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公开(公告)号：US20130157196A1
公开(公告)日：2013-06-20
申请号：US13327030
申请日：2011-12-15
申请人： Shigemasa Nakasugi , Kazuma Yamamoto , Yasushi Akiyama , Shinji Miyazaki , Munirathna Padmanaban , Srinivasan Chakrapani
发明人： Shigemasa Nakasugi , Kazuma Yamamoto , Yasushi Akiyama , Shinji Miyazaki , Munirathna Padmanaban , Srinivasan Chakrapani
IPC分类号： G03F7/20 , C08K5/07 , C08K5/1535 , G03F7/027
CPC分类号： G03F7/20 , C08K5/1535 , C08K5/3415 , C09D135/00 , G03C1/73 , G03F7/0392 , G03F7/091 , G03F7/095
摘要： The present invention provides a composition for forming a bottom anti-reflective coating, and also provides a photoresist pattern formation method employing that composition. The composition gives a bottom anti-reflective coating used in a lithographic process for manufacturing semiconductor devices, and the coating can be developed with a developing solution for photoresist. The composition contains a solvent, a polymer having a condensed polycyclic aromatic group, and a compound having a maleimide derivative or a maleic anhydride derivative. The composition may further contain a photo acid generator or a crosslinking agent.
摘要翻译： 本发明提供了一种用于形成底部抗反射涂层的组合物，并且还提供了使用该组合物的光致抗蚀剂图案形成方法。 该组合物提供用于制造半导体器件的光刻工艺中使用的底部抗反射涂层，并且可以用用于光致抗蚀剂的显影溶液来显影涂层。 该组合物含有溶剂，具有缩合多环芳基的聚合物和具有马来酰亚胺衍生物或马来酸酐衍生物的化合物。 组合物还可以含有光酸产生剂或交联剂。
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公开(公告)号：US08697336B2
公开(公告)日：2014-04-15
申请号：US13327030
申请日：2011-12-15
申请人： Shigemasa Nakasugi , Kazuma Yamamoto , Yasushi Akiyama , Shinji Miyazaki , Munirathna Padmanaban , Srinivasan Chakrapani
发明人： Shigemasa Nakasugi , Kazuma Yamamoto , Yasushi Akiyama , Shinji Miyazaki , Munirathna Padmanaban , Srinivasan Chakrapani
IPC分类号： G03F7/027 , G03F7/11 , G03F7/30 , G03F7/40 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/20 , C08K5/1535 , C08K5/3415 , C09D135/00 , G03C1/73 , G03F7/0392 , G03F7/091 , G03F7/095
摘要： The present invention provides a composition for forming a bottom anti-reflective coating, and also provides a photoresist pattern formation method employing that composition. The composition gives a bottom anti-reflective coating used in a lithographic process for manufacturing semiconductor devices, and the coating can be developed with a developing solution for photoresist. The composition contains a solvent, a polymer having a condensed polycyclic aromatic group, and a compound having a maleimide derivative or a maleic anhydride derivative. The composition may further contain a photo acid generator or a crosslinking agent.
摘要翻译： 本发明提供了一种用于形成底部抗反射涂层的组合物，并且还提供了使用该组合物的光致抗蚀剂图案形成方法。 该组合物提供用于制造半导体器件的光刻工艺中使用的底部抗反射涂层，并且可以用用于光致抗蚀剂的显影溶液来显影涂层。 该组合物含有溶剂，具有缩合多环芳基的聚合物和具有马来酰亚胺衍生物或马来酸酐衍生物的化合物。 组合物还可以含有光酸产生剂或交联剂。
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3.发明授权Composition for forming fine resist pattern and pattern formation method using same 有权用于形成精细抗蚀剂图案的组合物和使用其的图案形成方法公开(公告)号：US09360756B2
公开(公告)日：2016-06-07
申请号：US14431512
申请日：2013-10-01
申请人： Kazuma Yamamoto , Masahiro Ishii , Takashi Sekito , Hiroshi Yanagita , Shigemasa Nakasugi , Go Noya
发明人： Kazuma Yamamoto , Masahiro Ishii , Takashi Sekito , Hiroshi Yanagita , Shigemasa Nakasugi , Go Noya
IPC分类号： G03F7/11 , G03F7/16 , G03F7/32 , G03F7/26 , C08F220/26 , C08F220/30 , H01L21/027 , H01L21/033 , C08F12/24 , C08F20/30 , G03F7/039 , G03F7/40 , C09D129/02 , C09D133/14 , C09D137/00 , G03F7/038
CPC分类号： G03F7/168 , C08F12/24 , C08F20/30 , C08F220/26 , C08F220/30 , C09D129/02 , C09D133/14 , C09D137/00 , G03F7/0382 , G03F7/0397 , G03F7/11 , G03F7/26 , G03F7/32 , G03F7/325 , G03F7/40 , G03F7/405 , H01L21/0274 , H01L21/0338
摘要： The present invention provides a fine pattern-forming composition enabling to form a resist pattern having high dry etching resistance, and also provides a pattern formation method using that composition. This formation method hardly causes pipe blockages in the production process. The composition is used for miniaturizing a resist pattern by fattening in a process of forming a negative resist pattern from a chemically amplified resist composition, and comprises a polymer containing a repeating unit having a hydroxyaryl group and an organic solvent not dissolving the negative resist pattern. In the formation method, the fine pattern-forming composition and the resist composition are individually cast with the same coating apparatus, so as to prevent pipe blockages.
摘要翻译： 本发明提供能够形成具有高耐干蚀刻性的抗蚀剂图案的精细图案形成组合物，并且还提供使用该组合物的图案形成方法。 这种形成方法在生产过程中几乎不会导致管堵塞。 该组合物用于在从化学放大抗蚀剂组合物形成负性抗蚀剂图案的工艺中通过育肥来使抗蚀剂图案小型化，并且包含含有具有羟基芳基的重复单元的聚合物和不溶解负型抗蚀剂图案的有机溶剂。 在形成方法中，用相同的涂布装置分别铸造精细图案形成组合物和抗蚀剂组合物，以防止管堵塞。
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公开(公告)号：US20100323835A1
公开(公告)日：2010-12-23
申请号：US12449447
申请日：2008-02-20
IPC分类号： F16G1/00
摘要： A V-ribbed belt 10 includes a bottom rubber layer 12, an adhesive rubber layer 16, and a fabric 22. The bottom rubber layer 12 includes short fibers 14, a part of which protrude from the friction surface 12S of the bottom rubber layer 12. In the bottom rubber layer 12, an FEF carbon black with an average nitrogen adsorption surface area (ASTM D1765-01) of below 49 (m2/g), is used as a reinforcement. Therefore, the friction surface 12S of the bottom rubber layer 12 is slightly uneven, thus preventing the generation of an abnormal noise under usage of the V-ribbed belt 10. Further, after the short fibers 14 protruding from the friction surface 12S of the bottom rubber layer 12 have worn down, the unevenness of the friction surface 12S can be properly maintained by using such a carbon black, so that abnormal noise can be prevented.
摘要翻译： V形肋带10包括底部橡胶层12，粘合橡胶层16和织物22.底部橡胶层12包括短纤维14，其一部分从底部橡胶层12的摩擦表面12S突出 在底部橡胶层12中，使用平均氮吸附表面积（ASTM D1765-01）低于49（m 2 / g）的FEF炭黑作为增强材料。 因此，底部橡胶层12的摩擦面12S稍微不均匀，从而防止在V形带10的使用下产生异常噪音。此外，在短纤维14从底部的摩擦面12S突出后， 橡胶层12已经磨损，可以通过使用这种炭黑适当地保持摩擦表面12S的不均匀性，从而可以防止异常噪音。
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公开(公告)号：US06284661B1
公开(公告)日：2001-09-04
申请号：US08833125
申请日：1997-04-04
申请人： Takashi Yokoyama , Kazuma Yamamoto , Masato Yamamoto , Takahiro Mishima , Go Matsuda , Shigeki Itou
发明人： Takashi Yokoyama , Kazuma Yamamoto , Masato Yamamoto , Takahiro Mishima , Go Matsuda , Shigeki Itou
IPC分类号： B28D500
CPC分类号： C30B33/00 , Y10T83/2109
摘要： A method and an apparatus for cutting a wafer from a crystalline ingot, by directing a stream or streams of etching gas at the crystalline ingot in a vacuum. Waste in cutting can be greatly minimized and the work environment can also be kept clean. Further, excellent surface smoothness can be realized on the cut wafers.
摘要翻译： 一种用于通过在真空中将结晶锭的流或蚀刻气体流引导而从晶体晶片切割晶片的方法和装置。 切割废料可以大大减少，工作环境也可以保持清洁。 此外，可以在切割的晶片上实现优异的表面平滑度。
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公开(公告)号：US5602975A
公开(公告)日：1997-02-11
申请号：US91690
申请日：1993-07-15
申请人： Hiromi Kataoka , Shunichi Masuda , Tetsuo Saito , Kazuma Yamamoto
发明人： Hiromi Kataoka , Shunichi Masuda , Tetsuo Saito , Kazuma Yamamoto
IPC分类号： G06K15/00
CPC分类号： G06K15/00 , G06K2215/0082 , G06K2215/0085
摘要： An image processing apparatus comprises a memory for storing image data to be formed into an image, a memory holding unit for holding the content of the memory, and a control unit for stopping the memory holding operation by memory holding unit during a stand-by period of the image forming operation.
摘要翻译： 图像处理装置包括：存储器，用于存储要形成图像的图像数据;存储器保持单元，用于保存存储器的内容;以及控制单元，用于在待机期间停止存储器保持单元的存储器保持操作 的图像形成操作。
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公开(公告)号：US09194458B2
公开(公告)日：2015-11-24
申请号：US14005972
申请日：2012-02-01
申请人： Satoshi Furukawa , Kazuma Yamamoto
发明人： Satoshi Furukawa , Kazuma Yamamoto
IPC分类号： F16G5/00 , F16G1/00 , F16G9/00 , F16G5/08 , F16G5/20 , B29D29/00 , C08J5/06 , C08L23/16 , C08L77/02 , C08L77/06
CPC分类号： F16G5/08 , B29D29/00 , C08J5/06 , C08L23/16 , C08L77/02 , C08L77/06 , C08L2205/02 , C08L2205/025 , C08L2205/16 , F16G5/20
摘要： The durability of a frictional power transmission belt is improved. A V-ribbed belt (10) comprises an adhesion rubber portion (12) and a compression rubber portion (14) provided below the adhesion rubber portion (12). A cord (11) that is a tension member of the belt is embedded in the adhesion rubber portion (12). The adhesion rubber portion (12) includes an upper layer (12A) constituting the upper side and a lower layer (12B) constituting the lower side, which are located across the cord (11). The upper layer (12A) and the lower layer (12B) are obtained by vulcanizing a rubber composition including a high-viscosity elastomer such as EPM or EPDM, and a low-viscosity elastomer which is lower in Mooney viscosity than the high-viscosity elastomer, and contain modified nylon microfibers as short fibers (21A), (21B), respectively. The short fibers (21A), (21B) are oriented, respectively, in the width direction and longitudinal direction of the belt.
摘要翻译： 提高了摩擦传动带的耐用性。 V形肋带（10）包括粘合橡胶部分（12）和设置在粘合橡胶部分（12）下方的压缩橡胶部分（14）。 作为带的张力构件的帘线（11）嵌入到粘合橡胶部（12）中。 粘合橡胶部分（12）包括构成上侧的上层（12A）和构成下侧的下层（12B），其位于帘线（11）的两侧。 通过硫化包含EPM或EPDM等高粘度弹性体的橡胶组合物和门尼粘度低于高粘度弹性体的低粘度弹性体，得到上层（12A）和下层（12B） ，并分别含有作为短纤维的改性尼龙微纤维（21A），（21B）。 短纤维（21A），（21B）分别在带的宽度方向和长度方向上取向。
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公开(公告)号：US5751925A
公开(公告)日：1998-05-12
申请号：US889446
申请日：1997-07-08
申请人： Hiromi Kataoka , Shunichi Masuda , Tetsuo Saito , Kazuma Yamamoto
发明人： Hiromi Kataoka , Shunichi Masuda , Tetsuo Saito , Kazuma Yamamoto
IPC分类号： G06K15/00
CPC分类号： G06K15/00 , G06K2215/0082 , G06K2215/0085
摘要： An image processing apparatus comprises a memory for storing image data to be formed into an image, a memory holding unit for holding the content of the memory, and a control unit for stopping the memory holding operation by memory holding unit during a stand-by period of the image forming operation.
摘要翻译： 图像处理装置包括：存储器，用于存储要形成图像的图像数据;存储器保持单元，用于保存存储器的内容;以及控制单元，用于在待机期间停止存储器保持单元的存储器保持操作 的图像形成操作。
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公开(公告)号：US20140066244A1
公开(公告)日：2014-03-06
申请号：US14005972
申请日：2012-02-01
申请人： Satoshi Furukawa , Kazuma Yamamoto
发明人： Satoshi Furukawa , Kazuma Yamamoto
CPC分类号： F16G5/08 , B29D29/00 , C08J5/06 , C08L23/16 , C08L77/02 , C08L77/06 , C08L2205/02 , C08L2205/025 , C08L2205/16 , F16G5/20
摘要： The durability of a frictional power transmission belt is improved. A V-ribbed belt (10) comprises an adhesion rubber portion (12) and a compression rubber portion (14) provided below the adhesion rubber portion (12). A cord (11) that is a tension member of the belt is embedded in the adhesion rubber portion (12). The adhesion rubber portion (12) includes an upper layer (12A) constituting the upper side and a lower layer (12B) constituting the lower side, which are located across the cord (11). The upper layer (12A) and the lower layer (12B) are obtained by vulcanizing a rubber composition including a high-viscosity elastomer such as EPM or EPDM, and a low-viscosity elastomer which is lower in Mooney viscosity than the high-viscosity elastomer, and contain modified nylon microfibers as short fibers (21A), (21B), respectively. The short fibers (21A), (21B) are oriented, respectively, in the width direction and longitudinal direction of the belt.
摘要翻译： 提高了摩擦传动带的耐用性。 V形肋带（10）包括粘合橡胶部分（12）和设置在粘合橡胶部分（12）下方的压缩橡胶部分（14）。 作为带的张力构件的帘线（11）嵌入到粘合橡胶部（12）中。 粘合橡胶部分（12）包括构成上侧的上层（12A）和构成下侧的下层（12B），其位于帘线（11）的两侧。 上层（12A）和下层（12B）通过硫化包含EPM或EPDM等高粘度弹性体的橡胶组合物和门尼粘度低于高粘度弹性体的低粘度弹性体而得到 ，并分别含有作为短纤维的改性尼龙微纤维（21A），（21B）。 短纤维（21A），（21B）分别在带的宽度方向和长度方向上取向。
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公开(公告)号：US20050232810A1
公开(公告)日：2005-10-20
申请号：US10502651
申请日：2003-02-03
申请人： Kazuma Yamamoto , Hitoshi Shibata , Hiroshi Shimizu , Takao Yoshida , Kazuo Yamauchi , Hironori Wakamatsu
发明人： Kazuma Yamamoto , Hitoshi Shibata , Hiroshi Shimizu , Takao Yoshida , Kazuo Yamauchi , Hironori Wakamatsu
CPC分类号： A01M13/00
摘要： A fumigating method for fumigating a large place such as a cultural facility with a compact installation and an apparatus used for the fumigating method. The fumigating method which comprises providing an argon gas tank (1) and a PO tank (8) filled with liquid propylene oxide, introducing an argon gas fed from the argon gas tank (1) and liquid propylene oxide fed from the PO tank (8) in advance to a gas-liquid mixer (5) for mixture, introducing the resultant gas-liquid mixture from the gas-liquid mixer (5) to a vaporizer (25) for vaporization, and then introducing the resultant gas mixture to a place (31) to be fumigated; and an apparatus for conducting such a method.
摘要翻译： 一种熏蒸方法，用于将紧凑安装的文化设施等大型场所熏蒸，以及用于熏蒸方法的设备。 该熏蒸方法包括：提供氩气罐（1）和填充有液体环氧丙烷的PO罐（8），将从氩气罐（1）供给的氩气和从PO罐（8） ）预先混合到用于混合的气液混合器（5）中，将得自气液混合器（5）的气液混合物引入蒸发器（25）进行蒸发，然后将所得气体混合物引入到一个地方 （31）待熏蒸; 以及用于进行这种方法的装置。
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