半导体存储器件
    36.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118613052A

    公开(公告)日:2024-09-06

    申请号:CN202410230756.9

    申请日:2024-02-29

    Abstract: 一种半导体存储器件包括:基板,所述基板具有限定有源区的元件分隔膜;和栅极结构,所述栅极结构位于所述基板上的沟槽中并且与所述有源区相交,其中,每个所述栅极结构包括:栅极绝缘层,所述栅极绝缘层沿着所述沟槽中的相应沟槽的侧壁和底表面延伸;栅电极层,所述栅电极层位于所述栅极绝缘层上,并且包括第一金属层和位于所述第一金属层上的第二金属层;衬膜,所述衬膜位于所述栅极绝缘层和所述第一金属层之间,并且包括与所述第一金属层和所述第二金属层相同的金属材料;和覆盖膜,所述覆盖膜与所述第二金属层接触。

    半导体器件
    37.
    发明公开
    半导体器件 审中-实审

    公开(公告)号:CN114171519A

    公开(公告)日:2022-03-11

    申请号:CN202110932691.9

    申请日:2021-08-13

    Abstract: 提供了一种半导体器件。所述半导体器件包括:衬底,所述衬底包括元件隔离层,所述元件隔离层限定有源区;多条字线,所述多条字线在第一方向上横贯所述有源区;和多个位线结构,所述多个位线结构位于所述衬底上并且连接到所述有源区,所述多个位线结构在不同于所述第一方向的第二方向上延伸。所述多个位线结构中的每一个位线结构包括:钌线路布线,所述钌线路布线包括底表面和与所述底表面相对的顶表面;下石墨烯层,所述下石墨烯层与所述钌线路布线的所述底表面接触并且沿着所述钌线路布线的所述底表面延伸;以及布线覆盖层,所述布线覆盖层沿着所述钌线路布线的所述顶表面延伸。

    半导体装置
    38.
    发明公开
    半导体装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN113937088A

    公开(公告)日:2022-01-14

    申请号:CN202110690120.9

    申请日:2021-06-22

    Abstract: 公开了一种半导体装置。所述半导体装置包括:第一级布线,设置在第一金属级处,并且包括第一线布线、第一绝缘盖膜和第一侧壁石墨烯膜,第一绝缘盖膜沿着第一线布线的上表面延伸,并且第一侧壁石墨烯膜沿着第一线布线的侧壁延伸;层间绝缘膜,覆盖第一线布线的侧壁和第一绝缘盖膜的侧壁;以及第二级布线,设置在比第一金属级高的第二金属级处,并且包括连接到第一线布线的第二过孔和连接到第二过孔的第二线布线,其中,第二过孔穿透第一绝缘盖膜。

    可用于磁性器件的磁性结及其形成方法

    公开(公告)号:CN104934529B

    公开(公告)日:2019-03-12

    申请号:CN201510119636.2

    申请日:2015-03-18

    Abstract: 本发明描述了一种用于提供可在磁性器件中使用的磁性结的方法以及该磁性结。该方法包括提供自由层、被钉扎层以及在自由层和被钉扎层之间的非磁性间隔层。自由层在写电流经过磁性结时可在多个稳定的磁态之间切换。提供自由层的步骤中的至少一个包括第一多个步骤,提供被钉扎层的步骤包括第二多个步骤。第一和第二多个步骤包括沉积层的一部分、沉积牺牲层、退火磁性结的在牺牲层下面的部分以及沉积该层的剩余部分。该层可以是自由层、被钉扎层或两者。

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