陶瓷压力测量单元及其制造方法

    公开(公告)号:CN105264351A

    公开(公告)日:2016-01-20

    申请号:CN201480022887.2

    申请日:2014-04-22

    IPC分类号: G01L9/00

    摘要: 本发明涉及一种压力测量单元(1),包括:陶瓷测量膜片(2)和陶瓷对应物(4),其中测量膜片以气密的方式接合到对应物,借助活性铜焊料(6)形成在测量膜片和对应物之间的压力腔,其中压力测量单元(1)还具有焊接停止层,该焊接停止层在测量膜片(2)和/或对应物(4)的表面上,其中焊接停止层具有金属氧化物或者金属氧化物的还原形式,其中金属氧化物具有至少一个氧化阶段,假定8·104/K的逆温下Rakt=1的活度系数,其具有不小于1-23MPa(10-23·bar)并且不大于1-12MPa(10-12·bar)的氧气共存分解压力,并且假定9·10-4/K的逆温下Rakt=1的活度系数,其具有不少于1-27MPa(10-27bar)并且不大于1-15MPa(10-15bar)的氧气共存分解压力,适合的金属氧化物例如为铬氧化物,钨氧化物或钛氧化物。