公开(公告)号：US06221267B1

公开(公告)日：2001-04-24

申请号：US09149069

申请日：1998-09-08

申请人： Tsutomu Ikeda ,  Takayuki Yagi ,  Etsuro Kishi

发明人： Tsutomu Ikeda ,  Takayuki Yagi ,  Etsuro Kishi

IPC分类号： G09F937

CPC分类号： G02B26/02 ,  G09F9/372

摘要： Spinnable balls each having two surfaces with different optical characteristics can be produced by forming a plurality of balls with the same specific gravity on a thermoplastic film, and softening the thermoplastic film by controlling a heating temperature thereof based on the specific gravity of the balls so that the hemispheres of the balls are embedded into the thermoplastic film by their own weight. A layer having different optical characteristics from those of the balls is then formed on the exposed surface of each ball. Finally, the balls provided with the layers are detached from the thermoplastic film.

摘要翻译： 可以通过在热塑性膜上形成具有相同比重的多个球来制造具有不同光学特性的两个表面的可旋转球，并且通过基于球的比重控制其加热温度来软化热塑性膜，使得 球的半球通过自己的重量被嵌入到热塑性薄膜中。 然后在每个球的暴露表面上形成具有与球不同的光学特性的层。 最后，设置有这些层的球与热塑性膜分离。

公开(公告)号：US6072621A

公开(公告)日：2000-06-06

申请号：US245353

申请日：1999-02-05

申请人： Etsuro Kishi ,  Takayuki Yagi ,  Tsutomu Ikeda

发明人： Etsuro Kishi ,  Takayuki Yagi ,  Tsutomu Ikeda

IPC分类号： G02B26/02 ,  G09F9/37 ,  G02B26/00

CPC分类号： G02B26/026 ,  G09F9/372

摘要： In a display device of the type wherein a display state is selected by rotation of polarized colored balls, the colored balls are formed from a paraelectric material, and the charged state of each colored ball is provided by an electret-forming treatment due to charge-injection to a minute colored ball per se of a paraelectric material or a film of a paraelectric material coating a minute ball. As a result, a colored ball having an increased charge can be produced stably from an inexpensive material.

摘要翻译： 在通过偏光着色球的旋转选择显示状态的显示装置中，彩色球由顺电材料形成，并且每个着色球的带电状态由于电荷形成处理而提供， 注射到一分钟的彩色球本身的顺电材料或涂敷微小球的顺电材料的膜。 结果，可以从便宜的材料稳定地制造具有增加的电荷的有色球。

公开(公告)号：US6154302A

公开(公告)日：2000-11-28

申请号：US191534

申请日：1998-11-13

申请人： Takayuki Yagi ,  Hajime Sakata ,  Etsuro Kishi

发明人： Takayuki Yagi ,  Hajime Sakata ,  Etsuro Kishi

IPC分类号： G02B26/08

CPC分类号： G02B26/0816

摘要： A light deflection device includes a deflection member having a sphere body enclosing a deflection face portion for deflecting a light beam, or a segmental sphere body having the deflection face portion and a segmental sphere face opposing to the deflection face portion. The device also includes a supporting member for supporting the deflection member in a turnable manner, and a driver for turning the deflection member. The driver is provided on the sphere face of the deflection member, and at a position opposing the sphere face or the segmental sphere face of the deflection member to apply a driving force to the sphere face or the segmental face. In one embodiment, a light deflection device array includes the arrangement of light deflection devices in a one-dimensional or two-dimensional array.

摘要翻译： 光偏转装置包括具有包围用于偏转光束的偏转面部分的球体的偏转构件或具有偏转面部分的节段球体和与偏转面部分相对的节段球面。 该装置还包括用于以可转动的方式支撑偏转构件的支撑构件和用于转动偏转构件的驱动器。 驱动器设置在偏转构件的球面上，并且在与偏转构件的球体面或节段球面相对的位置处，以向球面或节段面施加驱动力。 在一个实施例中，光偏转装置阵列包括一维或二维阵列中的光偏转装置的布置。

公开(公告)号：US06227519B1

公开(公告)日：2001-05-08

申请号：US09069290

申请日：1998-04-29

申请人： Takayuki Yagi ,  Tsutomu Ikeda ,  Yasuhiro Shimada

发明人： Takayuki Yagi ,  Tsutomu Ikeda ,  Yasuhiro Shimada

IPC分类号： B29C3338

CPC分类号： G01Q70/16 ,  Y10S977/875

摘要： A female mold substrate used for the production of a microprobe tip or probe detecting a tunneling current or weak force includes a substrate provided with a recess section and a heat-flowable layer having flowability by heat treatment formed on the substrate and covering the recess. The female mold substrate is made by forming a recess section on the top surface of a substrate and forming a heat-flowable layer on the top surface of the substrate including the recess section. A microprobe tip detecting a tunneling current or weak force is made by forming a tip material layer on the female mold substrate and transferring the tip of material layer onto another substrate.

摘要翻译： 用于生产探测隧道电流或弱力的微探针头或探针的阴模基底包括设置有凹部的基底和通过热处理形成在基底上并覆盖凹部的流动性的热可流动层。 通过在基板的顶面上形成凹部而在包括该凹部的基板的上表面上形成热交换层而制成阴模基板。 通过在母模衬底上形成尖端材料层并将材料层的顶端转移到另一衬底上，来形成检测隧穿电流或弱力的微探针尖端。

公开(公告)号：US5396066A

公开(公告)日：1995-03-07

申请号：US253609

申请日：1994-06-03

申请人： Tsutomu Ikeda ,  Keisuke Yamamoto ,  Masaru Nakayama ,  Takayuki Yagi ,  Haruki Kawada

发明人： Tsutomu Ikeda ,  Keisuke Yamamoto ,  Masaru Nakayama ,  Takayuki Yagi ,  Haruki Kawada

IPC分类号： G01Q70/08 ,  G01B21/30 ,  G01N27/00 ,  G01Q60/16 ,  G01Q70/06 ,  G01Q80/00 ,  G11B9/00 ,  G11B9/14 ,  H01J37/28 ,  H01L29/84 ,  H01L41/09

CPC分类号： G01Q60/16 ,  B82Y35/00 ,  G01Q70/06 ,  G11B9/1445 ,  B82Y10/00 ,  G01Q80/00 ,  Y10S977/872 ,  Y10S977/873

摘要： A displacement element including a substrate having electrodes and a cantilever provided on the substrate, wherein the cantilever is formed from a semiconductor material and has at least two electrostatic driving electrodes formed by diffusing an impurity into a semiconductor material.

摘要翻译： 一种位移元件，包括具有电极的基板和设置在基板上的悬臂，其中悬臂由半导体材料形成，并且具有通过将杂质扩散到半导体材料中形成的至少两个静电驱动电极。

公开(公告)号：US06215114B1

公开(公告)日：2001-04-10

申请号：US09158494

申请日：1998-09-23

申请人： Takayuki Yagi ,  Tsutomu Ikeda ,  Ryo Kuroda ,  Yasuhiro Shimada

发明人： Takayuki Yagi ,  Tsutomu Ikeda ,  Ryo Kuroda ,  Yasuhiro Shimada

IPC分类号： H01L2100

CPC分类号： G01Q60/22 ,  Y10S977/862

摘要： An optical prove for detecting or irradiating evanescent light is manufactured by forming a film having a regulated film thickness on a substrate, then forming a recess from the rear surface of the substrate, and forming a through hole in the film from the side of the recess by etching. The obtained optical probe has a micro-aperture at the tip of the through hole and usually, a plurality of optical probes each having a micro-aperture of uniform profile are formed on a single substrate. In the recess, light-receiving or light-irradiating means may be provided.

摘要翻译： 用于检测或照射ev逝光的光学证明是通过在基片上形成具有调节膜厚的膜，然后从基片的后表面形成一个凹槽，并从该凹部的一侧形成一个通孔 通过蚀刻。 获得的光学探针在通孔的尖端处具有微孔，并且通常在单个衬底上形成各自具有均匀轮廓的微孔的多个光学探针。 在凹部中，可以设置光接收或光照射装置。

公开(公告)号：US6011261A

公开(公告)日：2000-01-04

申请号：US34227

申请日：1998-03-04

申请人： Tsutomu Ikeda ,  Takayuki Yagi ,  Yasuhiro Shimada ,  Takeo Yamazaki

发明人： Tsutomu Ikeda ,  Takayuki Yagi ,  Yasuhiro Shimada ,  Takeo Yamazaki

IPC分类号： G01N37/00 ,  G01B5/28 ,  G01C7/00 ,  G01Q60/10 ,  G01Q60/16 ,  G01Q60/22 ,  G01Q60/24 ,  G01Q60/38 ,  G01Q70/10 ,  G01Q70/14 ,  G01Q70/16 ,  G01Q80/00 ,  G11B9/00 ,  G11B9/14 ,  G11B21/22 ,  H01J37/26 ,  H01L21/306

CPC分类号： G01Q60/40 ,  B82Y35/00 ,  G01Q60/04 ,  Y10S977/875

摘要： A probe for detecting minute physical behavior comprises a lever member, particularly in the form of a cantilever, formed of a monocrystalline silicon layer and a tip in the form of one-end-supported beam which is bowed and formed upon the lever member. The probe is manufactured by forming a film of a material with low density and high elasticity on the silicon layer of an SOI substrate, then oxidizing part of the silicon layer and removing the oxidized portion to form a tip with the material as a so-called bird's beak, and finally the SOI substrate is worked to form the cantilever shape of the lever member. The probe can be used for an information recording/reproducing device with good traceability even in high speed scanning over a recording medium.

摘要翻译： 用于检测微小物理行为的探针包括由单晶硅层形成的杠杆构件，特别是悬臂形式的杠杆构件，以及在杆构件上弯曲并形成的一端支撑梁形式的尖端。 通过在SOI衬底的硅层上形成具有低密度和高弹性的材料的膜，然后氧化硅层的一部分并除去氧化部分以形成具有所谓的材料的尖端来制造探针 鸟的喙，最后，SOI基板被加工成形成杠杆构件的悬臂形状。 即使在记录介质上进行高速扫描，该探针也可以用于具有良好追溯性的信息记录/再生装置。

公开(公告)号：US5923637A

公开(公告)日：1999-07-13

申请号：US715391

申请日：1996-09-13

申请人： Yasuhiro Shimada ,  Takayuki Yagi ,  Tsutomu Ikeda

发明人： Yasuhiro Shimada ,  Takayuki Yagi ,  Tsutomu Ikeda

IPC分类号： G01B21/30 ,  G01B7/34 ,  G01N37/00 ,  G01Q60/16 ,  G01Q60/38 ,  G01Q60/54 ,  G01Q70/10 ,  G01Q70/14 ,  G01Q80/00 ,  G01Q90/00 ,  G01R33/038 ,  G11B5/35 ,  G11B9/00 ,  G11B9/14 ,  G02B21/00

CPC分类号： G01Q60/16 ,  B82Y35/00 ,  G01Q60/38 ,  G01Q60/54 ,  G01Q70/14 ,  G01R33/0385 ,  G11B5/35 ,  G11B9/14 ,  G11B9/1409 ,  G11B9/1418 ,  G11B9/1436 ,  B82Y10/00 ,  B82Y25/00 ,  Y10S977/875

摘要： A micro-tip for detecting tunneling current, micro force or magnetic force is manufactured as follows. A recess portion is formed on the surface of a first substrate. A peeling layer are formed on the substrate including the recess of the first substrate. A micro-tip is formed on the peeling layer of the first substrate. A joining layer is formed on a second substrate. The micro-tip on the peeling layer including the recess in the first substrate is transferred onto the joining layer on the second substrate. The peeling layer mainly consists of an oxide or a nitride, of a metal element, a semi-metal element or a semiconductor element.

摘要翻译： 用于检测隧道电流，微力或磁力的微尖端如下制造。 在第一基板的表面上形成凹部。 在包括第一基板的凹部的基板上形成剥离层。 在第一基板的剥离层上形成微尖端。 接合层形成在第二基板上。 包括第一基板中的凹部的剥离层上的微尖端被转印到第二基板上的接合层上。 剥离层主要由金属元素，半金属元素或半导体元件的氧化物或氮化物构成。

公开(公告)号：US5866021A

公开(公告)日：1999-02-02

申请号：US713228

申请日：1996-09-12

申请人： Takayuki Yagi ,  Tsutomu Ikeda ,  Yasuhiro Shimada

发明人： Takayuki Yagi ,  Tsutomu Ikeda ,  Yasuhiro Shimada

IPC分类号： G01N37/00 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01B7/34 ,  G01N27/00 ,  G01Q60/16 ,  G01Q60/24 ,  G01Q60/38 ,  G01Q70/18 ,  G11B9/14 ,  H01J9/02 ,  B44C1/22

CPC分类号： G01Q70/16 ,  B81C1/00111 ,  B82Y35/00 ,  H01J9/025 ,  B81B2201/12 ,  B81C2201/0191

摘要： A micro-tip is manufactured by forming a recess portion on a first substrate consisting of monocrystalline silicon for forming a tip. A peeling layer is formed on the recess portion, and contact layer is formed on at least a portion other than the peeling layer on the substrate. A tip material layer is formed on the peeling layer and the contact layer. The tip material layer on the peeling layer is transferred onto a second substrate.

摘要翻译： 通过在由用于形成尖端的单晶硅组成的第一衬底上形成凹部来制造微尖端。 在凹部上形成剥离层，在基板上的剥离层以外的至少一部分上形成接触层。 在剥离层和接触层上形成尖端材料层。 剥离层上的尖端材料层被转印到第二基板上。

公开(公告)号：US5959957A

公开(公告)日：1999-09-28

申请号：US786181

申请日：1997-01-21

申请人： Tsutomu Ikeda ,  Takayuki Yagi ,  Yasuhiro Shimada

发明人： Tsutomu Ikeda ,  Takayuki Yagi ,  Yasuhiro Shimada

IPC分类号： G01B21/30 ,  G01B7/34 ,  G01N37/00 ,  G01Q60/16 ,  G01Q60/38 ,  G01Q70/14 ,  G01Q70/16 ,  G01Q80/00 ,  G11B9/00 ,  G11B9/14 ,  G02B21/00

CPC分类号： G11B9/1409 ,  G01Q60/04 ,  G01Q70/14 ,  G11B9/1418 ,  B82Y10/00 ,  Y10S977/873

摘要： A probe has a metal tip on a cantilever. A diffused layer made from a metal silicide is formed at an interface between the tip and the cantilever. In the diffused layer, a material for forming the cantilever and a material for forming the tip are diffused.

摘要翻译： 探针在悬臂上具有金属尖端。 在尖端和悬臂之间的界面处形成由金属硅化物制成的扩散层。 在扩散层中，用于形成悬臂的材料和用于形成尖端的材料被扩散。