半导体装置及其制造方法
    112.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101702408A

    公开(公告)日:2010-05-05

    申请号:CN200910221733.7

    申请日:2005-03-30

    Inventor: 王文生

    Abstract: 一种半导体装置,具有形成在半导体基板10上的层间绝缘膜30和铁电电容器46,该铁电电容器46具有下部电极38、形成在下部电极38上的铁电薄膜42、形成在铁电薄膜42上的上部电极44,该下部电极38形成在层间绝缘膜30上,并具有由贵金属或贵金属氧化物构成的导体膜36,下部电极38埋入到在层间绝缘膜30上形成的接触孔32a内,并一体地具有连接到源极/漏极区域22a的插塞部38a。

    具有多级的定时恢复电路

    公开(公告)号:CN1842070B

    公开(公告)日:2010-04-14

    申请号:CN200610056852.8

    申请日:2006-03-09

    Inventor: 金指和幸

    CPC classification number: H04L7/0029 H04L7/0012 H04L7/0331

    Abstract: 一种定时恢复电路,包括:第一振荡电路,其被配置用来产生第一定时信号;第二振荡电路,其被配置用来产生第二定时信号;第一抽取电路,其耦合到第一时钟信号的供应节点和第一振荡电路,以产生通过响应于第一定时信号抽取第一时钟信号的脉冲而获得的第二时钟信号;以及第二抽取电路,其耦合到第一抽取电路和第二振荡电路,以产生通过响应于第二定时信号抽取第二时钟信号的脉冲而获得的第三时钟信号,其中第一定时信号和第二定时信号中的一个具有固定周期,而另外一个具有响应于反馈控制的周期。

    直流-直流变换器和用于直流-直流变换器的控制器

    公开(公告)号:CN101656477A

    公开(公告)日:2010-02-24

    申请号:CN200910159034.4

    申请日:2007-05-10

    Inventor: 长谷川守仁

    CPC classification number: H02M1/38 H02M3/1588 H03K2017/307 Y02B70/1466

    Abstract: 本发明公开了直流—直流变换器和用于直流—直流变换器的控制器。本发明公开了一种用于防止直通电流导致理想二极管误操作的DC-DC变换器。用于接收输入电压的第一晶体管与理想二极管相连,该理想二极管包括第二晶体管和比较器,该比较器用于检测流经第二晶体管的电流并且产生检测信号。控制电路产生用于导通和关断所述第一晶体管的开关信号,以保持输出电压为恒值。脉冲发生电路产生脉冲信号用于在所述第一晶体管导通之前关断所述第二晶体管,并且在从所述第一晶体管导通之时起的一预定时间段内保持所述第二晶体管关断。错误操作防止电路产生控制信号,该控制信号用于从所述第二晶体管关断之时到所述第一晶体管导通之时保持所述第二晶体管关断。

    配线结构的形成方法
    117.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100592476C

    公开(公告)日:2010-02-24

    申请号:CN200580001136.3

    申请日:2005-01-11

    Abstract: 使用蚀刻阻止膜(104)以及硬掩模(105)在绝缘膜(103)上形成用于连接下层配线(101)和未图示的上层配线的导通孔(102)之后,通过本发明的一级的低功率偏压溅射法以覆盖导通孔(102)的内壁的方式在绝缘膜(103)上形成由Ta构成的基底膜(106)。在这里,从导通孔(102)的内壁面到整个绝缘膜(103)上得到很薄且均匀的膜厚的基底膜(106)。这样,能够通过比较简单的工序,使配线形成上的问题不产生,而在开口的内壁面、即从侧壁面到底面薄且均匀的形成基底膜,实现可靠性高的极微细的配线结构。

    半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN100585733C

    公开(公告)日:2010-01-27

    申请号:CN200710103037.7

    申请日:2007-04-29

    Inventor: 富田浩由

    Abstract: 本发明提供了一种半导体器件及其制造方法,抑制了由于MOSFET的阈值的分散而造成的DRAM的刷新故障。DRAM具有用于记录将被施加到单元晶体管的背栅的背偏置电势的设置值的第一单位和用于基于记录在第一单位中的背偏置电势的设置值产生背偏置电势并将所产生的背偏置电势提供到背栅的第二单位,其中,当与单元晶体管具有相同结构并且在同一过程中制造的MOSFET的阈值大于单元晶体管应当具有的目标值时,比针对目标值的背偏置电势更浅的值被记录在第二单位中。

    半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN101627470A

    公开(公告)日:2010-01-13

    申请号:CN200780052165.1

    申请日:2007-03-14

    Inventor: 王文生

    CPC classification number: H01L27/11507 H01L28/55 H01L28/65

    Abstract: 提供一种半导体器件及其制造方法。在具有形成于半导体衬底上的铁电电容器的半导体器件中,铁电电容器由下部电极、铁电膜以及上部电极构成该上部电极至少包括第一导电膜和形成在所述第一导电膜上的第二导电膜,所述第一导电膜由第一导电性贵金属氧化物构成,所述第二导电膜由金属氮化化合物构成,而且,在第一导电膜和第二导电膜之间夹持有由第二导电性贵金属物构成的第三导电膜和由贵金属构成的第四导电膜。

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