公开(公告)号：US20120025382A1

公开(公告)日：2012-02-02

申请号：US13271878

申请日：2011-10-12

申请人： Philipp Riess ,  Erdem Kaltalioglu ,  Hermann Wendt

发明人： Philipp Riess ,  Erdem Kaltalioglu ,  Hermann Wendt

IPC分类号： H01L23/532 ,  H01L23/528

CPC分类号： H01L23/53238 ,  H01L21/31608 ,  H01L21/31629 ,  H01L21/31695 ,  H01L21/76808 ,  H01L21/76816 ,  H01L23/5226 ,  H01L23/53228 ,  H01L23/5329 ,  H01L23/53295 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： Structures and methods of forming metallization layers on a semiconductor component are disclosed. The method includes etching a metal line trench using a metal line mask, and etching a via trench using a via mask after etching the metal line trench. The via trench is etched only in regions common to both the metal line mask and the via mask.

摘要翻译： 公开了在半导体部件上形成金属化层的结构和方法。 该方法包括使用金属线掩模蚀刻金属线沟槽，并且在蚀刻金属线沟槽之后使用通孔掩模蚀刻通孔沟槽。 通孔沟槽仅在金属线掩模和通孔掩模两者共同的区域中被蚀刻。

公开(公告)号：US07786007B2

公开(公告)日：2010-08-31

申请号：US12098976

申请日：2008-04-07

申请人： Mark Hoinkis ,  Matthias Hierlemann ,  Gerald Friese ,  Andy Cowley ,  Dennis J. Warner ,  Erdem Kaltalioglu

发明人： Mark Hoinkis ,  Matthias Hierlemann ,  Gerald Friese ,  Andy Cowley ,  Dennis J. Warner ,  Erdem Kaltalioglu

IPC分类号： H01L21/4763

CPC分类号： H01L23/5226 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/12044 ,  H01L2924/00

摘要： A method, apparatus and system are provided for relieving stress in the via structures of semiconductor structures whenever a linewidth below a via is larger than a ground-rule, including providing a via at least as large as the groundrule, providing a landing pad above the via, providing a via bar in place of a via, slotting the metal linewidth below the via, or providing an oversize via with a sidewall spacer.

摘要翻译： 提供了一种方法，装置和系统，用于在通孔下方的线宽大于基准规则时，减少半导体结构的通孔结构中的应力，包括提供至少与基底层一样大的通孔， 通孔，提供通孔条来代替通孔，将通孔下方的金属线宽开槽，或者提供具有侧壁间隔物的超尺寸通孔。

公开(公告)号：US20090200675A1

公开(公告)日：2009-08-13

申请号：US12029127

申请日：2008-02-11

申请人： Thomas Goebel ,  Erdem Kaltalioglu ,  Markus Naujok

发明人： Thomas Goebel ,  Erdem Kaltalioglu ,  Markus Naujok

IPC分类号： H01L23/48 ,  H01L21/00 ,  H01L21/44

CPC分类号： H01L24/11 ,  H01L21/76885 ,  H01L24/10 ,  H01L24/13 ,  H01L2224/11 ,  H01L2224/11916 ,  H01L2224/13 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2224/16 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/01022 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01024 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01051 ,  H01L2924/01073 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/01322 ,  H01L2924/04941 ,  H01L2924/04953 ,  H01L2924/30105 ,  H01L2924/30107 ,  H01L2924/00

摘要： A structure and method of forming passivated copper chip pads is described. In various embodiments, the invention describes a substrate that includes active circuitry and metal levels disposed above the substrate. A passivation layer is disposed above a last level of the metal levels. A conductive liner is disposed in the sidewalls of an opening disposed in the passivation layer, wherein the conductive liner is also disposed over an exposed surface of the last level of the metal levels.

摘要翻译： 描述了形成钝化的铜芯片焊盘的结构和方法。 在各种实施例中，本发明描述了一种衬底，其包括设置在衬底上方的有源电路和金属电平。 钝化层设置在金属层的最后一层上方。 导电衬垫设置在设置在钝化层中的开口的侧壁中，其中导电衬垫也设置在金属水平的最后一级的暴露表面上。

公开(公告)号：US20080213993A1

公开(公告)日：2008-09-04

申请号：US12098976

申请日：2008-04-07

申请人： Mark Hoinkis ,  Matthias Hierlemann ,  Gerald Friese ,  Andy Cowley ,  Dennis J. Warner ,  Erdem Kaltalioglu

发明人： Mark Hoinkis ,  Matthias Hierlemann ,  Gerald Friese ,  Andy Cowley ,  Dennis J. Warner ,  Erdem Kaltalioglu

IPC分类号： H01L21/4763

CPC分类号： H01L23/5226 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/12044 ,  H01L2924/00

摘要： A method, apparatus and system are provided for relieving stress in the via structures of semiconductor structures whenever a linewidth below a via is larger than a ground-rule, including providing a via at least as large as the groundrule, providing a landing pad above the via, providing a via bar in place of a via, slotting the metal linewidth below the via, or providing an oversize via with a sidewall spacer.

摘要翻译： 提供了一种方法，装置和系统，用于在通孔下方的线宽大于基准规则时，减少半导体结构的通孔结构中的应力，包括提供至少与基底层一样大的通孔， 通孔，提供通孔条来代替通孔，将通孔下方的金属线宽开槽，或者提供具有侧壁间隔物的超尺寸通孔。

公开(公告)号：US20060113278A1

公开(公告)日：2006-06-01

申请号：US11330834

申请日：2006-01-12

申请人： Kaushik Kumar ,  Lawrence Clevenger ,  Timothy Dalton ,  Douglas La Tulipe ,  Andy Cowley ,  Erdem Kaltalioglu ,  Jochen Schacht ,  Andrew Simon ,  Mark Hoinkis ,  Steffen Kaldor ,  Chih-Chao Yang

发明人： Kaushik Kumar ,  Lawrence Clevenger ,  Timothy Dalton ,  Douglas La Tulipe ,  Andy Cowley ,  Erdem Kaltalioglu ,  Jochen Schacht ,  Andrew Simon ,  Mark Hoinkis ,  Steffen Kaldor ,  Chih-Chao Yang

IPC分类号： B44C1/22 ,  H01B13/00

CPC分类号： H01L21/76832 ,  H01L21/0332 ,  H01L21/31144 ,  H01L21/76811 ,  H01L21/76813 ,  H01L2221/1036 ,  Y10T428/12576 ,  Y10T428/12806 ,  Y10T428/265 ,  Y10T428/31678

摘要： A metal hardmask for use with a Dual Damascene process used in the manufacturing of semiconductor devices. The metal hardmask has advantageous translucent characteristics to facilitate alignment between levels while fabricating a semiconductor device and avoids the formation of metal oxide residue deposits. The metal hardmask comprises a first or primary layer of TiN (titanium nitride) and a second or capping layer of TaN (tantalum nitride).

摘要翻译： 用于制造半导体器件的双镶嵌工艺的金属硬掩模。 金属硬掩模具有有利的半透明特性，以有助于在制造半导体器件时水平之间的对准，并避免形成金属氧化物残留物沉积物。 金属硬掩模包括TiN（氮化钛）的第一或第一层和TaN（氮化钽）的第二或覆盖层。

公开(公告)号：US20050112864A1

公开(公告)日：2005-05-26

申请号：US10707122

申请日：2003-11-21

申请人： Lawrence Clevenger ,  Andrew Cowley ,  Timothy Dalton ,  Mark Hoinkis ,  Steffen Kaldor ,  Erdem Kaltalioglu ,  Kaushik Kumar ,  Douglas La Tulipe, Jr. ,  Jochen Schacht ,  Andrew Simon ,  Terry Spooner ,  Yun-Yu Wang ,  Clement Wann ,  Chih-Chao Yang

发明人： Lawrence Clevenger ,  Andrew Cowley ,  Timothy Dalton ,  Mark Hoinkis ,  Steffen Kaldor ,  Erdem Kaltalioglu ,  Kaushik Kumar ,  Douglas La Tulipe, Jr. ,  Jochen Schacht ,  Andrew Simon ,  Terry Spooner ,  Yun-Yu Wang ,  Clement Wann ,  Chih-Chao Yang

IPC分类号： H01L21/44 ,  H01L21/768 ,  H01L23/522 ,  H01L23/532

CPC分类号： H01L21/76844 ,  H01L21/76805 ,  H01L21/76807 ,  H01L21/76814 ,  H01L21/76846 ,  H01L23/5226 ,  H01L23/53238 ,  H01L23/53295 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： An interconnect structure in the back end of the line of an integrated circuit forms contacts between successive layers by removing material in the top surface of the lower interconnect in a cone-shaped aperture, the removal process extending through the liner of the upper aperture, and depositing a second liner extending down into the cone-shaped aperture, thereby increasing the mechanical strength of the contact, which then enhance the overall reliability of the integrated circuit.

摘要翻译： 在集成电路的线的后端中的互连结构通过在锥形孔中去除下互连的顶表面中的材料而形成连续层之间的接触，该去除过程延伸穿过上孔的衬垫，以及 沉积向下延伸到锥形孔中的第二衬垫，从而增加接触件的机械强度，从而提高集成电路的整体可靠性。

公开(公告)号：US06806182B2

公开(公告)日：2004-10-19

申请号：US10137274

申请日：2002-05-01

申请人： Darryl Restaino ,  Shahab Siddiqui ,  Erdem Kaltalioglu ,  Delores Bennett ,  Chih-Chih Liu ,  Hsueh-Chung Chen ,  Tong-Yu Chen ,  Gwo-Shii Yang ,  Chiung-Sheng Hsiung

发明人： Darryl Restaino ,  Shahab Siddiqui ,  Erdem Kaltalioglu ,  Delores Bennett ,  Chih-Chih Liu ,  Hsueh-Chung Chen ,  Tong-Yu Chen ,  Gwo-Shii Yang ,  Chiung-Sheng Hsiung

IPC分类号： H01L214763

CPC分类号： H01L21/02252 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/022 ,  H01L21/02203 ,  H01L21/02304 ,  H01L21/02323 ,  H01L21/0234 ,  H01L21/3121 ,  H01L21/31695 ,  H01L21/76826 ,  H01L21/76832 ,  H01L21/76834

摘要： Application of an adhesion promoter to a cap layer and oxidation of the adhesion promoter prior to deposition of an organic interlevel dielectric thereon reduces via resistance problems during thermal cycles of semiconductor wafers embodying multiple levels of metal and organic interlevel dielectrics.

摘要翻译： 在覆盖有机层间介质之前，将粘合促进剂施加到覆盖层和粘附促进剂的氧化之后，减少了体现多层金属和有机层间电介质的半导体晶片的热循环过程中的电阻问题。

公开(公告)号：US09330974B2

公开(公告)日：2016-05-03

申请号：US12913497

申请日：2010-10-27

申请人： Sunoo Kim ,  Muhammed Shafi Pallachalil ,  Moosung Chae ,  Erdem Kaltalioglu

发明人： Sunoo Kim ,  Muhammed Shafi Pallachalil ,  Moosung Chae ,  Erdem Kaltalioglu

IPC分类号： H01L21/768 ,  H01L23/522 ,  H01L23/532

CPC分类号： H01L21/76898 ,  H01L21/76804 ,  H01L21/76808 ,  H01L21/7681 ,  H01L23/5226 ,  H01L23/53223 ,  H01L23/53238 ,  H01L23/5329 ,  H01L23/53295 ,  H01L2924/00013 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2224/13599 ,  H01L2224/05599 ,  H01L2224/05099 ,  H01L2224/29099 ,  H01L2224/29599 ,  H01L2924/00

摘要： In one embodiment, a semiconductor device includes a first metal line disposed in a first metal level above a substrate. A second metal line is disposed in a second metal level disposed over the first metal level. A third metal line is disposed in a third metal level disposed over the second metal level. A through level via contacts the first metal line and the third metal line.

摘要翻译： 在一个实施例中，半导体器件包括设置在衬底上方的第一金属层中的第一金属线。 第二金属线设置在设置在第一金属层上的第二金属层中。 第三金属线设置在设置在第二金属层上的第三金属层中。 通孔接触第一金属线和第三金属线。

公开(公告)号：US08860225B2

公开(公告)日：2014-10-14

申请号：US13271878

申请日：2011-10-12

申请人： Philipp Riess ,  Erdem Kaltalioglu ,  Hermann Wendt

发明人： Philipp Riess ,  Erdem Kaltalioglu ,  Hermann Wendt

IPC分类号： H01L23/48 ,  H01L23/52 ,  H01L29/40 ,  H01L23/522 ,  H01L21/768 ,  H01L21/316 ,  H01L23/532

CPC分类号： H01L23/53238 ,  H01L21/31608 ,  H01L21/31629 ,  H01L21/31695 ,  H01L21/76808 ,  H01L21/76816 ,  H01L23/5226 ,  H01L23/53228 ,  H01L23/5329 ,  H01L23/53295 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： Structures and methods of forming metallization layers on a semiconductor component are disclosed. The method includes etching a metal line trench using a metal line mask, and etching a via trench using a via mask after etching the metal line trench. The via trench is etched only in regions common to both the metal line mask and the via mask.

摘要翻译： 公开了在半导体部件上形成金属化层的结构和方法。 该方法包括使用金属线掩模蚀刻金属线沟槽，并且在蚀刻金属线沟槽之后使用通孔掩模蚀刻通孔沟槽。 通孔沟槽仅在金属线掩模和通孔掩模两者共同的区域中被蚀刻。

公开(公告)号：US20120049884A1

公开(公告)日：2012-03-01

申请号：US13291185

申请日：2011-11-08

申请人： Erdem Kaltalioglu

发明人： Erdem Kaltalioglu

IPC分类号： G01R31/26 ,  H01L21/768

CPC分类号： G01R31/2896 ,  G01R31/2601 ,  G01R31/2858 ,  H01L22/34 ,  H01L23/585 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： Crack sensors for semiconductor devices, semiconductor devices, methods of manufacturing semiconductor devices, and methods of testing semiconductor devices are disclosed. In one embodiment, a crack sensor includes a conductive structure disposed proximate a perimeter of an integrated circuit. The conductive structure is formed in at least one conductive material layer of the integrated circuit. The conductive structure includes a first end and a second end. A first terminal is coupled to the first end of the conductive structure, and a second terminal is coupled to the second end of the conductive structure.

摘要翻译： 公开了用于半导体器件的裂纹传感器，半导体器件，半导体器件的制造方法以及半导体器件的测试方法。 在一个实施例中，裂纹传感器包括靠近集成电路的周边设置的导电结构。 导电结构形成在集成电路的至少一个导电材料层中。 导电结构包括第一端和第二端。 第一端子耦合到导电结构的第一端，并且第二端子耦合到导电结构的第二端。