布线基板的制造方法
    25.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101277592A

    公开(公告)日:2008-10-01

    申请号:CN200810090749.4

    申请日:2008-03-31

    CPC classification number: H01L2924/0002 H01L2924/00

    Abstract: 本发明提供一种布线基板的制造方法,在进行分割曝光时能够提高成品率和生产率。该布线基板的制造方法的特征在于,具有以下工序:将导体层和树脂绝缘层按该顺序层积于基板上;在层积有上述导体层和上述树脂绝缘层的上述基板上形成对位标记;在形成有上述对位标记的基板上设置感光性材料;以上述对位标记为基准,对由设置有上述对位标记的边界区域划分的多个曝光区域的上述感光性材料依次进行曝光;以及在上述基板的上述多个曝光区域之间,以与上述边界区域的宽度大致相同的切断宽度在上述对位标记上进行切断,使上述对位标记消失。

    多层配线基板的制造方法
    29.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103179811A

    公开(公告)日:2013-06-26

    申请号:CN201210576073.6

    申请日:2012-12-26

    Abstract: 本发明提供针对具有在芯基板的两个表面交替层叠有至少一层的导体层和至少一层的树脂绝缘层的层叠构造体而得到的多层配线基板,能够在不降低制造产量的前提下能够通过使芯基板减薄来实现小型化的制造方法。在支承基板上层叠有第1层叠构造体,该第1层叠构造体包含至少1层的导体层和至少一层的树脂绝缘层,在该该第1层叠构造体中,导体层和树脂绝缘层交替层叠,而且,以与位于第1层叠构造体的最上层的导体层相接触的方式形成芯基板。接着,通过对该芯基板进行激光照射而形成通孔,并在上述通孔内形成金属层。之后,在上述芯基板上形成包含至少一层的导体层和至少一层的树脂绝缘层的第2层叠构造体。此时,能够将上述第1层叠构造体的上述最上层的导体层的厚度设为比其他导体层的厚度大。

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