接合体的制造方法
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106463415B

    公开(公告)日:2019-01-01

    申请号:CN201580031872.7

    申请日:2015-03-31

    Abstract: 一种制造具有通过金属粒子浆将基板与电子部件接合的构造的接合体的接合体的制造方法,包括:组合体形成工序,形成将电子部件通过所述金属粒子浆载置在基板上的组合体;组合体配置工序,在互相相对配置的两片加热板之间配置组合体;以及接合工序,通过使两片加热板中的至少一片朝另一片移动,从而对组合体加压并加热后将基板与电子部件接合,其中,以通过两片加热板开始对组合体加压时的组合体的温度在0℃~150℃的范围内为条件实施接合工序。根据本发明的接合体的制造方法,由于是以加压开始时的组合体的温度在0℃~150℃的范围内为条件来实施接合工序的,因此在接合工序中,在对组合体进行加压前金属粒子浆就不易引发烧结反应,其结果就是,能够以比以往更高的接合力将基板与电子部件接合。

    加压单元
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106605296A

    公开(公告)日:2017-04-26

    申请号:CN201580045120.6

    申请日:2015-03-31

    Inventor: 松林良

    Abstract: 加压单元100,是在通过一对加热部1000、1002对经由金属粒子浆4将配置有电子部件2的组件20进行加压并加热从而对金属粒子浆4进行烧制时使用的。加压单元100包括:一对传导部件110、120,夹住组件20后将压力以及热量传导至组件20;引导部件130,将一对传导部件110、120连结成可移动状态;以及间隔调整构造140,在非加压时使第二传导部件120与组件20隔开,并且,在加压时使第一传导部件110以及第二传导部件120两方都能够与组件20接触。本发明的加压单元,是一种能够抑制基板与电子部件之间接合性降低的,并且,用于能够防止接合体生产的效率显著下降的接合体的制造方法的传导部件。

    接合装置、接合方法以及加压单元

    公开(公告)号:CN106471611A

    公开(公告)日:2017-03-01

    申请号:CN201580036480.X

    申请日:2015-03-31

    Inventor: 松林良

    Abstract: 本发明的接合装置100,是一种通过对具有将经由金属粒子浆16将电子部件14载置在基板12上的组合体10夹住并传导压力以及热量的第一传导部件210以及第二传导部件220的加压单元200进行加压并加热,从而将基板12与电子部件14接合的接合装置,其特征在于,包括:加热构造部120,具有被配置在相对位置上的第一加热部122以及第二加热部124;定位构造部130,用于将加压单元200定位在第一加热部122以及第二加热部124之间的空间中不与第一加热部122以及第二加热部124中的任意一方相接触的位置上;以及加压构造部140,通过使第一加热部122以及第二加热部124中的至少一方沿从第一加热部122以及第二加热部124中的一方向另一方的方向移动,从而对加压单元200加压。根据本发明的接合装置100,能够以高接合力将基板12与电子部件14接合。

Patent Agency Ranking