电光装置、电光单元及电子设备

    公开(公告)号:CN107238925A

    公开(公告)日:2017-10-10

    申请号:CN201710190107.0

    申请日:2017-03-27

    Abstract: 本发明提供能够高效地释放设有镜的芯片的热的电光装置、电光单元及电子设备。电光装置(100)具有设有内部端子(94)的布线基板(90)和搭载于布线基板(90)上的芯片(2),芯片(2)具备镜(50)、驱动元件和与驱动元件电连接的芯片侧端子(17)。布线基板(90)具有设有内部端子(94)的第一面(901)、与第一面(901)相反一侧的第二面(902)、与第一面(901)和第二面(902)连接的第三面(903)以及与第三面(903)相反一侧的第四面(904)。布线基板(90)上设有在第一面(901)及第二面(902)露出的金属部件(98)以及从第三面(903)延伸到第四面(904)且与金属部件(98)连接的贯通孔(99)(第一贯通孔(991)及第二贯通孔(992))。

    自适应温控芯片微系统
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105540529A

    公开(公告)日:2016-05-04

    申请号:CN201510884856.4

    申请日:2015-12-04

    Inventor: 丁万春

    CPC classification number: B81B7/0087 B81B7/0093

    Abstract: 本发明公开了一种自适应温控芯片微系统,所述自适应温控芯片微系统由主工作芯片和微机电系统芯片正面相键合组成。主工作芯片包括:第一组焊垫,设置在所述主工作芯片的正面。微机电系统芯片包括:第二组焊垫,设置在微机电系统芯片的正面,与所述第一组焊垫相对应;沟槽,设置在所述微机电系统芯片的正面,用于与所述主工作芯片的正面构成密闭的供载热流体流动的液体流道,以冷却所述主工作芯片。本发明通过在微机电系统芯片的正面设置沟槽,与主工作芯片正面构成密闭的液体流道供载热流体流动,实现对微系统进行散热;并进一步通过设置温度感应器检测温度,并根据检测到的温度调节控制阀以控制载热流体的流速,从而实现对散热进行控制。

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