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公开(公告)号：CN102301487A
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN201080005941.4
申请日：2010-01-29
申请人： 株式会社爱发科
IPC分类号： H01L31/04
CPC分类号： C23C16/54 , C23C16/24 , H01L31/076 , H01L31/1804 , H01L31/1824 , H01L31/202 , Y02E10/545 , Y02E10/547 , Y02E10/548 , Y02P70/521
摘要： 该光电转换装置的制造方法为在基板(1)上形成的透明导电膜(2)上依次层压第一光电转换单元(3)和第二光电转换单元(4)的光电转换装置(10)的制造方法，在多个第一等离子体CVD反应室(62、63、64、65)中，分别形成第一p型半导体层(31)、第一i型半导体层(32)、第一n型半导体层(33)和第二p型半导体层(41)，将所述第二p型半导体层(41)暴露在大气气氛中，在形成第二i型半导体层(42)之前，向第二等离子体CVD反应室(72)内供给含p型杂质的气体，在所述第二等离子体CVD反应室(72)中，在大气中暴露过的所述第二p型半导体层(41)上形成所述第二i型半导体层(42)，在所述第二i型半导体层(42)上形成所述第二n型半导体层(43)。
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公开(公告)号：CN102292822A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201080006139.7
申请日：2010-01-26
申请人： 株式会社爱发科
IPC分类号： H01L31/04
CPC分类号： H01L31/046 , H01L31/02167 , H01L31/0463 , H01L31/0465 , H01L31/048 , Y02E10/50
摘要： 一种太阳能电池(1)包括：基板(10)；具有可渗透性的第一电极层(12)、光电转换层(13)和第二电极层(14)且被设置在所述基板(10)上的光电转换层(11)；以及至少覆盖所述第二电极层(14)的保护层(20)。保护层(20)包括硅氮化合物。
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公开(公告)号：CN102131949A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN200980133226.6
申请日：2009-10-21
申请人： 株式会社爱发科
CPC分类号： H01L31/202 , C23C14/042 , C23C14/56 , H01L21/02104 , H01L21/02422 , H01L21/02631 , H01L21/02642 , H01L31/022425 , H01L31/046 , H01L31/18 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要： 该掩模包括：平板状的第一部分(44)，具有在相当于基板(11)的成膜区域(S1)的位置形成的开口部(41)和侧部，以平板状的第一部分(44)与所述基板(11)的被成膜面(11a)重叠的方式配置所述基板(11)；第二部分(43)，沿着所述第一部分(44)的所述侧部设置，覆盖所述基板(11)的侧面的至少一部分，在多张所述掩模(40、40a、40b、140、142、240、240a、240b、340、340a、340b)向其侧方排列时，彼此邻接的两张所述掩模的所述第二部分(43)分别互相重合，从而形成重合部(B)。
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公开(公告)号：CN102047440A
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN200980119948.6
申请日：2009-07-03
申请人： 株式会社爱发科
IPC分类号： H01L31/04
CPC分类号： H01L31/075 , H01L31/03762 , H01L31/046 , H01L31/0463 , H01L31/0465 , Y02E10/548
摘要： 一种太阳能电池单元的制造方法，包括：刻划工序，在基板(11)上通过依次层积第一电极层(13)、光电转换层(14)和第二电极层(15)而形成光电转换体(12)之后，形成将光电转换体(12)电分离为多个划分部的槽，在所述刻划工序中，形成第一槽(18)、第二槽(19)、第三槽(24)、以及第四槽(50)，在所述刻划工序之后，具有形成绝缘层(31、51)的绝缘层形成工序以及形成配线层(30)的配线层形成工序，所述配线层(30)从露出于所述第二槽(19)的底面的所述第一电极层(13)，经过所述第二槽(19)的内部和所述绝缘层(31、51)的表面，到达配置在所述第四槽(50)的与所述第二槽(19)相反的一侧的所述第二电极层(15)的表面，电连接所述多个划分部。
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公开(公告)号：CN102132418A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN200980133228.5
申请日：2009-08-28
申请人： 株式会社爱发科
IPC分类号： H01L31/04
CPC分类号： H01L31/077 , C23C16/24 , H01L21/02532 , H01L21/02592 , H01L21/0262 , H01L31/076 , H01L31/1824 , Y02E10/545 , Y02E10/548 , Y02P70/521
摘要： 该光电转换装置的制造方法中，在减压气氛内连续形成构成第一光电转换单元(3)的第一p型半导体层(31)、第一i型半导体层(32)和第一n型半导体层(33)以及由结晶质的硅系薄膜形成的、构成第二光电转换单元(4)的第二p型半导体层(41)，将所述第二p型半导体层(41)暴露在大气气氛中，将构成所述第二光电转换单元(4)的第二i型半导体层(42)和第二n型半导体层(43)形成在暴露在大气气氛中的所述第二光电转换单元(4)的所述p型半导体层(41)上。
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公开(公告)号：CN101971358A
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN200980109023.3
申请日：2009-04-21
申请人： 株式会社爱发科
IPC分类号： H01L31/04
CPC分类号： H01L31/1804 , H01L31/02168 , H01L31/028 , H01L31/068 , Y02E10/547 , Y02P70/521
摘要： 该太阳能电池的制造方法是在导电型为p型或n型的硅基板(1、21)上形成硅层(22、31)，所述硅层(22、31)包含与所述硅基板(1、21)不同导电型的掺杂物，对所述硅层(22、31)进行热处理，以使包含在所述硅层(22、31)中的掺杂物向所述硅基板(1、21)内扩散。
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公开(公告)号：CN101971356A
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN200980108730.0
申请日：2009-04-24
申请人： 株式会社爱发科
IPC分类号： H01L31/04
CPC分类号： H01L31/056 , Y02E10/52
摘要： 该太阳能电池(10)包括：基板(11)，具有光透射性；光电转换体(12)，设置在所述基板(11)上，包括具有光透射性的表面电极(13)、光电转换层(14)和具有光反射性的背面电极(15)；以及低折射导电层(16)，与所述光电转换层(14)相邻，配置在所述光电转换层(14)上与所述基板(11)相反的面上，和与所述基板(11)所面对的所述光电转换层(14)的面相反的面相邻，由具有光透射性的导电材料构成，折射率为2.0以下。
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公开(公告)号：CN107527960A
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201710468365.0
申请日：2017-06-20
申请人： 株式会社爱发科
IPC分类号： H01L31/0224 , H01L31/075 , H01L31/20
CPC分类号： Y02E10/546 , Y02E10/548 , Y02P70/521 , H01L31/075 , H01L31/02245 , H01L31/202 , H01L31/208
摘要： 本发明涉及HBC型晶体太阳能电池的制造方法以及HBC型晶体太阳能电池。该制造方法使用由第一导电型的晶体硅构成的基板，且依次包括：单独或者同时地形成i型的非晶Si层α和i型的非晶Si层β的工序；形成光致抗蚀剂的工序；通过利用掩模的离子注入法，将导电型与第一导电型相同的部位A以及导电型与第一导电型不同的部位B，以内部存在于非晶Si层β并且在该非晶Si层β的外表面侧暴露出一部分的方式，形成在通过光致抗蚀剂而相互分隔的位置的工序；对离子注入后的非晶Si层β进行退火处理的工序；以覆盖位于非晶Si层β的外表面侧的部位A、部位B以及光致抗蚀剂的方式来形成导电性部件的工序；以及去除被导电性部件覆盖的光致抗蚀剂的工序。
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公开(公告)号：CN102131949B
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN200980133226.6
申请日：2009-10-21
申请人： 株式会社爱发科
CPC分类号： H01L31/202 , C23C14/042 , C23C14/56 , H01L21/02104 , H01L21/02422 , H01L21/02631 , H01L21/02642 , H01L31/022425 , H01L31/046 , H01L31/18 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要： 该掩模包括：平板状的第一部分(44)，具有在相当于基板(11)的成膜区域(S1)的位置形成的开口部(41)和侧部，以平板状的第一部分(44)与所述基板(11)的被成膜面(11a)重叠的方式配置所述基板(11)；第二部分(43)，沿着所述第一部分(44)的所述侧部设置，覆盖所述基板(11)的侧面的至少一部分，在多张所述掩模(40、40a、40b、140、142、240、240a、240b、340、340a、340b)向其侧方排列时，彼此邻接的两张所述掩模的所述第二部分(43)分别互相重合，从而形成重合部(B)。
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