電子部材の剥離方法
    3.
    发明专利
    電子部材の剥離方法 有权
    剥离法的用于电子部件

    公开(公告)号:JPWO2014192631A1

    公开(公告)日:2017-02-23

    申请号:JP2015519820

    申请日:2014-05-22

    Abstract: 本発明の電子部材の剥離方法は、支持基板(12)上に接着フィルム(14)を介して電子部材(16)が貼着された積層体(10)から、電子部材(16)を剥離する方法であって、接着フィルム(14)は、支持基板(12)側に自己剥離型接着層(17)を備えるとともに、電子部材(16)側の面(14a)の少なくとも一部が露出した領域Aを備え、領域Aにエネルギーを付与し、領域Aの支持基板(12)と自己剥離型接着層(17)との接着力を低下させる工程と、さらにエネルギーを付与し、接着力が低下した、領域Aの支持基板(12)と自己剥離型接着層(17)との界面を起点として、支持基板(12)と自己剥離型接着層(17)の接着力を低下させて支持基板(12)を除去する工程と、電子部材(16)から接着フィルム(14)を除去し、電子部材(16)を剥離する工程と、を含む。

    Abstract translation: 用于本发明的电子部件的剥离方法是从层叠体的电子部件剥离(16)经由所述支撑基板上的粘合膜(14)粘附(12)(10),所述电子元件(16) 的方法,所述粘合膜(14)设置有一个自释放粘接层(17)到所述支撑衬底(12)侧,并且至少部分地暴露所述电子部件的表面(16)侧(14a)的区域 包括一个,赋予所述区域中的能量,并赋予减少支撑衬底之间的粘合力在该区域(12)的自剥离型粘合剂层(17),进一步的能量的步骤,粘附降低 从与该区域支撑基板(12)的自剥离型粘合剂层(17)的界面开始,支撑基板减小在支撑基板(12)和自剥离型粘合剂层(17)的粘合力(12 包括)去除,从该电子部件(16),分离的电子元件(16的步骤除去粘合膜(14)),则。

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