低成本微凸点的制备工艺

    公开(公告)号:CN104900548A

    公开(公告)日:2015-09-09

    申请号:CN201510307304.7

    申请日:2015-06-05

    发明人: 何洪文 曹立强

    摘要: 本发明涉及一种低成本微凸点的制备工艺,其特征是:将钎料和环氧树脂或硅胶等材料充分混合,制备成混合材料,然后直接在制备好的铜焊盘上涂覆。通过加热工艺,钎料会在熔融状态下与环氧树脂或硅胶等材料分离,沉积在铜焊盘上,形成凸点。然后通过化学腐蚀的方法去除环氧树脂或硅胶材料,得到所需要的微凸点。本发明最大的优势在于将钎料与环氧树脂或硅胶材料直接混合,直接涂覆在晶圆级铜焊盘表面,从而避开电镀工艺带来的高成本工序,有效的达到了节约成本的目的。而且,通过钎料与环氧树脂或硅胶的混合工艺,可制备不同成分的微凸点,甚至可添加微量元素形成特定需求的微凸点。微凸点的大小和间距取决于铜焊盘的尺寸和间距。