公开(公告)号：US20070111335A1

公开(公告)日：2007-05-17

申请号：US11621927

申请日：2007-01-10

申请人： Hiromu Miyazawa ,  Takamitsu Higuchi ,  Setsuya Iwashita

发明人： Hiromu Miyazawa ,  Takamitsu Higuchi ,  Setsuya Iwashita

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L29/94 ,  H01L29/76

CPC分类号： H01L28/55 ,  H01L21/31691 ,  H01L27/11502 ,  H01L27/11507

摘要： A ferroelectric memory device has a high performance, includes no Pb, and can be directly mounted onto an Si substrate. The ferroelectric memory device includes a (001)-oriented BiFeO3 ferroelectric layer 5 with a tetragonal structure, which is formed on an electrode 4 made of a perovskite material formed on an Si oxide film. The electrode 4 with a perovskite structure is formed by an ion beam assist method.

摘要翻译： 铁电存储器件具有高性能，不含Pb，并且可以直接安装在Si衬底上。 铁电存储器件包括形成在由在Si氧化物膜上形成的钙钛矿材料制成的电极4上的具有四方结构的（001）取向的BiFeO 3层铁电体层5。 具有钙钛矿结构的电极4通过离子束辅助法形成。

公开(公告)号：US07196457B2

公开(公告)日：2007-03-27

申请号：US10970697

申请日：2004-10-21

申请人： Hiromu Miyazawa ,  Takeshi Kijima ,  Eiji Natori ,  Taku Aoyama ,  Setsuya Iwashita ,  Takamitsu Higuchi

发明人： Hiromu Miyazawa ,  Takeshi Kijima ,  Eiji Natori ,  Taku Aoyama ,  Setsuya Iwashita ,  Takamitsu Higuchi

IPC分类号： H01L41/187 ,  B41J2/045

CPC分类号： H03H9/0542 ,  B41J2/14233 ,  B41J2202/03 ,  F04B43/046 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/318 ,  H03H9/02574 ,  H03H9/02984 ,  H03H9/173 ,  H03H9/174 ,  H03H9/64

摘要： A piezoelectric film is provided having good piezoelectric properties. The piezoelectric film is represented by the following general formula: A1−bB1−aXaO3 wherein A contains Pb; B is at least one of Zr and Ti; X is at least one of V, Nb, Ta, Cr, Mo and W; a satisfies 0.05≦a≦0.3; and b satisfies 0.025≦b≦0.15.

摘要翻译： 提供具有良好的压电性能的压电膜。 压电膜由以下通式表示：A 1-b B 1-a X a O 3 3 / >其中A含有Pb; B是Zr和Ti中的至少一种; X是V，Nb，Ta，Cr，Mo和W中的至少一种; a满足0.05 <= a <= 0.3; 并且b满足0.025≤b≤0.15。

公开(公告)号：US20060138507A1

公开(公告)日：2006-06-29

申请号：US11316168

申请日：2005-12-22

申请人： Takeshi Kijima ,  Yasuaki Hamada ,  Tomokazu Kobayashi ,  Hiromu Miyazawa

发明人： Takeshi Kijima ,  Yasuaki Hamada ,  Tomokazu Kobayashi ,  Hiromu Miyazawa

IPC分类号： H01L29/94

CPC分类号： H01G7/06 ,  C04B35/493 ,  C04B35/495 ,  C04B35/499 ,  C04B35/624 ,  C04B35/6264 ,  C04B35/6303 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3255 ,  C04B2235/3287 ,  C04B2235/3296 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/441 ,  C04B2235/449 ,  C04B2235/765 ,  C04B2235/768 ,  C04B2235/787 ,  C23C18/00 ,  H01G4/1218 ,  H01G4/1236 ,  H01G4/1263 ,  H01L21/02197 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/31691 ,  H01L27/11502 ,  H01L27/11507

摘要： A ferroelectric film having a ferroelectric shown by a general formula (Pb1-dBid)(B1-aXa)O3, B including at least one of Zr and Ti, X including at least one of Nb and Ta, “a” being in a range of “0.05≦a≦0.4”, and “d” being in a range of “0

摘要翻译： 具有铁电体的铁电体膜，其具有通式（Pb 1-a D b D d）（B 1-a X b） O 3，B包括Zr和Ti中的至少一种，X包括Nb和Ta中的至少一种，“a”在“0.05 <= a < 0.4“，”d“在”0

公开(公告)号：US20050275696A1

公开(公告)日：2005-12-15

申请号：US11136311

申请日：2005-05-24

申请人： Hiromu Miyazawa ,  Motohisa Noguchi ,  Eiju Hirai ,  Takeshi Kijima

发明人： Hiromu Miyazawa ,  Motohisa Noguchi ,  Eiju Hirai ,  Takeshi Kijima

IPC分类号： B41J2/16 ,  B41J2/04 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/135 ,  B41J2/14 ,  B41J2/145 ,  C04B35/46 ,  C04B35/472 ,  C04B35/49 ,  C04B35/493 ,  F04B9/00 ,  F04B43/04 ,  F04B53/00 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22 ,  H01L41/29 ,  H01L41/311 ,  H01L41/319 ,  H01L41/39 ,  H03B5/30 ,  H03H9/17 ,  H03H9/25

CPC分类号： H01L41/0815 ,  B41J2/14233 ,  B41J2002/14258 ,  F04B43/046 ,  H01L41/1875 ,  H01L41/318 ,  H01L41/319

摘要： A piezoelectric element in accordance with the present invention includes a base substrate, and a piezoelectric film formed above the base substrate, wherein the piezoelectric film is composed of a plurality of layers, at least two layers among the plurality of layers are composed of different relaxor materials, and the relaxor materials have a perovskite structure.

摘要翻译： 根据本发明的压电元件包括​​基底基板和形成在基底基板上的压电膜，其中压电膜由多个层组成，多个层中的至少两个层由不同的弛豫元件组成 材料，弛豫材料具有钙钛矿结构。

公开(公告)号：US20050134652A1

公开(公告)日：2005-06-23

申请号：US11002964

申请日：2004-12-02

申请人： Setsuya Iwashita ,  Takamitsu Higuchi ,  Hiromu Miyazawa ,  Satoshi Nebashi

发明人： Setsuya Iwashita ,  Takamitsu Higuchi ,  Hiromu Miyazawa ,  Satoshi Nebashi

IPC分类号： B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/14 ,  B41J2/16

CPC分类号： B41J2/14233

摘要： An ink jet head is provided that can effectively suppress operational interferences among adjacent cavities, and is capable of ultra-high-density and high-speed printing. The ink jet head is equipped with a plurality of cavities each having a volume that is variable by a deformation operation of a piezoelectric element, wherein beam members are provided between inner walls that interpose the cavity.

摘要翻译： 提供一种喷墨头，能够有效地抑制相邻空腔之间的操作干扰，能够进行超高密度和高速打印。 喷墨头配备有多个空腔，每个空腔具有通过压电元件的变形操作而变化的体积，其中梁构件设置在插入空腔的内壁之间。

公开(公告)号：US20050122005A1

公开(公告)日：2005-06-09

申请号：US10705251

申请日：2003-11-12

申请人： Takamitsu Higuchi ,  Setsuya Iwashita ,  Hiromu Miyazawa ,  Koji Sumi ,  Masami Murai ,  Maki Ito ,  Li Xin-Shan

发明人： Takamitsu Higuchi ,  Setsuya Iwashita ,  Hiromu Miyazawa ,  Koji Sumi ,  Masami Murai ,  Maki Ito ,  Li Xin-Shan

IPC分类号： B41J2/16 ,  H01L21/316 ,  H01L41/047 ,  H01L41/09 ,  H01L41/22

CPC分类号： H01L41/04 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1634 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1643 ,  B41J2/1645 ,  B41J2/1646 ,  H01L21/31691 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/316

摘要： An intermediate film (15, 12, 53) is formed on a substrate (11, 52), a bottom electrode (13, 542) is formed on top of this intermediate film, a ferroelectric film (24) or piezoelectric film (543) is formed on top of this bottom electrode by an ion beam assist method, and a top electrode (25, 541) is formed on top of this ferroelectric film or piezoelectric film. The ferroelectric film or piezoelectric film is formed by PZT, BST or a relaxer material. As a result of the use of an ion beam assist method in the formation of any one of the intermediate film, bottom electrode, ferroelectric film or piezoelectric film, a piezoelectric device or ferroelectric device which has a piezoelectric film or ferroelectric film with an in-plane orientation can be manufactured with good efficiency.

摘要翻译： 在基板（11,52）上形成中间膜（15,12,53），在该中间膜的顶部，铁电体膜（24）或压电膜（543）上形成有底部电极（13,542） 通过离子束辅助法形成在该底部电极的顶部上，并且在该铁电体膜或压电膜的顶部上形成顶部电极（25,541）。 铁电体膜或压电膜由PZT，BST或松弛材料形成。 通过使用离子束辅助方法来形成中间膜，底部电极，铁电体膜或压电膜中的任一个的结果，具有压电膜或铁电体膜的压电器件或铁电体器件， 可以以良好的效率制造平面取向。

公开(公告)号：US08678560B2

公开(公告)日：2014-03-25

申请号：US12914233

申请日：2010-10-28

申请人： Takayuki Yonemura ,  Hiromu Miyazawa

发明人： Takayuki Yonemura ,  Hiromu Miyazawa

IPC分类号： B41J2/045 ,  H02N2/00 ,  H01L41/00

CPC分类号： H01L41/18 ,  B41J2/055 ,  B41J2/14233 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2202/03 ,  C04B35/2608 ,  C04B2235/3227 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/441 ,  C04B2235/768 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1878 ,  H01L41/318

摘要： A liquid-ejecting head includes a pressure-generating chamber communicating with a nozzle opening, and a piezoelectric element. The piezoelectric layer contains a perovskite complex oxide containing Bi, La, Fe, and Mn and is ferroelectric.

摘要翻译： 液体喷射头包括与喷嘴开口连通的压力产生室和压电元件。 压电层含有含有Bi，La，Fe和Mn的钙钛矿复合氧化物，并且是铁电体。

公开(公告)号：US08636341B2

公开(公告)日：2014-01-28

申请号：US12974851

申请日：2010-12-21

申请人： Hiromu Miyazawa ,  Hiroshi Ito ,  Jiro Kato ,  Toshihiro Shimizu

发明人： Hiromu Miyazawa ,  Hiroshi Ito ,  Jiro Kato ,  Toshihiro Shimizu

IPC分类号： B41J2/045

CPC分类号： B41J2/14233 ,  B41J2/055 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14419 ,  B41J2002/14491

摘要： A liquid ejecting head includes a flow channel forming substrate having a pressure generation chamber communicating with a nozzle opening and arranged in parallel along a lateral direction. A piezoelectric element is provided on one surface of the flow channel forming substrate in correspondence to the pressure generation chamber, and has a first electrode, a piezoelectric layer provided on the first electrode and a second electrode provided on the piezoelectric layer. In a direction intersecting with the arrangement direction of the pressure generation chamber, in boundaries between an active section that is a substantial driving section and an inactive section that is not a substantial driving section of the piezoelectric layer of the first electrode, an opening group is provided including at least one opening in the active section and the inactive section.

摘要翻译： 液体喷射头包括具有与喷嘴开口连通并沿着横向平行设置的压力产生室的流路形成基板。 压电元件设置在对应于压力产生室的流道形成基板的一个表面上，并且具有第一电极，设置在第一电极上的压电层和设置在压电层上的第二电极。 在与压力产生室的排列方向相交的方向上，在作为实质的驱动部分的有效部分和不是第一电极的压电层的实质驱动部分的非活动部分之间的边界中，开口组是 提供在活动部分和非活动部分中包括至少一个开口。

公开(公告)号：US08608297B2

公开(公告)日：2013-12-17

申请号：US13352494

申请日：2012-01-18

申请人： Hiromu Miyazawa ,  Takayuki Yonemura ,  Koichi Morozumi

发明人： Hiromu Miyazawa ,  Takayuki Yonemura ,  Koichi Morozumi

IPC分类号： B41J2/045 ,  H01L41/04 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187 ,  C04B35/495 ,  C04B35/00

CPC分类号： B41J2/055 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1634 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1645 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2202/03 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/1871 ,  H01L41/1878 ,  H01L41/318

摘要： A piezoelectric element comprises a piezoelectric layer consisting a complex oxide having a perovskite structure containing bismuth and iron and electrodes provided to the piezoelectric layer. The complex oxide further contains a first dopant element that is at least one of magnesium and zinc and a second dopant element that is cerium.

摘要翻译： 压电元件包括​​由包含铋和铁的钙钛矿结构的复合氧化物和设置在压电层上的电极组成的压电层。 复合氧化物还含有镁和锌中的至少一种的第一掺杂剂元素和作为铈的第二掺杂元素。

公开(公告)号：US08461747B2

公开(公告)日：2013-06-11

申请号：US13301950

申请日：2011-11-22

申请人： Hiromu Miyazawa ,  Jiro Kato

发明人： Hiromu Miyazawa ,  Jiro Kato

IPC分类号： H01L41/00 ,  B41J2/07

CPC分类号： H01L41/18 ,  B41J2/14233 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14419 ,  B41J2002/14491 ,  B41J2202/03 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1876

摘要： A liquid ejecting head including a pressure-generating chamber which communicates with a nozzle opening, and a piezoelectric element including a first electrode, a piezoelectric layer formed above the first electrode and having a perovskite structure represented by the general formula ABO3, and a second electrode formed above the piezoelectric layer, wherein the piezoelectric layer, lead, zirconium, and titanium are present at A sites of the perovskite structure, and lead, zirconium, and titanium are present at B sites of the perovskite structure.

摘要翻译： 一种液体喷射头，包括与喷嘴开口连通的压力产生室，以及包括第一电极的压电元件，形成在第一电极上方并具有由通式ABO3表示的钙钛矿结构的压电层，以及第二电极 形成在压电层的上方，其中压电层，铅，锆和钛存在于钙钛矿结构的A位，铅，锆和钛存在于钙钛矿结构的B位。