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    METHOD OF DEPOSITING RARE EARTH OXIDE THIN FILMS
    1.
    发明申请
    METHOD OF DEPOSITING RARE EARTH OXIDE THIN FILMS 有权
    沉积稀土氧化物薄膜的方法

    公开(公告)号：US20090035949A1

    公开(公告)日：2009-02-05

    申请号：US11024515

    申请日：2004-12-28

    申请人： Jaakko Niinisto ,  Matti Putkonen ,  Mikko Ritala ,  Petri Raisanen ,  Antti Niskanen ,  Markku Leskela

    发明人： Jaakko Niinisto ,  Matti Putkonen ,  Mikko Ritala ,  Petri Raisanen ,  Antti Niskanen ,  Markku Leskela

    IPC分类号： H01L21/44

    CPC分类号： C23C16/45553 ,  C23C16/40 ,  C23C16/405

    摘要： The present invention concerns a process for depositing rare earth oxide thin films, especially yttrium, lanthanum and gadolinium oxide thin films by an ALD process, according to which invention the source chemicals are cyclopentadienyl compounds or rare earth metals, especially those of yttrium, lanthanum and gadolinium. Suitable deposition temperatures for yttrium oxide are between 200 and 400° C. when the deposition pressure is between 1 and 50 mbar. Most suitable deposition temperatures for lanthanum oxide are between 160 and 165° C. when the deposition pressure is between 1 and 50 mbar.

    摘要翻译： 本发明涉及通过ALD方法沉积稀土氧化物薄膜，特别是钇，镧和氧化钆薄膜的方法，根据该方法，源化学品是环戊二烯基化合物或稀土金属，特别是钇，镧和 钆。 当沉积压力为1至50毫巴时，氧化钇的合适沉积温度为200至400℃。 当沉积压力在1至50毫巴之间时，氧化镧最合适的沉积温度为160至165℃。

    Method of depositing rare earth oxide thin films
    2.
    发明授权
    Method of depositing rare earth oxide thin films 有权
    沉积稀土氧化物薄膜的方法

    公开(公告)号：US07498272B2

    公开(公告)日：2009-03-03

    申请号：US11024515

    申请日：2004-12-28

    申请人： Jaakko Niinistö ,  Matti Putkonen ,  Mikko Ritala ,  Petri Räisänen ,  Antti Niskanen ,  Markku Leskelä

    发明人： Jaakko Niinistö ,  Matti Putkonen ,  Mikko Ritala ,  Petri Räisänen ,  Antti Niskanen ,  Markku Leskelä

    IPC分类号： H01L21/44

    CPC分类号： C23C16/45553 ,  C23C16/40 ,  C23C16/405

    摘要： The present invention concerns a process for depositing rare earth oxide thin films, especially yttrium, lanthanum and gadolinium oxide thin films by an ALD process, according to which invention the source chemicals are cyclopentadienyl compounds or rare earth metals, especially those of yttrium, lanthanum and gadolinium. Suitable deposition temperatures for yttrium oxide are between 200 and 400° C. when the deposition pressure is between 1 and 50 mbar. Most suitable deposition temperatures for lanthanum oxide are between 160 and 165° C. when the deposition pressure is between 1 and 50 mbar.

    摘要翻译： 本发明涉及通过ALD方法沉积稀土氧化物薄膜，特别是钇，镧和氧化钆薄膜的方法，根据该方法，源化学品是环戊二烯基化合物或稀土金属，特别是钇，镧和 钆。 当沉积压力为1至50毫巴时，氧化钇的合适沉积温度为200至400℃。 当沉积压力在1至50毫巴之间时，氧化镧最合适的沉积温度为160至165℃。

    MULTILAYER COATING, METHOD FOR FABRICATING A MULTILAYER COATING, AND USES FOR THE SAME
    4.
    发明申请
    MULTILAYER COATING, METHOD FOR FABRICATING A MULTILAYER COATING, AND USES FOR THE SAME 审中-公开
    多层涂料，多层涂料的制造方法及其用途

    公开(公告)号：US20120177903A1

    公开(公告)日：2012-07-12

    申请号：US13395942

    申请日：2010-09-13

    申请人： Sami Sneck ,  Nora Isomäki ,  Jarmo Maula ,  Olli Jylhä ,  Matti Putkonen ,  Runar Törnqvist ,  Mikko Söderlund

    发明人： Sami Sneck ,  Nora Isomäki ,  Jarmo Maula ,  Olli Jylhä ,  Matti Putkonen ,  Runar Törnqvist ,  Mikko Söderlund

    IPC分类号： B32B7/02 ,  B32B9/00 ,  B05D1/36 ,  B82Y40/00

    CPC分类号： C23C16/45529 ,  C23C16/403 ,  C23C16/405 ,  C23C28/042 ,  C23C28/42 ,  Y10T428/24975

    摘要： A multilayer coating and a method for fabricating a multilayer coating on a substrate (3). The coating is arranged to minimize diffusion of atoms through the coating, the method comprising the steps of introducing a substrate (3) to a reaction space, depositing a layer of first material (1) on the substrate (3), and depositing a layer of second material (2) on the layer of first material (1). Depositing the layer of first material (1) and the layer of second material (2) comprises alternately introducing precursors into the reaction space and subsequently purging the reaction space after each introduction of a precursor. The first material being selected from the group of titanium oxide and aluminum oxide, the second material being the other from the group of titanium oxide and aluminum oxide. An interfacial region is formed in between titanium oxide and aluminum oxide.a.

    摘要翻译： 一种多层涂层和在基板（3）上制造多层涂层的方法。 布置该涂层以最小化原子通过涂层的扩散，该方法包括以下步骤：将基底（3）引入反应空间，在基底（3）上沉积第一材料层（1），并沉积层 在第一材料层（1）上的第二材料（2）。 沉积第一材料层（1）和第二材料层（2）的层包括将前体交替地引入反应空间中，并在每次引入前体之后随后清洗反应空间。 第一种材料选自氧化钛和氧化铝，第二种材料是氧化钛和氧化铝的另一种材料。 在氧化钛和氧化铝之间形成界面区域。

    Strengthened structural module and method of fabrication
    7.
    发明授权
    Strengthened structural module and method of fabrication 有权
    加强结构模块和制造方法

    公开(公告)号：US08780314B2

    公开(公告)日：2014-07-15

    申请号：US13576590

    申请日：2011-01-31

    申请人： Olli Jylhä ,  Matti Putkonen ,  Arto Pakkala

    发明人： Olli Jylhä ,  Matti Putkonen ,  Arto Pakkala

    IPC分类号： G02F1/1333

    CPC分类号： C23C16/45555 ,  C03C17/245 ,  C03C27/10 ,  C03C2217/214 ,  G02F1/133308 ,  G02F1/1339 ,  G02F2001/133311 ,  G02F2201/503

    摘要： A strengthened structural module (2) and a method for fabricating a strengthened structural module (2). The module comprises an essentially planar glass substrate (1), an essentially planar second substrate (3), and at least one spacer element (5) in between the glass substrate (1) and the second substrate (3). The at least one spacer element (5) keeps the glass substrate (1) and the second substrate (3) separated from each other from the edges of the two substrates and defines a space (7) in between the two substrates in the inside of the module. The module comprises a coating (9) surrounding the module around the outside of the module. The coating (9) is arranged conformally on the surfaces facing the outside of the module, for increasing the strength of the module.

    摘要翻译： 一种加强结构模块（2）和一种加强结构模块（2）的制造方法。 该模块包括基本上平面的玻璃基板（1），基本上平面的第二基板（3）和在玻璃基板（1）和第二基板（3）之间的至少一个间隔元件（5）。 所述至少一个间隔元件（5）使玻璃基板（1）和第二基板（3）彼此从两个基板的边缘分离开，并且在两个基板之间的内侧限定了空间（7） 模块。 模块包括围绕模块外部的模块的涂层（9）。 涂层（9）保形地布置在面向模块外部的表面上，以增加模块的强度。

    METHOD FOR INCREASING THE DURABILITY OF GLASS AND A GLASS PRODUCT
    9.
    发明申请
    METHOD FOR INCREASING THE DURABILITY OF GLASS AND A GLASS PRODUCT 有权
    增加玻璃和玻璃制品耐久性的方法

    公开(公告)号：US20110111175A1

    公开(公告)日：2011-05-12

    申请号：US12746107

    申请日：2008-12-01

    申请人： Markku Rajala ,  Matti Putkonen

    发明人： Markku Rajala ,  Matti Putkonen

    IPC分类号： C03C17/22 ,  B32B17/06 ,  B05D3/10

    CPC分类号： C23C16/45525 ,  C03C17/225 ,  C03C17/245 ,  C03C17/2456 ,  C03C17/3411 ,  C03C2217/21 ,  C03C2217/214 ,  C03C2217/281 ,  C03C2218/15 ,  C23C16/403 ,  Y10T428/24471

    摘要： A method for increasing the durability of glass (1) by a coating, according to the present invention comprises the step of coating glass (1) with a coating comprising at least one layer (4, 5, 6) whose thickness is below 5 nanometres, wherein the coating comprises a compound of at least one element. A glass product comprising a coating, according to the present invention is fabricated by coating glass (1) with a coating comprising at least one layer (4, 5, 6) whose thickness is below 5 nanometres. A glass product comprising a coating, according to the present invention comprises surface scratches (2) with a width at the level of the glass (1) surface of below 50 nanometres, the coating residing essentially conformally on the inside of the surface scratches (2) to increase the durability of the glass (1).

    摘要翻译： 根据本发明的通过涂层提高玻璃（1）的耐久性的方法包括用包含至少一层厚度低于5纳米的层（4,5,6）的涂层来涂覆玻璃（1）的步骤 ，其中所述涂层包含至少一种元素的化合物。 根据本发明的包含涂层的玻璃制品通过用包括至少一层厚度低于5纳米的层（4,5,6）的涂层来涂覆玻璃（1）来制造。 根据本发明的包含涂层的玻璃产品包括在玻璃（1）表面的宽度处于50纳米以下的表面划痕（2），所述涂层基本上保形地位于表面划痕（2）的内侧 ）以增加玻璃（1）的耐久性。