用于扫频源光学相干层析成像系统的波长可调谐垂直腔面发射激光器

    公开(公告)号:CN105518951B

    公开(公告)日:2018-06-01

    申请号:CN201480044416.1

    申请日:2014-07-01

    发明人: T·牧野 T·李 D·尤

    IPC分类号: H01S5/183

    摘要: 一种使用微机电系统(MEMS)技术的波长可调谐的垂直腔面发射激光器(VCSEL)被设置为用于光学相干层析成像(OCT)的扫频源。所述波长可调谐VCSEL包括VCSEL的底部反射镜、有源区、以及通过静电偏转而可移动的MEMS可调谐上部反射镜。所述底部反射镜包括GaAs基分布的布拉格反射镜(DBR)叠层,以及所述有源区包括多个GaAs基量子点(QD)层的叠层,所述有源层在GaAs衬底上外延生长。所述MEMS可调谐上部反射镜包括由悬挂梁支撑的膜部、以及包含介电DBR叠层的上部反射镜。所述MEMS可调谐量子点VCSEL能覆盖超过100nm的操作波长范围,优选具有250nm和1950nm之间的中心波长,并且扫描速率能从几kHz到几百kHz、以及高达几MHz。

    一种大功率1.8-4μm半导体激光器及其制备方法

    公开(公告)号:CN106300015A

    公开(公告)日:2017-01-04

    申请号:CN201610871786.3

    申请日:2016-09-30

    IPC分类号: H01S5/343

    CPC分类号: H01S5/34313

    摘要: 本发明提供一种大功率1.8-4μm半导体激光器及其制备方法,涉及中红外激光器技术领域。本发明所述的激光器包括:有源区(包括InGaAsSb量子阱或AlGaInAsSb势垒层)、非掺杂AlGaInAsSb上波导层、绝缘层等结构。同时,本发明提出采用脊型宽面波导,波导刻蚀至上波导层,在绝缘层刻蚀出电注入窗口,形成电流注入区域;在沉积n面电极之前对磨抛面用稀盐酸溶液进行处理;另外,在激光器烧结时通入甲酸和氮气双路保护气体,旨在激光器能够获得大功率输出,避免焊料出现空洞和器件爬In现象,提高器件稳定性和寿命。