真空処理装置、その制御方法、真空はんだ処理装置及びその制御方法
    2.
    发明申请
    真空処理装置、その制御方法、真空はんだ処理装置及びその制御方法 审中-公开
    真空加工装置及其控制方法及真空焊接装置及其控制方法

    公开(公告)号:WO2016035703A1

    公开(公告)日:2016-03-10

    申请号:PCT/JP2015/074416

    申请日:2015-08-28

    Abstract:  真空引き条件の選択度を拡大しつつ、チャンバー内を指定された目標の真空度に短時間に真空引きできるようにする。真空処理装置は、ワークを真空環境下ではんだ処理可能なチャンバー40と、チャンバー40の真空引き条件を設定する操作部21と、チャンバー40を真空引きするポンプ23と、チャンバー40を所定のポンプ出力で真空引きしたときの真空度の減少量を算出して基準値として設定すると共に、リアルタイムで算出した真空度の減少量が基準値より小さくなると、ポンプ出力が小さい真空引き制御特性からポンプ出力が大きい真空引き制御特性へ切り替える制御部61とを備えるものである。

    Abstract translation: 本发明能够将腔室快速抽空至特定的真空度,同时提高排气条件的选择性。 该真空处理装置设置有:使得工件能够在真空环境中被焊接的室(40); 用于设置所述室(40)的排气条件的操作单元(20)。 用于抽空所述室(40)的泵(23); 以及控制部(61),其计算使用预定的泵输出对所述室(40)进行抽真空时的真空度的减少量,将所得到的量设定为基准值,并且从包括 当实时计算的真空度的降低量已经变得低于参考值时,将低泵输出降低到涉及高泵输出的抽空控制特性。

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