홀 센서
    7.
    发明公开
    홀 센서 审中-实审
    霍尔传感器

    公开(公告)号:KR1020160046325A

    公开(公告)日:2016-04-28

    申请号:KR1020160044139

    申请日:2016-04-11

    摘要: 아일랜드리스구조의홀 센서에있어서 GaAs홀소자를소형박형화한경우에도, 누설전류의증대를방지할수 있도록한 홀센서를제공한다. GaAs 기판(11) 상에설치된감자부(12)와, 전극(13a 내지 13d)과, GaAs 기판(11)의전극(13a 내지 13d)이설치되어있는면과는반대측의면측에설치된보호층(40)을갖는 GaAs홀소자(10)와, GaAs홀소자(10)의주위에배치된리드단자(22 내지 25)와, 전극(13a 내지 13d)과리드단자(22 내지 25)를각각전기적으로접속하는금속세선(31 내지 34)과, 이들을몰드하는몰드부재(50)를구비한다. 보호층(40) 및리드단자(22 내지 25)의제1 면(즉, 금속세선(31 내지 34)과접속하고있는면과는반대측의면)은, 몰드부재(50)의동일한면으로부터노출되어있다. GaAs 기판(11)의저항률은 5.0×10Ω·㎝이상이다.

    摘要翻译: 在具有无孤岛结构的霍尔传感器中,提供了一种霍尔传感器,该霍尔传感器防止在GaAs霍尔器件以小型和薄型形式配置的情况下的漏电流增加。 霍尔传感器包括:GaAs霍尔器件(10),其包括安装在GaAs衬底(11)上的退磁单元(12),电极(13a至13d)和保护层(40),所述保护层安装在与 GaAs衬底(11)的电极(13a至13d)的表面; 引线端子(22〜25),其布置在GaAs霍尔器件(10)周围; 分别将电极(13a〜13d)与引线端子(22〜25)电连接的金属细线(31〜34) 以及模制上述元件的模具构件(50)。 与保护层(40)和引线端子(22〜25)的金属细线(31〜34)接触的表面相对的表面的第一表面从 模具构件(50)。 GaAs衬底(11)的电阻率等于或高于5.0×10 ^7Ω·cm。