公开(公告)号：US5672322A

公开(公告)日：1997-09-30

申请号：US256604

申请日：1995-02-23

申请人： Jan Visser

发明人： Jan Visser

IPC分类号： B01D53/34 ,  B01D53/32 ,  B01J19/08 ,  B01D50/00

CPC分类号： B01D53/32

摘要： Method for converting reactive gases which are sucked in at a low inlet pressure and are expelled at a higher outlet pressure by a dry multi-stage pump, in which method the reactive gases are physically and/or chemically converted into nonreactive components at a pressure situated between the inlet and outlet pressure, the conversion taking place, according to the invention, by means of gas discharge. The invention also relates to a dry multi-stage vacuum pump (3) and a plasma scrubber (4) which are particularly suitable for use in the method according to the invention.

摘要翻译： PCT No.PCT / NL93 / 00017 Sec。 371日期1995年2月23日 102（e）日期1995年2月23日PCT 1993年1月18日PCT PCT。 公开号WO93 / 13851 日期1993年7月22日用于转化在低入口压力下被吸入并在较高出口压力下通过干式多级泵排出的反应气体的方法，其中反应气体物理和/或化学转化为非反应性 位于入口压力和出口压力之间的压力的组分，根据本发明，通过气体排放发生转化。 本发明还涉及特别适用于根据本发明的方法的干式多级真空泵（3）和等离子体洗涤器（4）。

公开(公告)号：US5348313A

公开(公告)日：1994-09-20

申请号：US20851

申请日：1993-02-19

申请人： Anton Pawlakowitsch

发明人： Anton Pawlakowitsch

IPC分类号： F16J15/324 ,  F16J15/40

CPC分类号： F16J15/324 ,  F16J15/40 ,  Y10S277/904 ,  Y10S277/913

摘要： The invention relates to a shaft seal for sealing a shaft pass-through (3) of vacuum apparatus, which accommodates a shaft (2), having at least one annular seal (4) which is disposed in a housing part and with which a barrier liquid (5) is associated, while the sealing part (6) of the annular seal facing the shaft (2) forms with the shaft an annular chamber (8) in which the barrier liquid (5) is provided, in order in this manner to bind particles formed by attrition.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于密封真空装置的轴穿通（3）的轴密封件，其容纳轴（2），所述轴（2）具有设置在壳体部分中的至少一个环形密封件（4） 液体（5）相关联，而面向轴（2）的环形密封件的密封部分（6）与轴形成环形室（8），其中设置有阻挡液体（5），以此方式 以结合由磨损形成的颗粒。

公开(公告)号：US5330853A

公开(公告)日：1994-07-19

申请号：US747287

申请日：1991-08-19

申请人： Dieter Hofmann ,  Bernd Hensel

发明人： Dieter Hofmann ,  Bernd Hensel

IPC分类号： C23C14/00 ,  C23C14/06 ,  B23B51/00

CPC分类号： C23C14/0641 ,  C23C14/0084 ,  C23C14/0647 ,  Y10T407/25 ,  Y10T428/12576 ,  Y10T428/24942 ,  Y10T428/265

摘要： Surface coating includes alternating first and second ternary layers, wherein the first layer TiAlN.sub.x has a higher nitrogen content and is considerably thinner than the second layer TiAlNy. The first layer is preferably applied by decreasing the nitrogen content of a reactive atmosphere from a maximum to a minimum during sputtering of a TiAl target. The second layer is then applied by sputtering the TiAl target over a longer period of time while the nitrogen content is maintained constant at the minimum. When a further first layer is applied, the nitrogen is again increased to the maximum.

摘要翻译： 表面涂层包括交替的第一和第二三元层，其中第一层TiAlN x具有较高的氮含量并且比第二层TiAlNy薄得多。 优选通过在TiAl靶的溅射期间将反应性气氛的氮含量从最大值降至最低来应用第一层。 然后通过在较长时间内溅射TiAl靶来施加第二层，同时氮含量保持恒定在最小值。 当施加另外的第一层时，氮再次增加到最大。

公开(公告)号：US5145335A

公开(公告)日：1992-09-08

申请号：US704524

申请日：1991-05-24

申请人： Thomas Abelen ,  Hans-Peter Berges ,  Gustav Boley ,  Winfried Kaiser

发明人： Thomas Abelen ,  Hans-Peter Berges ,  Gustav Boley ,  Winfried Kaiser

IPC分类号： F04C18/344 ,  F04B39/06 ,  F04C23/00 ,  F04C25/02 ,  F04C29/06

CPC分类号： F04C29/066 ,  F04B39/066 ,  F04C23/008

摘要： A vacuum pump includes a first pump housing defining a pumping chamber; a pump rotor received in the pumping chamber; a drive motor operatively connected to the pump rotor; an oil casing receiving the first pump housing; and a second pump housing surrounding the first pump housing and the drive motor.

摘要翻译： 真空泵包括限定泵送室的第一泵壳体; 泵送转子容纳在泵送室中; 可操作地连接到所述泵转子的驱动马达; 接收第一泵壳体的油壳; 以及围绕所述第一泵壳体和所述驱动马达的第二泵壳体。

公开(公告)号：US4849675A

公开(公告)日：1989-07-18

申请号：US79649

申请日：1987-07-30

申请人： Jurgen Muller

发明人： Jurgen Muller

IPC分类号： H01J27/16

CPC分类号： H01J27/16

摘要： The invention relates to an inductively excited ion source with a vessel (1) around which a coil (2) is wound. The vessel (1) consists of a chemically inert material and is used to receive the substance to be ionized. A high-frequency generator (12) is connected by one of its terminals to the coil (2) both ends of which are grounded, while the other terminal (22) is also grounded. The length of the coil (2) which is to be regarded as an electrically long conductor, is .lambda./2, .lambda. being the wavelength of the voltage of the high-frequency generator (12) (FIG. 3).

摘要翻译： 本发明涉及一种具有容器（1）的感应激发离子源，线圈（2）围绕其缠绕。 容器（1）由化学惰性材料组成，用于接收待离子化的物质。 高频发生器（12）通过其一个端子连接到两端接地的线圈（2），而另一个端子（22）也接地。 被认为是电长导体的线圈（2）的长度是λ/ 2，λ是高频发生器（12）的电压波长（图3）。

公开(公告)号：US4838912A

公开(公告)日：1989-06-13

申请号：US226528

申请日：1988-07-28

申请人： Heinrich Amlinger

发明人： Heinrich Amlinger

IPC分类号： F25J1/00 ,  B01D46/00 ,  B01D53/00 ,  B01D53/32 ,  B01D53/60 ,  B01D53/74 ,  B22F3/04 ,  B22F9/08 ,  B30B11/00 ,  F17C9/02 ,  F25J1/02 ,  F25J3/08

CPC分类号： B01D46/00 ,  B01D53/007 ,  B01D53/60 ,  B22F3/04 ,  B22F9/082 ,  F17C9/02 ,  B01D2259/812

摘要： The invention relates to a method and apparatus for the purification and recirculation of gases which are fed to a plant for the production of metal powder or for compacting metal powder at elevated pressures. The operating gas exits the plant at a lower pressure and is conveyed in a closed loop, in which filters are provided for the mechanical and/or chemical purification of the gases as well as means for increasing the pressure of the purified gas. The repressurization of the operating gas is carried out economically by liquefying the operating gas leaving the plant after purification by the application of liquid nitrogen, then feeding the liquefied gas to an evaporator via a high-pressure pump, and finally returning the operating gas to the plant in a pressurized gaseous phase.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于净化和再循环气体的方法和装置，该方法和装置被供给到用于生产金属粉末或用于在升高的压力下压实金属粉末的设备。 操作气体在较低的压力下离开设备并在闭环中输送，其中提供用于气体的机械和/或化学净化的过滤器以及用于增加净化气体的压力的装置。 工作气体的再加压通过液化在通过施加液氮的净化后离开设备的工作气体经由高压泵将液化气体送入蒸发器而经济地进行，最后将工作气体返回到 植物处于加压气相中。

公开(公告)号：US2649553A

公开(公告)日：1953-08-18

申请号：US18300550

申请日：1950-09-02

申请人： BELL TELEPHONE LABOR INC

发明人： CISNE LUTHER E

IPC分类号： H01J1/18 ,  H05B33/20

CPC分类号： H05B33/20 ,  H01J1/18

公开(公告)号：US5690745A

公开(公告)日：1997-11-25

申请号：US544158

申请日：1995-10-17

申请人： Heinrich Grunwald ,  Hermann Kloberdanz ,  Roland Lacher ,  Siang-Hong Boll

发明人： Heinrich Grunwald ,  Hermann Kloberdanz ,  Roland Lacher ,  Siang-Hong Boll

IPC分类号： B05D3/04 ,  B05D7/02 ,  B05D7/22 ,  B05D7/24 ,  B29C59/14 ,  B60K15/03 ,  C08F2/52 ,  C08J7/00 ,  H05H1/46 ,  C23C16/00

CPC分类号： B05D1/62 ,  B05D7/227 ,  B29C59/142 ,  B60K15/03177 ,  H05H1/46

摘要： A treatment chamber (1) evacuable by vacuum pumps (13,13') has a mounting (26,26', . . .) bearing the hollow body (4) in the treatment chamber (1), and a line (9,9') for the admission of a process gas into the treatment chamber (1). A microwave conductor (20,20' . . .) is connected with a generator (19,19' . . .) for igniting a plasma in the area of channels formed by a sheet-metal shroud (2,2') matching the configuration of the hollow body (4). A closure (7,7') is provided through which the filler opening (6, 6') of the hollow body (4) can be closed pressure-tight, and a line (9,9') for the process gas passes through the closure.

摘要翻译： 由真空泵（13,13'）排空的处理室（1）具有在处理室（1）中承载空心体（4）的安装件（26,26'）， 9'），用于将处理气体进入处理室（1）。 微波导体（20,20'）与发生器（19,19'）连接，用于点燃由与金属外壳（2,2'）相匹配的金属板（2,2'）形成的通道区域中的等离子体 中空体（4）的构造。 提供一个封闭件（7,7'），中空体（4）的填料开口（6,6'）通过该封闭件可以被压缩密封，并且用于工艺气体的管线（9,9'）通过 关闭。

公开(公告)号：US5662784A

公开(公告)日：1997-09-02

申请号：US622443

申请日：1996-03-25

申请人： Manfred Schuhmacher ,  Erwin Winter ,  Andreas Sauer ,  Dietmar Marquardt

发明人： Manfred Schuhmacher ,  Erwin Winter ,  Andreas Sauer ,  Dietmar Marquardt

IPC分类号： C23C14/34 ,  C23C14/56 ,  H01J37/32 ,  H01J37/34

CPC分类号： H01J37/3244 ,  H01J37/34 ,  H01J37/3438

摘要： Hollow members having conduits for process gas and coolant are mounted in parallel on sidewall of a vacuum chamber with a sputtering cathode therebetween. Anode members having an L-shaped cross section are mounted over the hollow members and held in place by thumb screws in threaded bores of strips fixed to the chamber walls above the hollow members. Mask members having a Z-shaped cross section are mounted over the anodes and are also held in place by the thumb screws.

摘要翻译： 具有工艺气体和冷却剂导管的空心构件平行地安装在真空室的侧壁上，其间具有溅射阴极。 具有L形横截面的阳极部件安装在中空部件上，并通过翼形螺钉固定在固定到中空部件上方的室壁的螺纹孔中的适当位置。 具有Z形横截面的掩模构件安装在阳极上，并且还通过翼形螺钉保持就位。

公开(公告)号：US5537857A

公开(公告)日：1996-07-23

申请号：US244522

申请日：1994-06-01

申请人： Werner Grosse Bley

发明人： Werner Grosse Bley

IPC分类号： G01M3/20 ,  B01D57/00

CPC分类号： G01M3/202

摘要： A leak indicator for detecting leaks in a vacuum system including a chamber and a system vacuum pump. The indicator is provided with a mass spectrometer for identifying the presence of a test gas in the system chamber and a high vacuum pump for producing the pressure required for operation of the mass spectrometer during a system leak test. A sealed conduit network is provided to connect the system chamber to the inlet of the mass spectrometer, and to the inlet side and exhaust side of the high vacuum pump. A first switching valve is provided within the sealed conduit in series between the system chamber and the inlets of the mass spectrometer and the high vacuum pump. Lastly, a constriction member is connected within the network conduit in series between the system chamber and the first switching valve to selectively provide a direct connection between the system chamber and the inlet side of the high vacuum pump, or between the system chamber and the exhaust side of the high vacuum pump.

摘要翻译： PCT No.PCT / EP92 / 02364 Sec。 371日期1994年6月1日 102（e）日期1994年6月1日PCT提交1992年10月14日PCT公布。 公开号WO93 / 12411 日期1993年6月24日用于检测包括腔室和系统真空泵的真空系统中的泄漏的泄漏指示器。 该指示器设置有用于识别系统室中的测试气体的存在的质谱仪和用于在系统泄漏测试期间产生操作质谱仪所需的压力的高真空泵。 提供密封的管道网络以将系统室连接到质谱仪的入口以及高真空泵的入口侧和排气侧。 第一切换阀设置在系统室与质谱仪和高真空泵的入口之间的密封导管内。 最后，收缩构件连接在系统室和第一切换阀之间的网络管道内，以选择性地提供系统室与高真空泵的入口侧之间或系统室与排气口之间的直接连接 一侧的高真空泵。