公开(公告)号：US06177148B1

公开(公告)日：2001-01-23

申请号：US09254061

申请日：1999-05-10

申请人： Marten Walther ,  Wolfgang Möhl ,  Burkhard Danielzik ,  Markus Kuhr ,  Roland Hochhaus ,  Hartmut Bauch ,  Martin Heming ,  Thomas K{umlaut over (u)}pper ,  Lars Bewig

发明人： Marten Walther ,  Wolfgang Möhl ,  Burkhard Danielzik ,  Markus Kuhr ,  Roland Hochhaus ,  Hartmut Bauch ,  Martin Heming ,  Thomas K{umlaut over (u)}pper ,  Lars Bewig

IPC分类号： H05H146

CPC分类号： H01J37/32192 ,  C23C16/402 ,  C23C16/511 ,  C23C16/545

摘要： The invention concerns a plasma CVD system (in particular a plasma pulse CVD system) with an array of microwave antennas. According to the invention, in order to improve the homogeneity of the layer, interference is prevented by controlling adjacent antennas in a chronologically offset manner. To that end, microcapsules are provided within the macrocapsules of the plasma pulse CVD process. Additionally, the uniformity of the layer deposition at the interfaces between adjacent modules can be optimized by radio-frequency excitation by means of suitable electrodes, magnetic fields or the configuration of the gas inlets. The surface coated in an operating cycle can thus be scaled as required.

摘要翻译： 本发明涉及具有微波天线阵列的等离子体CVD系统（特别是等离子体脉冲CVD系统）。 根据本发明，为了提高层的均匀性，通过按时间顺序偏移的方式控制相邻的天线来防止干扰。 为此，在等离子体脉冲CVD工艺的大囊中提供微胶囊。 另外，可以通过适当的电极，磁场或气体入口的配置通过射频激发来优化相邻模块之间的界面处的层沉积的均匀性。 因此可以根据需要调整在操作循环中涂覆的表面。

公开(公告)号：US6123991A

公开(公告)日：2000-09-26

申请号：US205164

申请日：1998-12-04

申请人： Michael Spallek ,  Marten Walther ,  Burkhard Danielzik ,  Markus Kuhr

发明人： Michael Spallek ,  Marten Walther ,  Burkhard Danielzik ,  Markus Kuhr

IPC分类号： A61M5/31 ,  A61M5/315 ,  B05D7/24 ,  C08J7/04 ,  C23C16/40 ,  C23C16/42 ,  C23C16/50 ,  C23C16/515 ,  C23C16/56 ,  C23C16/00 ,  B05D3/12 ,  H05H1/24

CPC分类号： B05D1/62 ,  A61M5/31513 ,  C23C16/401 ,  C23C16/56 ,  A61M2207/00

摘要： In order to guarantee that individual elastomeric components used for medicinal or pharmaceutical purposes have improved inertness and static and sliding friction properties, a suitable layer is provided on the elastomeric components for this purpose by the method of the invention. This method includes providing an extended flat mat made of elastomeric material including connected protruding elastomeric components; coating at least one side of the mat including the connected elastomeric components by means of a PECVD or PICVD method to provide a silicon dioxide layer containing carbon, hydrogen and/or nitrogen on the at least one side of the mat; and punching the connected elastomeric components out of the mat to form individual unconnected elastomeric components, each at least partially coated with a portion of the layer.

摘要翻译： 为了保证用于药物或药物目的的各个弹性体组分具有改善的惰性和静摩擦和滑动摩擦性能，通过本发明的方法为此目的在弹性体组分上提供合适的层。 该方法包括提供由弹性体材料制成的延伸的平垫，包括连接的突出弹性体部件; 通过PECVD或PICVD方法涂覆包括连接的弹性体组分的垫的至少一侧，以在垫的至少一侧上提供含有碳，氢和/或氮的二氧化硅层; 并且将连接的弹性体组分冲压出垫子以形成单独的未连接的弹性体组分，每个至少部分地涂覆有该层的一部分。

公开(公告)号：US20050005853A1

公开(公告)日：2005-01-13

申请号：US10486140

申请日：2002-08-07

申请人： Stephan Behle ,  Lars Bewig ,  Thomas Kupper ,  Wolfram Maring ,  Christoph Molle ,  Marten Walther

发明人： Stephan Behle ,  Lars Bewig ,  Thomas Kupper ,  Wolfram Maring ,  Christoph Molle ,  Marten Walther

IPC分类号： H05H1/46 ,  C23C16/511 ,  H01J37/32 ,  H01P5/12 ,  C23C16/00

CPC分类号： H01J37/32229 ,  C23C16/511 ,  H01J37/32192

摘要： An apparatus for coating objects having a single microwave source, two or more coating chambers, and an impedance structure or a waveguide structure. The coating chambers are connected to the single microwave source. The impedance structure or waveguide structure divides the microwave energy in order to generate plasmas in the coating chambers.

摘要翻译： 一种用于涂覆具有单个微波源，两个或更多个涂层室以及阻抗结构或波导结构的物体的设备。 涂层室连接到单个微波源。 阻抗结构或波导结构划分微波能量，以便在涂层室中产生等离子体。

公开(公告)号：US07434537B2

公开(公告)日：2008-10-14

申请号：US10486140

申请日：2002-08-07

申请人： Stephan Behle ,  Lars Bewig ,  Thomas Küpper ,  Wolfram Maring ,  Christoph Mölle ,  Marten Walther

发明人： Stephan Behle ,  Lars Bewig ,  Thomas Küpper ,  Wolfram Maring ,  Christoph Mölle ,  Marten Walther

IPC分类号： C23C16/00 ,  C23F1/00 ,  H01L21/306

CPC分类号： H01J37/32229 ,  C23C16/511 ,  H01J37/32192

摘要： An apparatus for coating objects having a single microwave source, two or more coating chambers, and an impedance structure or a waveguide structure. The coating chambers are connected to the single microwave source. The impedance structure or waveguide structure divides the microwave energy in order to generate plasmas in the coating chambers.

摘要翻译： 一种用于涂覆具有单个微波源，两个或更多个涂层室以及阻抗结构或波导结构的物体的设备。 涂层室连接到单个微波源。 阻抗结构或波导结构划分微波能量，以便在涂层室中产生等离子体。

公开(公告)号：US20080210550A1

公开(公告)日：2008-09-04

申请号：US11572255

申请日：2005-07-08

申请人： Marten Walther ,  Tobias Kalber ,  Stefan Bauer ,  Hartmut Bauch ,  Jorn Gerban

发明人： Marten Walther ,  Tobias Kalber ,  Stefan Bauer ,  Hartmut Bauch ,  Jorn Gerban

IPC分类号： C23C8/00 ,  C23C14/00

CPC分类号： C23C16/515 ,  C23C14/34

摘要： The invention provides a device for the vacuum coating of substrates which comprises a vacuum chamber, an apparatus for holding at least one substrate, at least one first coating region of the vacuum chamber with an apparatus for plasma pulse-induced chemical vapor deposition (PICVD) and at least one second coating region of the vacuum chamber with at least one apparatus for sputter coating, as well as a transport apparatus for transporting the substrate into the coating regions.

摘要翻译： 本发明提供了一种用于基板的真空涂覆的装置，其包括真空室，用于保持至少一个基板的装置，真空室的至少一个第一涂覆区域与用于等离子体脉冲诱导化学气相沉积（PICVD）的装置， 以及具有至少一个用于溅射涂覆的装置的真空室的至少一个第二涂覆区域，以及用于将衬底输送到涂覆区域中的输送装置。

公开(公告)号：US06537626B1

公开(公告)日：2003-03-25

申请号：US08867395

申请日：1997-06-02

申请人： Michael Spallek ,  Marten Walther ,  Manfred Lohmeyer ,  Martin Heming

发明人： Michael Spallek ,  Marten Walther ,  Manfred Lohmeyer ,  Martin Heming

IPC分类号： B05D500

CPC分类号： C23C16/045 ,  A61J1/00 ,  B65D23/02 ,  C03C17/004 ,  C03C17/225 ,  C03C17/245 ,  C03C2217/212 ,  C03C2217/213 ,  C03C2217/214 ,  C03C2217/218 ,  C03C2217/281 ,  C03C2218/153 ,  Y10T428/131

摘要： Glass containers specifically for the storage of pharmaceutical or diagnostic solutions whose surface which comes into contact with the solutions is coated with a layer of oxides and/or nitrides of the elements Si, Ti, Ta, Al or mixtures thereof applied by means of a plasma CVD process.

摘要翻译： 专门用于存储与溶液接触的表面的药物或诊断溶液的玻璃容器被涂覆有通过等离子体施加的元素Si，Ti，Ta，Al或其混合物的氧化物和/或氮化物的层 CVD工艺。

公开(公告)号：US07744790B2

公开(公告)日：2010-06-29

申请号：US10485979

申请日：2002-08-07

申请人： Stephan Behle ,  Markus Kuhr ,  Marten Walther ,  Detlef Wolff ,  Matthias Bicker

发明人： Stephan Behle ,  Markus Kuhr ,  Marten Walther ,  Detlef Wolff ,  Matthias Bicker

IPC分类号： B29C51/10

CPC分类号： B05D1/62 ,  B05D7/227 ,  B29C45/0053 ,  B29C45/1703 ,  B29C2045/0079

摘要： A process for simultaneously coating and forming a body. The process includes moving two mold halves into contact with one another; introducing an injection-molding material into the mold halves so that a molding is formed; evacuating the molding; admitting a gas into the molding; igniting a plasma in the molding so that a coating is deposited on the inner side of the molding; and moving the mold halves apart so that the molding drops out.

摘要翻译： 同时涂覆和形成身体的方法。 该过程包括使两个半模彼此接触; 将注射成型材料引入到半模中，从而形成模制品; 抽真空模具; 将气体进入模制品; 在模制品中点燃等离子体，使得涂层沉积在模制品的内侧; 并将半模分开，使模具脱落。

公开(公告)号：US06379004B1

公开(公告)日：2002-04-30

申请号：US09599731

申请日：2000-06-23

申请人： Marten Walther ,  Michael Spallek ,  Manfred Borens ,  Wolfgang Moehl ,  Markus Kuhr

发明人： Marten Walther ,  Michael Spallek ,  Manfred Borens ,  Wolfgang Moehl ,  Markus Kuhr

IPC分类号： G02C702

CPC分类号： G02B1/14 ,  G02B1/041 ,  G02B1/10 ,  G02B1/105 ,  C08L65/00 ,  C08L45/00

摘要： This invention relates to optical, preferably ophthalmic lenses with a body made of plastic, in particular for spectacle glasses, and the plastic incorporates cycloolefinic polymers and the plastic body is coated with a transparent coating resistant to corrosion. Another object of this invention is a process for the production of these lenses. The lenses according to the invention are especially resistant to greases, sweat and/or solvents.

摘要翻译： 本发明涉及光学，优选眼科镜片，其具有由塑料制成的主体，特别是用于眼镜眼镜，并且塑料包含环烯聚合物，并且塑料体涂覆有耐腐蚀性的透明涂层。 本发明的另一个目的是制造这些透镜的方法。 根据本发明的镜片特别耐油脂，汗液和/或溶剂。

公开(公告)号：US5900285A

公开(公告)日：1999-05-04

申请号：US976425

申请日：1997-11-21

申请人： Marten Walther ,  Martin Heming ,  Michael Spallek ,  Gudrun Zschaschler

发明人： Marten Walther ,  Martin Heming ,  Michael Spallek ,  Gudrun Zschaschler

IPC分类号： B65D25/34 ,  B05D7/24 ,  B32B1/02 ,  B32B9/00 ,  B32B27/00 ,  B32B27/06 ,  B65D1/02 ,  B65D23/08 ,  C08J7/04 ,  C23C14/20 ,  C23C16/04 ,  C23C16/30 ,  C23C16/34 ,  C23C16/40 ,  C23C16/50 ,  B05D3/06 ,  B05D7/22

CPC分类号： C23C16/34 ,  B05D1/62 ,  B65D1/0215 ,  B65D23/0814 ,  C08J7/045 ,  C23C16/045 ,  C23C16/30 ,  C23C16/401 ,  C23C16/402 ,  C23C16/405 ,  Y10T428/1321 ,  Y10T428/1352 ,  Y10T428/1359 ,  Y10T428/1383 ,  Y10T428/1393

摘要： A plastic vessel has a barrier coating comprising sequentially arranged barrier layers of organic polymer and of inorganic oxides, nitrides or oxynitrides. The barrier coating preferably has at least two inorganic barrier layers. The thickness of the inorganic barrier layers lies between 2 and 300 nm and the thickness of the organic barrier layer lies between 2 and 1000 nm. The total thickness of the layer packet should not exceed 0.1 mm.

摘要翻译： 塑料容器具有阻隔涂层，其包括顺序排列的有机聚合物和无机氧化物，氮化物或氮氧化物的阻挡层。 阻挡涂层优选具有至少两个无机阻挡层。 无机阻挡层的厚度在2和300nm之间，有机阻挡层的厚度在2和1000nm之间。 层包的总厚度不应超过0.1 mm。

公开(公告)号：US06200658B1

公开(公告)日：2001-03-13

申请号：US09234168

申请日：1999-01-19

申请人： Marten Walther ,  Michael Spallek ,  Burkhardt Danielzik ,  Martin Heming ,  Johannes Segner

发明人： Marten Walther ,  Michael Spallek ,  Burkhardt Danielzik ,  Martin Heming ,  Johannes Segner

IPC分类号： B27N2200

CPC分类号： C03C17/256 ,  C03C17/004 ,  C03C17/245 ,  C03C17/2456 ,  C03C17/25 ,  C23C18/1254 ,  Y10T428/131 ,  Y10T428/1314 ,  Y10T428/1317

摘要： Numerous applications for hollow glass bodies made from low melting glass material require an increase in the chemical resistance of the interior surface of the glass body. In order to avoid a disadvantageous de-alkalizing process the hollow glass body must be provided with an interior coating in a comparatively expensive prior art process. In an improved process according to the invention a glass tube acting as a semifinished product from which the hollow glass body is made is provided with an interior coating of oxide material, preferably SiO2, Al2O3, TiO2 or mixtures thereof, having a predetermined coating thickness according to the required chemical resistance or working conditions for forming the glass body and then the hollow glass body is made from the glass tube. The coating is advantageously provided by means of a PICVD process.

摘要翻译： 由低熔点玻璃材料制成的中空玻璃体的许多应用需要增加玻璃体的内表面的耐化学性。 为了避免不利的去碱化过程，中空玻璃体必须在比较昂贵的现有技术方法中提供内部涂层。 在根据本发明的改进方法中，用作中空玻璃体制成的半成品的玻璃管设置有氧化物材料（优选SiO 2，Al 2 O 3，TiO 2或其混合物）的内部涂层，其具有预定的涂层厚度，根据 达到用于形成玻璃体的所需的耐化学性或工作条件，然后中空玻璃体由玻璃管制成。 该涂层有利地通过PICVD工艺提供。