膜状烧成材料及带支撑片的膜状烧成材料

    公开(公告)号:CN111066137A

    公开(公告)日:2020-04-24

    申请号:CN201880059086.1

    申请日:2018-09-04

    Abstract: 本发明提供一种膜状烧成材料1及带支撑片的膜状烧成材料,所述膜状烧成材料1含有烧结性金属颗粒10及粘结剂成分20,其中,烧结性金属颗粒10的含量为15~98质量%,粘结剂成分20的含量为2~50质量%,所述膜状烧成材料1在60℃下的拉伸弹性模量为4.0~10.0MPa,在60℃下的断裂伸长率为500%以上;所述带支撑片的膜状烧成材料具备含有烧结性金属颗粒及粘结剂成分膜状烧成材料1与设置在所述膜状烧成材料的至少一侧的支撑片2,其中,所述膜状烧成材料对支撑片的粘着力(a2)小于所述膜状烧成材料对半导体晶圆的粘着力(a1),且所述粘着力(a1)为0.1N/25mm以上,所述粘着力(a2)为0.1N/25mm以上0.5N/25mm以下。

    膜状烧成材料及带支撑片的膜状烧成材料

    公开(公告)号:CN111741823B

    公开(公告)日:2023-04-04

    申请号:CN201980014303.X

    申请日:2019-02-08

    Abstract: 本发明提供一种膜状烧成材料(1),其含有第一金属颗粒(10)、第二金属颗粒(20)及粘结剂成分(30),其中,所述第一金属颗粒(10)的平均粒径为100nm以下,且最大粒径为250nm以下,所述第二金属颗粒(20)的平均粒径为1000~7000nm,最小粒径大于250nm,且最大粒径为10000nm以下,以第一金属颗粒/第二金属颗粒所示的质量比为0.1以上。

    带支撑片的膜状烧成材料、辊体、层叠体、及装置的制造方法

    公开(公告)号:CN113631373A

    公开(公告)日:2021-11-09

    申请号:CN202080020936.4

    申请日:2020-03-13

    Abstract: 本发明提供一种带支撑片的膜状烧成材料(100),其具备:在基材膜(3)上具有粘着剂层(4)的支撑片(2)、设置在粘着剂层(4)上的膜状烧成材料(1);膜状烧成材料(100)含有烧结性金属颗粒(10)及粘结剂成分(20),下述测定方法的90°粘着力为0.02~1.2N/10mm。测定方法:对于将所述带支撑片的膜状烧成材料切断成宽度10mm、长度100mm以上而成的试验片(其中,当粘着剂层为固化性时,为固化后的试验片),以使支撑片的粘着剂层与膜状烧成材料的面彼此成90°的角度的方式,以300mm/分钟的剥离速度将支撑片沿其长度方向剥离,将此时的剥离力作为90°粘着力。

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