPC分类号： C08G7704

CPC分类号： C08G77/442 ,  C08F232/08 ,  C08F277/00 ,  C08L53/025 ,  C08L2666/04

摘要： Polycyclic addition polymers derived from norbornene-type monomers are mixed with a variety of other polymers to generate families of new blends, alloys, and block copolymers.

摘要翻译： 衍生自降冰片烯型单体的多环加成聚合物与各种其它聚合物混合以产生新的共混物，合金和嵌段共聚物的族。

公开(公告)号：US06455650B1

公开(公告)日：2002-09-24

申请号：US09412935

申请日：1999-10-05

申请人： John-Henry Lipian ,  Larry F. Rhodes ,  Brian L. Goodall ,  Andrew Bell ,  Richard A. Mimna ,  John C. Fondran ,  Saikumar Jayaraman ,  April D. Hennis ,  Christine N. Elia ,  Jennifer D. Polley ,  Ayusman Sen

发明人： John-Henry Lipian ,  Larry F. Rhodes ,  Brian L. Goodall ,  Andrew Bell ,  Richard A. Mimna ,  John C. Fondran ,  Saikumar Jayaraman ,  April D. Hennis ,  Christine N. Elia ,  Jennifer D. Polley ,  Ayusman Sen

IPC分类号： C08F480

CPC分类号： C08F32/08 ,  C08F32/00 ,  Y02P20/582

摘要： Methods for the addition polymerization of cycloolefins using a cationic Group 10 metal complex and a weakly coordinating anion of the formula: [(R′)zM(L′)x(L″)y]b[WCA]d wherein [(R′)zM(L′)x(L″)y] is a cation complex where M represents a Group 10 transition metal; R′ represents an anionic hydrocarbyl containing ligand; L′ represents a Group 15 neutral electron donor ligand; L″ represents a labile neutral electron donor ligand; x is 1 or 2; and y is 0, 1, 2, or 3; and z is 0 or 1, wherein the sum of x, y, and z is 4; and [WCA] represents a weakly coordinating counteranion complex; and b and d are numbers representing the number of times the cation complex and weakly coordinating counteranion complex are taken to balance the electronic charge on the overall catalyst complex.

摘要翻译： 使用阳离子10族金属络合物和下式的弱配位阴离子进行环烯加成聚合的方法：其中[（R'）z M（L'）x（L“）y]是阳离子络合物，其中M表示 第10组过渡金属; R'表示含阴离子烃基的配体; L'表示15族中性电子给体配体; L“表示不稳定的中性电子给体配体; x为1或2; y为0,1,2或3; 且z为0或1，其中x，y和z之和为4; 和[WCA]代表弱协调的对抗综合体; b和d是表示阳离子络合物和弱配位抗衡阴离子络合物在总体催化剂络合物上平衡电荷的次数的数字。

公开(公告)号：US06420503B1

公开(公告)日：2002-07-16

申请号：US09497846

申请日：2000-02-03

申请人： Saikumar Jayaraman ,  Richard Vicari ,  Larry F. Rhodes ,  Pushkara Rao Varanasi ,  Thomas I. Wallow ,  Ratnam Sooriyakumaran ,  Robert D. Allen ,  Richard A. DiPietro ,  Hiroshi Ito ,  Juliann Opitz

发明人： Saikumar Jayaraman ,  Richard Vicari ,  Larry F. Rhodes ,  Pushkara Rao Varanasi ,  Thomas I. Wallow ,  Ratnam Sooriyakumaran ,  Robert D. Allen ,  Richard A. DiPietro ,  Hiroshi Ito ,  Juliann Opitz

IPC分类号： C08F2806

CPC分类号： C08F32/08 ,  C08G61/08

摘要： The invention is directed to polymers containing a repeating unit derived from a norbornene sulfonamide. These may be addition polymers which include copolymers with one or more comonomers such as norbornene, ethylene, an acrylate or sulfur dioxide or carbon monoxide. Said monomers may be polymerized using single or multicomponent Group VIII catalysts. The norbornene sulfonamides can also form ROMP polymers using known metathesis catalysts. Preferably the ROMP polymers may be hydrogenated to give more stable polymers.

摘要翻译： 本发明涉及含有衍生自降冰片烯磺酰胺的重复单元的聚合物。 这些可以是加成聚合物，其包括与一种或多种共聚单体如降冰片烯，乙烯，丙烯酸酯或二氧化硫或一氧化碳的共聚物。 所述单体可以使用单组分或多组分VIII族催化剂进行聚合。 降冰片烯磺酰胺也可以使用已知的复分解催化剂形成ROMP聚合物。 优选地，ROMP聚合物可以被氢化以得到更稳定的聚合物。

公开(公告)号：US09583713B2

公开(公告)日：2017-02-28

申请号：US13223784

申请日：2011-09-01

申请人： David Christoph Mueller ,  Pawel Miskiewicz ,  Toby Cull ,  Piotr Wierzchowiec ,  Andrew Bell ,  Edmund Elce ,  Larry F. Rhodes ,  Kazuyoshi Fujita ,  Hendra Ng ,  Pramod Kandanarachchi ,  Steven Smith

发明人： David Christoph Mueller ,  Pawel Miskiewicz ,  Toby Cull ,  Piotr Wierzchowiec ,  Andrew Bell ,  Edmund Elce ,  Larry F. Rhodes ,  Kazuyoshi Fujita ,  Hendra Ng ,  Pramod Kandanarachchi ,  Steven Smith

IPC分类号： B32B27/32 ,  C08F132/08 ,  H01L51/00 ,  C08L65/00 ,  C08F232/00 ,  H01L51/05

CPC分类号： H01L51/0043 ,  C08F232/00 ,  C08L65/00 ,  C08L2203/20 ,  H01L51/0035 ,  H01L51/0529 ,  H01L51/0541 ,  H01L51/0545 ,  Y10T428/31938

摘要： Embodiments in accordance with the present invention provide for the use of polycycloolefins in electronic devices and more specifically to the use of such polycycloolefins as interlayers applied to fluoropolymer layers used in the fabrication of electronic devices, the electronic devices that encompass such polycycloolefin interlayers and processes for preparing such polycycloolefin interlayers and electronic devices.

摘要翻译： 根据本发明的实施方案提供了聚环烯烃在电子器件中的用途，更具体地说，涉及使用这种聚环烯烃作为中间层，其用于制备电子器件的氟聚合物层，包含这种聚环烯夹层的电子器件和 制备这种聚环烯夹层和电子器件。

公开(公告)号：US08609574B2

公开(公告)日：2013-12-17

申请号：US12428936

申请日：2009-04-23

申请人： Larry F. Rhodes ,  Luis Francisco Martin ,  Andrew Bell

发明人： Larry F. Rhodes ,  Luis Francisco Martin ,  Andrew Bell

IPC分类号： C08F4/80

CPC分类号： C08F4/70 ,  C08F4/7037 ,  C08F232/08 ,  C08F2410/03

摘要： Embodiments in accordance with the present invention encompass methods of forming in situ olefin polymerization catalyst systems, catalysts encompassed by such systems and polymers made using such systems. For such in situ olefin polymerization catalyst systems, a hydrocarbyl magnesium halide is generally contacted with a halohydrocarbyl compound to form a halohydrocarbyl Grignard and such Grignard is generally contacted with a Group 10 metal compound to form an olefin polymerization catalyst which is contacted with one or more olefin monomers to form a polymer therefrom.

摘要翻译： 根据本发明的实施方案包括形成原位烯烃聚合催化剂体系，由这种体系包含的催化剂和使用这种体系制备的聚合物的方法。 对于这样的原位烯烃聚合催化剂体系，烃基卤化镁通常与卤代烃基化合物接触以形成卤代烃基格氏，并且这种格利雅特通常与第10族金属化合物接触以形成烯烃聚合催化剂，其与一种或多种 烯烃单体从其形成聚合物。

公开(公告)号：US08541523B2

公开(公告)日：2013-09-24

申请号：US13079240

申请日：2011-04-04

申请人： Pramod Kandanarachchi ,  Kazuyoshi Fujita ,  Steven Smith ,  Larry F. Rhodes

发明人： Pramod Kandanarachchi ,  Kazuyoshi Fujita ,  Steven Smith ,  Larry F. Rhodes

IPC分类号： C08F4/46 ,  C08K5/06

CPC分类号： G03F7/11 ,  C08F232/08 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/2041

摘要： Embodiments in accordance with the present invention provide for non-self imageable norbornene-type polymers useful for immersion lithographic processes, methods of making such polymers, compositions employing such polymers and immersion lithographic processes that make use of such compositions. More specifically the embodiments of the present invention are related to norbornene-type polymers useful for forming top-coat layers for overlying photoresist layers in immersion lithographic process and the process thereof.

摘要翻译： 根据本发明的实施方案提供了可用于浸渍式光刻工艺的非自成像降冰片烯型聚合物，制备这种聚合物的方法，使用这种聚合物的组合物和使用这种组合物的浸渍光刻工艺。 更具体地说，本发明的实施方案涉及可用于在浸没式光刻工艺中形成覆盖光致抗蚀剂层的顶涂层的降冰片烯型聚合物及其工艺。

公开(公告)号：US20120129101A1

公开(公告)日：2012-05-24

申请号：US13303423

申请日：2011-11-23

申请人： Osamu Onishi ,  Haruo Ikeda ,  Larry F. Rhodes ,  Pramod Kandanarachchi

发明人： Osamu Onishi ,  Haruo Ikeda ,  Larry F. Rhodes ,  Pramod Kandanarachchi

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03F7/075 ,  G03F7/027 ,  G03F7/004

CPC分类号： G03F7/0382 ,  C08F222/06 ,  C08F232/08 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0395

摘要： Polymers and compositions for forming self-imageable films encompassing such polymers that encompass norbornene-type repeating unit having at least one phenolic functionality and maleic anhydride-type repeating unit, which can be formulated to be either positive tone imaging or negative tone imaging. The films formed thereby are useful as self-imageable layers in the manufacture of microelectronic, such as semiconductor, and optoelectronic devices.

摘要翻译： 用于形成包含包含具有至少一个酚官能度的降冰片烯型重复单元和马来酸酐型重复单元的聚合物的聚合物和组合物，其可被配制为正色调成像或负色调成像。 由此形成的膜可用作微电子制造中的自可成像层，例如半导体和光电器件。

公开(公告)号：US20120056183A1

公开(公告)日：2012-03-08

申请号：US13223884

申请日：2011-09-01

申请人： David Christoph Mueller ,  Toby Cull ,  Pawel Miskiewicz ,  Miguel Carrasco-Orozco ,  Andrew Bell ,  Edmund Elce ,  Larry F. Rhodes ,  Kazuyoshi Fujita ,  Hendra Ng ,  Pramod Kandanarachchi ,  Steven Smith

发明人： David Christoph Mueller ,  Toby Cull ,  Pawel Miskiewicz ,  Miguel Carrasco-Orozco ,  Andrew Bell ,  Edmund Elce ,  Larry F. Rhodes ,  Kazuyoshi Fujita ,  Hendra Ng ,  Pramod Kandanarachchi ,  Steven Smith

IPC分类号： H01L29/786 ,  H01L21/336 ,  H01L29/04

CPC分类号： H01L51/052 ,  C08F32/04 ,  C08F232/00 ,  C08L45/00 ,  H01L51/0035 ,  H01L51/004 ,  H01L51/0043 ,  H01L51/0537 ,  H01L51/0541 ,  H01L51/0545 ,  H01L51/107

摘要： Embodiments in accordance with the present invention provide for the use of polycycloolefins in electronic devices and more specifically to the use of such polycycloolefins as gate insulator layers used in the fabrication of electronic devices, the electronic devices that encompass such polycycloolefin gate insulator and processes for preparing such polycycloolefin gate insulator layers and electronic devices encompassing such layers.

摘要翻译： 根据本发明的实施方案提供了聚环烯烃在电子器件中的用途，更具体地说，涉及使用这种聚环烯烃作为用于制造电子器件的栅极绝缘体层，包括这种聚环烯烃栅极绝缘体的电子器件以及用于制备 这种多环烯烃栅极绝缘体层和包含这些层的电子器件。