公开(公告)号：US09471092B2

公开(公告)日：2016-10-18

申请号：US13758929

申请日：2013-02-04

申请人： mCube, Incorporated

发明人： Andy Milota ,  Jobe Price

IPC分类号： G06F1/12

CPC分类号： G06F1/12 ,  G06F1/14 ,  H04W52/029 ,  H04W56/001 ,  Y02D70/00 ,  Y02D70/122 ,  Y02D70/1246 ,  Y02D70/142 ,  Y02D70/144 ,  Y02D70/146 ,  Y02D70/162 ,  Y02D70/164 ,  Y02D70/166

摘要： A method is provided for time synchronization in a MEMS (MicroElectroMechanical system) based system having a MEMS processor and a plurality of MEMS devices. In a specific embodiment, the method includes, in the MEMS processor, transmitting a synchronization signal to the plurality of MEMS devices and saving a local time upon transmitting the synchronization signal. The MEMS processor also receives sampled data and time information from the plurality of MEMS devices, when the data and information become available. The method also includes, in one or more of the MEMS devices, receiving the synchronization signal from the MEMS processor and storing a local time upon receiving the synchronization signal. The MEMS device also performs a sensing operation and stores sampled sense data and sense time information.

摘要翻译： 在具有MEMS处理器和多个MEMS器件的基于MEMS（微电子机械系统）的系统中提供了一种用于时间同步的方法。 在具体实施例中，该方法包括在MEMS处理器中向多个MEMS器件发送同步信号，并且在发送同步信号时节省本地时间。 当数据和信息变得可用时，MEMS处理器还从多个MEMS装置接收采样数据和时间信息。 该方法还包括在一个或多个MEMS器件中，从MEMS处理器接收同步信号并且在接收到同步信号时存储本地时间。 MEMS器件还执行感测操作并存储采样的感测数据和感测时间信息。

公开(公告)号：US09379733B1

公开(公告)日：2016-06-28

申请号：US14794722

申请日：2015-07-08

申请人： mCube, Inc.

发明人： Te-Hsi Terrence Lee

IPC分类号： H03M3/00 ,  H03H9/24 ,  G01C19/5776

CPC分类号： H03M3/30 ,  G01C19/5776 ,  G01P15/097 ,  H03H9/2426

摘要： A Synchronous Modulation Resonator (SMR) device, the device includes a resonator having coupled to a Vd source and a Vr source, wherein the Vd is DC biased, wherein the Vr is AC, wherein the resonator provides a resonator output in response to Vd and Vr, a Sigma Delta Modulator (SDM) coupled to the resonator and to the Vr source, wherein the SDM provides a signal output in response to the resonator output and to the Vr, and a digital output block coupled to the SDM, wherein the digital output block is configured to provide a digital signal representation of the resonator output, in response to the signal output.

摘要翻译： 一种同步调制谐振器（SMR）器件，该器件包括耦合到Vd源和Vr源的谐振器，其中Vd是DC偏置的，其中Vr是AC，其中谐振器提供响应于Vd的谐振器输出和 Vr，耦合到谐振器和Vr源的Sigma Delta调制器（SDM），其中SDM响应于谐振器输出和Vr而提供信号输出，以及耦合到SDM的数字输出块，其中数字 输出块被配置为响应于信号输出提供谐振器输出的数字信号表示。

公开(公告)号：US09249012B2

公开(公告)日：2016-02-02

申请号：US14521441

申请日：2014-10-22

申请人： mCube Inc.

发明人： Te-Hsi “Terrence” Lee

IPC分类号： H01L21/30 ,  B81C1/00 ,  B81C99/00

CPC分类号： B81B7/0041 ,  B81B7/02 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81C1/00198 ,  B81C1/00269 ,  B81C1/00293 ,  B81C99/004

摘要： A method for fabricating an integrated MEMS device and the resulting structure therefore. A control process monitor comprising a MEMS membrane cover can be provided within an integrated CMOS-MEMS package to monitor package leaking or outgassing. The MEMS membrane cover can separate an upper cavity region subject to leaking from a lower cavity subject to outgassing. Differential changes in pressure between these cavities can be detecting by monitoring the deflection of the membrane cover via a plurality of displacement sensors. An integrated MEMS device can be fabricated with a first and second MEMS device configured with a first and second MEMS cavity, respectively. The separate cavities can be formed via etching a capping structure to configure each cavity with a separate cavity volume. By utilizing an outgassing characteristic of a CMOS layer within the integrated MEMS device, the first and second MEMS cavities can be configured with different cavity pressures.

摘要翻译： 因此，制造集成MEMS器件的方法及其结果。 可以在集成的CMOS-MEMS封装内提供包括MEMS膜覆盖物的控制过程监视器，以监测封装泄漏或除气。 MEMS膜罩可以分隔上部空腔区域，以使其经受脱气的下腔体泄漏。 可以通过经由多个位移传感器监测膜盖的挠曲来检测这些空腔之间的压差的差异变化。 可以分别用配置有第一和第二MEMS腔的第一和第二MEMS器件来制造集成的MEMS器件。 可以通过蚀刻封盖结构来形成单独的空腔，以使每个空腔具有单独的空腔体积。 通过利用集成MEMS器件内的CMOS层的除气特性，第一和第二MEMS空腔可被配置为具有不同的腔压力。

公开(公告)号：US20150270180A1

公开(公告)日：2015-09-24

申请号：US14218633

申请日：2014-03-18

申请人： XIAO (CHARLES) YANG

发明人： XIAO (CHARLES) YANG

IPC分类号： H01L21/8238 ,  H01L29/04

CPC分类号： H01L21/823878 ,  A61B5/14514 ,  B81B2201/025 ,  B81B2201/055 ,  B81C1/00246 ,  G01L9/0042 ,  G01L9/0054 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  H01L21/76254 ,  H01L21/8221 ,  H01L25/0657 ,  H01L27/0688 ,  H01L29/045 ,  H01L2924/0002 ,  H03H3/0073 ,  H01L2924/00

摘要： A method for fabricating a three-dimensional integrated circuit device includes providing a first substrate having a first crystal orientation, forming at least one or more PMOS devices overlying the first substrate, and forming a first dielectric layer overlying the one or more PMOS devices. The method also includes providing a second substrate having a second crystal orientation, forming at least one or more NMOS devices overlying the second substrate, and forming a second dielectric layer overlying the one or more NMOS devices. The method further includes coupling the first dielectric layer to the second dielectric layer to form a hybrid structure including the first substrate overlying the second substrate.

摘要翻译： 一种制造三维集成电路器件的方法包括提供具有第一晶体取向的第一衬底，形成覆盖在第一衬底上的至少一个或多个PMOS器件，以及形成覆盖该一个或多个PMOS器件的第一介电层。 该方法还包括提供具有第二晶体取向的第二衬底，形成覆盖第二衬底的至少一个或多个NMOS器件，以及形成覆盖该一个或多个NMOS器件的第二电介质层。 该方法还包括将第一电介质层耦合到第二电介质层以形成包括覆盖在第二衬底上的第一衬底的混合结构。

公开(公告)号：US20150268025A1

公开(公告)日：2015-09-24

申请号：US14194468

申请日：2014-02-28

申请人： mCube Inc.

发明人： KEVIN HUANG ,  Chenglong Fu ,  Tan Liang

IPC分类号： G01B5/004 ,  G01P15/00 ,  G01C19/00 ,  H04M1/02 ,  H04M1/725

CPC分类号： G01P15/00 ,  G01P15/18 ,  G06F3/017 ,  G06F3/0346 ,  H04M1/72569 ,  H04M2250/22

摘要： A portable proximity device and method of operation thereof. The method for proximity detection implemented on a portable device can include determining an initial perturbation data, a tracking point data, and a stable position data with a physical sensor of the portable device. The initial perturbation data can include previous state data and current state data. The tracking point data can include one or more track data. An action to be performed can be determined, by a processor within the portable device, based on the initial perturbation data, the tracking point data, and the stable position data. The portable proximity device can include a physical sensor and a processor configured to perform these steps.

摘要翻译： 便携式接近装置及其操作方法。 在便携式设备上实现的用于接近检测的方法可以包括利用便携式设备的物理传感器确定初始扰动数据，跟踪点数据和稳定位置数据。 初始扰动数据可以包括先前的状态数据和当前状态数据。 跟踪点数据可以包括一个或多个轨道数据。 可以由便携式设备内的处理器基于初始扰动数据，跟踪点数据和稳定位置数据来确定要执行的动作。 便携式接近装置可以包括物理传感器和被配置为执行这些步骤的处理器。

公开(公告)号：US09075079B2

公开(公告)日：2015-07-07

申请号：US14297337

申请日：2014-06-05

申请人： mCube Inc.

发明人： Shingo Yoneoka ,  Sudheer Sridharamurthy ,  Wenhua Zhang ,  Te-Hsi Terrence Lee

IPC分类号： G01P15/13 ,  G01C19/5762 ,  G01C19/5719 ,  G01P15/125 ,  G01P15/08 ,  G01C19/5712

CPC分类号： G01P15/131 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5719 ,  G01C19/5762 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/084 ,  G01P2015/0865

摘要： An integrated MEMS inertial sensor device. The device includes a MEMS inertial sensor overlying a CMOS substrate. The MEMS inertial sensor includes a drive frame coupled to the surface region via at least one drive spring, a sense mass coupled to the drive frame via at least a sense spring, and a sense electrode disposed underlying the sense mass. The device also includes at least one pair of quadrature cancellation electrodes disposed within a vicinity of the sense electrode, wherein each pair includes an N-electrode and a P-electrode.

摘要翻译： 集成的MEMS惯性传感器装置。 该器件包括覆盖CMOS衬底的MEMS惯性传感器。 MEMS惯性传感器包括经由至少一个驱动弹簧耦合到表面区域的驱动框架，经由至少一个感测弹簧耦合到驱动框架的感测质量块和设置在感测质量块下方的感测电极。 该装置还包括设置在感测电极附近的至少一对正交消除电极，其中每对包括N电极和P电极。

公开(公告)号：US09052203B2

公开(公告)日：2015-06-09

申请号：US13837411

申请日：2013-03-15

申请人： mCube, Incorporated

发明人： Joseph M. Kelly

IPC分类号： G01C21/18 ,  G01C21/16 ,  G01C21/20 ,  G01C21/08

CPC分类号： G01C21/18 ,  G01C21/08 ,  G01C21/165 ,  G01C21/206

摘要： A method for determining a user bearing, implemented on a portable device programmed to perform the method includes determining with a physical sensor of the portable device, a first geometric orientation of the portable device with respect to gravity at a first time, determining with a magnetic sensor of the portable device, a first sensed magnetic field of the portable device in response to an external magnetic field at the first time, determining with the magnetic sensor of the portable device, a second sensed magnetic field of the portable device in response to the external magnetic field at the second time, and determining with the portable device a bearing of the portable device at the second time in response to the first geometric orientation, the first sensed magnetic field, and the second sensed magnetic field.

摘要翻译： 一种用于确定用户承载的方法，其在被编程为执行所述方法的便携式设备上实现包括使用所述便携式设备的物理传感器确定所述便携式设备在第一时间相对于重力的第一几何取向， 便携式设备的传感器，响应于第一时间的外部磁场的便携式设备的第一感测磁场，利用便携式设备的磁性传感器确定便携式设备的响应于第二感测的磁场 外部磁场，以及响应于所述第一几何取向，所述第一感测磁场和所述第二感测磁场，在所述便携式设备的第二时间确定所述便携式设备的方位。

公开(公告)号：US08936959B1

公开(公告)日：2015-01-20

申请号：US13035969

申请日：2011-02-26

申请人： Xiao (Charles) Yang

发明人： Xiao (Charles) Yang

IPC分类号： B81C1/00

CPC分类号： B81C1/00238 ,  B81C2203/0792

摘要： An rf MEMS system has a semiconductor substrate, e.g., silicon. The system also has a control module provided overlying one or more first regions of the semiconductor substrate according to a specific embodiment. The system also has a base band module provided overlying one or more second regions of the semiconductor substrate and an rf module provided overlying one or more third regions of the semiconductor substrate. The system also has one or more MEMS devices integrally coupled to at least the rf module.

摘要翻译： RF系统具有半导体衬底，例如硅。 根据具体实施例，该系统还具有覆盖半导体衬底的一个或多个第一区域的控制模块。 该系统还具有覆盖半导体衬底的一个或多个第二区域的基带模块和设置在半导体衬底的一个或多个第三区域上的RF模块。 该系统还具有与至少rf模块整体耦合的一个或多个MEMS装置。

公开(公告)号：US08869616B1

公开(公告)日：2014-10-28

申请号：US13163672

申请日：2011-06-18

申请人： Sudheer Sridharamurthy ,  Xiao “Charles” Yang

发明人： Sudheer Sridharamurthy ,  Xiao “Charles” Yang

IPC分类号： G01P15/08 ,  G01P15/12 ,  G01P15/02

CPC分类号： G01P15/08 ,  G01C19/5747 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/0825

摘要： A method and structure for fabricating an inertial sensing device using tilt conversion to sense a force in the out-of-plane direction. The method can include forming anchor structure(s) coupled to portions of a surface region of a substrate member. Also, the method can include forming flexible anchor members coupled to portions of the anchor structures and frame structures, which can be formed overlying the substrate. The method can also include forming flexible frame members coupled to portions of the frame structures and movable structures, which can also be formed overlying the substrate. Forming the movable structures can include forming peripheral and central movable structures, which can be coupled to flexible structure members. Peripheral movable structures having flexible tilting members can convert a pure tilting out-of-plane motion to a pure translational out-of-plane motion. The forming of these elements can include performing an etching process on a single silicon material.

摘要翻译： 用于制造使用倾斜转换来感测在平面外方向上的力的惯性感测装置的方法和结构。 该方法可以包括形成连接到衬底构件的表面区域的部分的锚结构。 而且，该方法可以包括形成耦合到可以形成在衬底上的锚结构和框架结构的部分的柔性锚定构件。 该方法还可以包括形成耦合到框架结构和可移动结构的部分的柔性框架构件，其也可以形成在衬底上。 形成可移动结构可以包括形成可耦合到柔性结构构件的周边和中心可移动结构。 具有柔性倾斜构件的外围可移动结构可以将纯粹的倾斜的平面外运动转换成纯平移的平面外运动。 这些元件的形成可以包括对单个硅材料进行蚀刻处理。

公开(公告)号：US08823007B2

公开(公告)日：2014-09-02

申请号：US12913440

申请日：2010-10-27

申请人： Xiao “Charles” Yang

发明人： Xiao “Charles” Yang

IPC分类号： H01L29/76

CPC分类号： B81C1/00246 ,  B81B2207/015 ,  B81C1/00396 ,  B81C1/00626 ,  B81C2201/0198 ,  B81C2203/0136

摘要： An integrated MEMS System. CMOS and MEMS devices can be provided in order to form an integrated CMOS-MEMS system. The system can include a silicon substrate layer, a CMOS layer, MEMS and CMOS devices, and a wafer level packaging (WLP) layer. The CMOS layer can form an interface region, one which any number of CMOS MEMS devices can be configured. The integrated MEMS devices can include, but not exclusively, an combination of the following types of sensors: magnetic, pressure, humidity, temperature, chemical, biological, or inertial. Furthermore, the overlying WLP layer can be configured to hermetically seal any number of these integrated devices. The present technique provides an easy to use process that relies upon conventional process technology without substantial modifications to conventional equipment and process and reduces off-chip connections, which make the mass production of smaller and thinner units possible.

摘要翻译： 集成MEMS系统。 可以提供CMOS和MEMS器件以形成集成的CMOS-MEMS系统。 该系统可以包括硅衬底层，CMOS层，MEMS和CMOS器件以及晶片级封装（WLP）层。 CMOS层可以形成接口区域，可以配置任何数量的CMOS MEMS器件。 集成MEMS器件可以包括但不限于以下类型的传感器的组合：磁性，压力，湿度，温度，化学，生物或惯性。 此外，覆盖的WLP层可以被配置为密封任何数量的这些集成设备。 本技术提供了一种易于使用的方法，其依赖于常规工艺技术，而无需对常规设备和工艺进行实质性修改，并且减少了片外连接，这使得可以大量生产更小和更薄的单元。