制造带有纳米点的存储器的方法

    公开(公告)号:CN100336201C

    公开(公告)日:2007-09-05

    申请号:CN200310116438.8

    申请日:2003-11-21

    Abstract: 本发明公开了一种制造带有纳米点的存储器的方法。该方法包括步骤:在一其中制有源极和漏极电极的衬底上依次淀积一第一绝缘层、一电荷储积层、一牺牲层以及一金属层;通过对金属层执行阳极氧化,在所制得的结构上形成多个孔洞,并对经这些孔洞而外露的牺牲层执行氧化;通过去除掉已被氧化的金属层,并以氧化物牺牲层作为掩模对牺牲层和电荷储积层执行蚀刻,从而将电荷储积层构图成带有纳米点;以及去除氧化后的牺牲层,在被构图后的电荷储积层上淀积一第二绝缘层和一栅极电极,并将第一绝缘层、电荷储积层、第二绝缘层以及栅极电极构图设计成预定的形状。因而,可以制出具有均匀分布的纳米级存储结的存储器。

Patent Agency Ranking