公开(公告)号：US09159527B2

公开(公告)日：2015-10-13

申请号：US12100570

申请日：2008-04-10

申请人： Billy W. Ward ,  Lou Farkas ,  John A. Notte ,  Randall Percival

发明人： Billy W. Ward ,  Lou Farkas ,  John A. Notte ,  Randall Percival

IPC分类号： H01J27/00 ,  H01J37/08 ,  H01J27/26

CPC分类号： H01J37/08 ,  H01J27/26 ,  H01J2237/06341 ,  H01J2237/065 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/28

摘要： In one aspect the invention provides a gas field ion source assembly that includes an ion source in connection with an optical column such that an ion beam generated at the ion source travels through the optical column. The ion source includes an emitter having a width that tapers to a tip comprising a few atoms. In other aspects, the methods provide for manufacturing, maintaining and enhancing the performance of a gas field ion source including sharpening the tip of the ion source in situ.

摘要翻译： 在一个方面，本发明提供了一种气体离子源组件，其包括与光学柱连接的离子源，使得在离子源处产生的离子束穿过光学柱。 离子源包括具有与包含少量原子的尖端逐渐变细的宽度的发射体。 在其它方面，该方法提供制造，维持和提高气体离子源的性能，包括原位锐化离子源的尖端。

公开(公告)号：US20080111069A1

公开(公告)日：2008-05-15

申请号：US11853471

申请日：2007-09-11

申请人： John A. Notte

发明人： John A. Notte

IPC分类号： H01J49/00

CPC分类号： H01J49/142 ,  G01N23/2255 ,  H01J37/08 ,  H01J37/244 ,  H01J37/252 ,  H01J37/28 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2516 ,  H01J2237/2806 ,  H01J2237/31703 ,  H01J2237/31749 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： Methods that include using a noble gas ion beam to determine dopant information for a sample are disclosed, the dopant information including dopant concentration in the sample, dopant location in the sample, or both.

摘要翻译： 公开了包括使用惰性气体离子束来确定样品的掺杂剂信息的方法，掺杂剂信息包括样品中的掺杂剂浓度，样品中的掺杂剂位置或两者。

公开(公告)号：US20070215802A1

公开(公告)日：2007-09-20

申请号：US11385215

申请日：2006-03-20

申请人： Billy W. Ward ,  Louis S. Farkas ,  John A. Notte ,  Randall G. Percival

发明人： Billy W. Ward ,  Louis S. Farkas ,  John A. Notte ,  Randall G. Percival

IPC分类号： H01J37/26 ,  G01N23/225

CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/08 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/2505

摘要： In one aspect the invention provides a gas field ion microscope that includes an ion source in connection with an optical column, such that an ion beam generated at the ion source travels through the optical column and impinges on a sample. The ion source includes an emitter having a width that tapers to a tip comprising a few atoms. In other aspects, the invention provides methods for using the ion microscope to analyze samples and enhancing the performance of a gas field ion source.

摘要翻译： 一方面，本发明提供了一种气体离子显微镜，其包括与光学柱结合的离子源，使得在离子源处产生的离子束穿过光学柱并撞击样品。 离子源包括具有与包含少量原子的尖端逐渐变细的宽度的发射体。 在其他方面，本发明提供了使用离子显微镜分析样品并提高气体离子源的性能的方法。

公开(公告)号：US08748845B2

公开(公告)日：2014-06-10

申请号：US13356854

申请日：2012-01-24

申请人： Billy W. Ward ,  John A. Notte ,  Louis S. Farkas ,  Randall G. Percival ,  Raymond Hill ,  Klaus Edinger ,  Lars Markwort ,  Dirk Aderhold ,  Ulrich Mantz

发明人： Billy W. Ward ,  John A. Notte ,  Louis S. Farkas ,  Randall G. Percival ,  Raymond Hill ,  Klaus Edinger ,  Lars Markwort ,  Dirk Aderhold ,  Ulrich Mantz

IPC分类号： H01J49/10 ,  H01J49/08 ,  H01J37/30 ,  H01J27/26

CPC分类号： H01J37/3174 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J27/26 ,  H01J37/08 ,  H01J37/20 ,  H01J37/252 ,  H01J37/256 ,  H01J37/28 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3053 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/2566 ,  H01J2237/2623 ,  H01J2237/2812 ,  H01J2237/30438 ,  H01J2237/31701 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/3175 ,  H01J2237/31755

摘要： Ion sources, systems and methods are disclosed.

摘要翻译： 公开了离子源，系统和方法。

公开(公告)号：US20080217555A1

公开(公告)日：2008-09-11

申请号：US12100570

申请日：2008-04-10

申请人： Billy W. Ward ,  Lou Farkas ,  John A. Notte ,  Randall Percival

发明人： Billy W. Ward ,  Lou Farkas ,  John A. Notte ,  Randall Percival

IPC分类号： H01J27/26

CPC分类号： H01J37/08 ,  H01J27/26 ,  H01J2237/06341 ,  H01J2237/065 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/28

摘要： In one aspect the invention provides a gas field ion source assembly that includes an ion source in connection with an optical column such that an ion beam generated at the ion source travels through the optical column. The ion source includes an emitter having a width that tapers to a tip comprising a few atoms. In other aspects, the methods provide for manufacturing, maintaining and enhancing the performance of a gas field ion source including sharpening the tip of the ion source in situ.

摘要翻译： 在一个方面，本发明提供了一种气体离子源组件，其包括与光学柱连接的离子源，使得在离子源处产生的离子束穿过光学柱。 离子源包括具有与包含少量原子的尖端逐渐变细的宽度的发射体。 在其它方面，该方法提供制造，维持和增强气体离子源的性能，包括原位锐化离子源的尖端。