公开(公告)号：US08026157B2

公开(公告)日：2011-09-27

申请号：US12553007

申请日：2009-09-02

申请人： Xiesen Yang ,  Yong-Kee Chae ,  Shuran Sheng ,  Liwei Li

发明人： Xiesen Yang ,  Yong-Kee Chae ,  Shuran Sheng ,  Liwei Li

IPC分类号： H01L21/205 ,  H05H1/24

CPC分类号： H01L21/0262 ,  C23C16/24 ,  C23C16/452 ,  C23C16/45512 ,  C23C16/45565 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32449 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02595

摘要： Embodiments of the present invention generally relate to methods of forming a microcrystalline silicon layer on a substrate in a deposition chamber. In, one embodiment, the method includes flowing a processing gas into a diffuser region between a backing plate and a showerhead of the deposition chamber, flowing the processing gas through a plurality of holes in the showerhead and into a process volume between the showerhead and a substrate support in the deposition chamber, igniting a plasma in the process volume, back-flowing gas ions formed in the plasma through the plurality of holes in the showerhead and into the diffuser region, mixing the gas ions and the processing gas in the diffuser region, re-flowing the gas ions and processing gas through the plurality of holes in the showerhead and into the process volume, and depositing a microcrystalline silicon layer on the substrate.

摘要翻译： 本发明的实施方案一般涉及在沉积室中的衬底上形成微晶硅层的方法。 在一个实施例中，该方法包括使处理气体流动到沉积室的背板和喷头之间的扩散器区域中，使处理气体流过喷头中的多个孔并进入喷淋头和喷头之间的处理容积 在沉积室中的基板支撑件，点燃处理体积中的等离子体，在等离子体中形成的回流气体离子通过喷头中的多个孔并进入扩散器区域，将气体离子和处理气体混合在扩散器区域 使气体离子和处理气体再次流过喷头中的多个孔并进入处理体积，并在基底上沉积微晶硅层。

公开(公告)号：US20120107996A1

公开(公告)日：2012-05-03

申请号：US12916526

申请日：2010-10-30

申请人： Shuran Sheng ,  Lin Zhang ,  Zheng Yuan ,  Yong Kee Chae

发明人： Shuran Sheng ,  Lin Zhang ,  Zheng Yuan ,  Yong Kee Chae

IPC分类号： H01L31/18

CPC分类号： H01L31/076 ,  H01L31/022466 ,  H01L31/022483 ,  H01L31/1884 ,  Y02E10/548

摘要： Embodiments of the invention provide methods of a surface treatment process performing on a transparent conductive oxide layer used in solar cell devices. In one embodiment, a method of performing a surface treatment process includes providing a substrate having a transparent conductive oxide layer disposed thereon in a processing chamber, supplying a gas mixture including an oxygen containing gas into the processing chamber, and performing a surface treatment process using the gas mixture on the surface of the transparent conductive oxide layer.

摘要翻译： 本发明的实施方案提供了在用于太阳能电池器件的透明导电氧化物层上进行表面处理工艺的方法。 在一个实施例中，执行表面处理工艺的方法包括提供在处理室中设置有透明导电氧化物层的衬底，将包含含氧气体的气体混合物供应到处理室中，并且使用 在透明导电氧化物层的表面上的气体混合物。

公开(公告)号：US20110232753A1

公开(公告)日：2011-09-29

申请号：US12729777

申请日：2010-03-23

申请人： Shuran Sheng ,  Yong Kee Chae

发明人： Shuran Sheng ,  Yong Kee Chae

IPC分类号： H01L31/0368 ,  H01L31/18

CPC分类号： H01L31/1804 ,  H01L31/03685 ,  H01L31/03687 ,  H01L31/03921 ,  H01L31/075 ,  H01L31/076 ,  H01L31/1812 ,  H01L31/1824 ,  H01L31/1872 ,  H01L31/202 ,  Y02E10/545 ,  Y02E10/547 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

摘要： A method and apparatus for making solar cell active layers is provided. A doped microcrystalline semiconductor layer is formed with a bandgap-enhancing alloy material at low hydrogen flow rates. Deposition conditions are established at a low flowrate of the semiconductor source and ramped to a high flowrate as a first sublayer is deposited. The bandgap-enhancing alloy material is added to the reaction mixture to deposit a second sublayer. The bandgap-enhancing alloy material may optionally be stopped to deposit a third sublayer.

摘要翻译： 提供了制造太阳能电池活性层的方法和装置。 掺杂微晶半导体层在低氢流速下由带隙增强合金材料形成。 在半导体源的低流量下建立沉积条件，并且随着沉积第一子层而倾斜到高流量。 将带隙增强合金材料加入到反应混合物中以沉积第二子层。 带隙增强合金材料可以可选地停止以沉积第三子层。

公开(公告)号：US20110177648A1

公开(公告)日：2011-07-21

申请号：US12980132

申请日：2010-12-28

申请人： David Tanner ,  Hien-Minh Huu Le ,  Quancheng (Tommy) Gu ,  Shuran Sheng ,  Yong Kee Chae ,  Tzay-Fa (Jeff) Su ,  Dapeng Wang

发明人： David Tanner ,  Hien-Minh Huu Le ,  Quancheng (Tommy) Gu ,  Shuran Sheng ,  Yong Kee Chae ,  Tzay-Fa (Jeff) Su ,  Dapeng Wang

IPC分类号： H01L31/0352

CPC分类号： H01L31/022466 ,  H01L21/67236 ,  H01L21/67736 ,  H01L31/02168 ,  H01L31/03921 ,  H01L31/056 ,  H01L31/075 ,  H01L31/076 ,  H01L31/202 ,  Y02E10/52 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

摘要： A method and apparatus for forming solar cells is provided. In one embodiment, a photovoltaic device includes a antireflection coating layer disposed on a first surface of a substrate, a barrier layer disposed on a second surface of the substrate, a first transparent conductive oxide layer disposed on the barrier layer, a conductive contact layer disposed on the first transparent conductive oxide layer, a first p-i-n junction formed on the conductive contact layer, and a second transparent conductive oxide layer formed on the first p-i-n junction.

摘要翻译： 提供一种用于形成太阳能电池的方法和装置。 在一个实施例中，光伏器件包括设置在衬底的第一表面上的抗反射涂层，设置在衬底的第二表面上的阻挡层，设置在阻挡层上的第一透明导电氧化物层，设置在导电接触层 在第一透明导电氧化物层上形成在导电接触层上的第一pin结，以及形成在第一pin结上的第二透明导电氧化物层。

公开(公告)号：US20100047954A1

公开(公告)日：2010-02-25

申请号：US12548273

申请日：2009-08-26

申请人： Tzay-Fa (Jeff) Su ,  Hien-Minh Huu Le ,  Fang Mei ,  Yong-kee Chae ,  Michel R. Frei ,  Asaf Schlezinger ,  Shuran Sheng ,  Jeffrey S. Sullivan ,  David Tanner

发明人： Tzay-Fa (Jeff) Su ,  Hien-Minh Huu Le ,  Fang Mei ,  Yong-kee Chae ,  Michel R. Frei ,  Asaf Schlezinger ,  Shuran Sheng ,  Jeffrey S. Sullivan ,  David Tanner

IPC分类号： H01L31/18

CPC分类号： B26F3/002 ,  B23K26/364 ,  B23K26/40 ,  B23K2103/172 ,  B26F3/004 ,  B65G49/064 ,  B65G49/068 ,  B65G2249/02 ,  C03B33/0222 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/67236 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/6776 ,  H01L21/681 ,  H01L31/02008 ,  H01L31/075 ,  H01L31/076 ,  H01L31/1876 ,  Y02E10/548 ,  Y02P40/57 ,  Y02P70/521

摘要： The present invention generally relates to a system that can be used to form a photovoltaic device, or solar cell, using processing modules that are adapted to perform one or more steps in the solar cell formation process. The automated solar cell fab is generally an arrangement of automated processing modules and automation equipment that is used to form solar cell devices. The automated solar fab will thus generally comprise a substrate receiving module that is adapted to receive a substrate, one or more absorbing layer deposition cluster tools having at least one processing chamber that is adapted to deposit a silicon-containing layer on a surface of the substrate, one or more back contact deposition chambers, one or more material removal chambers, a solar cell encapsulation device, an autoclave module, an automated junction box attaching module, and one or more quality assurance modules that are adapted to test and qualify the completely formed solar cell device.

摘要翻译： 本发明一般涉及一种可用于形成光伏器件或太阳能电池的系统，该系统使用适于在太阳能电池形成过程中执行一个或多个步骤的处理模块。 自动化太阳能电池制造厂通常是用于形成太阳能电池器件的自动化处理模块和自动化设备的布置。 因此，自动化太阳能工厂将通常包括适于接收衬底的衬底接收模块，一个或多个吸收层沉积簇工具，其具有至少一个适于在衬底的表面上沉积含硅层的处理室 ，一个或多个背接触沉积室，一个或多个材料去除室，太阳能电池封装装置，高压釜模块，自动接线盒附接模块和一个或多个质量保证模块，其适于测试和限定完全形成 太阳能电池装置。

公开(公告)号：US20110120536A1

公开(公告)日：2011-05-26

申请号：US12623277

申请日：2009-11-20

申请人： DAPENG WANG ,  Shuran Sheng ,  Yong-Kee Chae

发明人： DAPENG WANG ,  Shuran Sheng ,  Yong-Kee Chae

IPC分类号： H01L31/0236 ,  H01L31/18

CPC分类号： H01L31/075 ,  H01L31/02165 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/02366 ,  H01L31/056 ,  H01L31/1816 ,  H01L31/202 ,  Y02E10/52 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

摘要： A method and apparatus for forming a roughened wavelength selective reflector layer are provided. In one embodiment, a method of forming a solar cell device includes forming a wavelength selective reflector layer between a first p-i-n junction and a second p-i-n junction formed on a substrate, and performing a post treatment process on the wavelength selective reflector layer to form the uneven surface with the roughness greater than 20 nm. In another embodiment, a photovoltaic device includes a wavelength selective reflector layer disposed between a first p-i-n junction and a second p-i-n junction formed on a substrate, wherein the wavelength selective reflector layer has an uneven surface having a surface roughness greater than 20 nm.

摘要翻译： 提供了形成粗糙波长选择反射层的方法和装置。 在一个实施例中，形成太阳能电池器件的方法包括在形成在衬底上的第一pin结和第二pin结之间形成波长选择性反射层，并对波长选择反射层进行后处理，以形成不均匀的 表面粗糙度大于20nm。 在另一个实施例中，光伏器件包括设置在形成在衬底上的第一p-i-n结和第二p-i-n结之间的波长选择反射层，其中波长选择反射层具有表面粗糙度大于20nm的不平坦表面。

公开(公告)号：US20100258169A1

公开(公告)日：2010-10-14

申请号：US12422551

申请日：2009-04-13

申请人： Shuran Sheng ,  Yong Kee Chae

发明人： Shuran Sheng ,  Yong Kee Chae

IPC分类号： H01L31/00 ,  H01L21/20

CPC分类号： H01L21/02532 ,  H01L21/02576 ,  H01L21/02579 ,  H01L21/02595 ,  H01L21/0262 ,  H01L31/076 ,  H01L31/077 ,  H01L31/1824 ,  Y02E10/545 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

摘要： A method for an intrinsic type microcrystalline silicon layer is provided. In one embodiment, the microcrystalline silicon layer is fabricated by providing a substrate into a processing chamber, supplying a gas mixture into the processing chamber, applying a RF power at a first mode in the gas mixture, pulsing the gas mixture into the processing chamber, and applying the RF power at a second mode in the pulsed gas mixture.

摘要翻译： 提供本征型微晶硅层的方法。 在一个实施例中，微晶硅层通过将衬底提供到处理室中，将气体混合物供应到处理室中，在气体混合物中以第一模式施加RF功率，将气体混合物脉冲到处理室中， 以及在脉冲气体混合物中以第二模式施加RF功率。

公开(公告)号：US08252624B2

公开(公告)日：2012-08-28

申请号：US12980132

申请日：2010-12-28

申请人： David Tanner ,  Hien-Minh Huu Le ,  Quancheng (Tommy) Gu ,  Shuran Sheng ,  Yong Kee Chae ,  Tzay-Fa (Jeff) Su ,  Dapeng Wang

发明人： David Tanner ,  Hien-Minh Huu Le ,  Quancheng (Tommy) Gu ,  Shuran Sheng ,  Yong Kee Chae ,  Tzay-Fa (Jeff) Su ,  Dapeng Wang

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： H01L31/022466 ,  H01L21/67236 ,  H01L21/67736 ,  H01L31/02168 ,  H01L31/03921 ,  H01L31/056 ,  H01L31/075 ,  H01L31/076 ,  H01L31/202 ,  Y02E10/52 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

摘要： A method and apparatus for forming solar cells is provided. In one embodiment, a photovoltaic device includes a antireflection coating layer disposed on a first surface of a substrate, a barrier layer disposed on a second surface of the substrate, a first transparent conductive oxide layer disposed on the barrier layer, a conductive contact layer disposed on the first transparent conductive oxide layer, a first p-i-n junction formed on the conductive contact layer, and a second transparent conductive oxide layer formed on the first p-i-n junction.

摘要翻译： 提供一种用于形成太阳能电池的方法和装置。 在一个实施例中，光伏器件包括设置在衬底的第一表面上的抗反射涂层，设置在衬底的第二表面上的阻挡层，设置在阻挡层上的第一透明导电氧化物层，设置在导电接触层 在第一透明导电氧化物层上形成在导电接触层上的第一pin结，以及形成在第一pin结上的第二透明导电氧化物层。

公开(公告)号：US20110088760A1

公开(公告)日：2011-04-21

申请号：US12582323

申请日：2009-10-20

申请人： Shuran Sheng ,  Yong-Kee Chae

发明人： Shuran Sheng ,  Yong-Kee Chae

IPC分类号： H01L31/00 ,  H01L31/18

CPC分类号： H01L21/02532 ,  H01L21/0237 ,  H01L21/02447 ,  H01L21/0245 ,  H01L21/02502 ,  H01L21/02513 ,  H01L21/02576 ,  H01L21/02579 ,  H01L21/02592 ,  H01L21/0262 ,  H01L31/075 ,  H01L31/076 ,  H01L31/202 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

摘要： A photovoltaic device and methods for forming an amorphous silicon layer for use in a photovoltaic device are provided. In one embodiment, a photovoltaic device includes a p-type amorphous silicon layer formed on a substrate, a barrier layer formed on the p-type amorphous silicon layer, and an intrinsic type amorphous silicon layer formed on the barrier layer. The barrier layer is a carbon doped amorphous silicon layer.

摘要翻译： 提供一种用于形成用于光伏器件的非晶硅层的光电器件和方法。 在一个实施例中，光伏器件包括形成在衬底上的p型非晶硅层，形成在p型非晶硅层上的势垒层和形成在阻挡层上的本征型非晶硅层。 阻挡层是碳掺杂非晶硅层。

公开(公告)号：US08895842B2

公开(公告)日：2014-11-25

申请号：US12481175

申请日：2009-06-09

申请人： Shuran Sheng ,  Yong Kee Chae ,  Stefan Klein ,  Amir Al-Bayati ,  Bhaskar Kumar

发明人： Shuran Sheng ,  Yong Kee Chae ,  Stefan Klein ,  Amir Al-Bayati ,  Bhaskar Kumar

IPC分类号： H01L31/00 ,  H01L21/00 ,  H01L31/20 ,  H01L31/076 ,  H01L31/0224 ,  C23C16/24 ,  H01L31/18

CPC分类号： H01L31/076 ,  C23C16/24 ,  H01L31/022466 ,  H01L31/022483 ,  H01L31/1824 ,  H01L31/202 ,  Y02E10/545 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

摘要： A method and apparatus for forming solar cells is provided. In one embodiment, a photovoltaic device includes a first TCO layer disposed on a substrate, a second TCO layer disposed on the first TCO layer, and a p-type silicon containing layer formed on the second TCO layer. In another embodiment, a method of forming a photovoltaic device includes forming a first TCO layer on a substrate, forming a second TCO layer on the first TCO layer, and forming a first p-i-n junction on the second TCO layer.

摘要翻译： 提供一种用于形成太阳能电池的方法和装置。 在一个实施例中，光伏器件包括设置在衬底上的第一TCO层，设置在第一TCO层上的第二TCO层和形成在第二TCO层上的p型含硅层。 在另一个实施例中，形成光伏器件的方法包括在衬底上形成第一TCO层，在第一TCO层上形成第二TCO层，以及在第二TCO层上形成第一p-i-n结。