含有叠氮基的新型肉桂醛化合物

    公开(公告)号:CN1252041C

    公开(公告)日:2006-04-19

    申请号:CN03110793.1

    申请日:2003-03-28

    Inventor: 竹田美音子

    CPC classification number: C07C247/16

    Abstract: 本发明提供了一种新型叠氮基肉桂醛化合物,当用作提供光致抗蚀剂的感光单元的中间体时,该化合物引入一种在曝光部分以及未曝光部分之间有高灵敏度和高反差的感光部分,而且该化合物本身也可以用作感光部分.所述的肉桂醛化合物如式(I)所示:其中R代表低级烷基,Y代表H或磺酸盐基团。

    含有叠氮基的新型肉桂醛化合物

    公开(公告)号:CN1448385A

    公开(公告)日:2003-10-15

    申请号:CN03110793.1

    申请日:2003-03-28

    Inventor: 竹田美音子

    CPC classification number: C07C247/16

    Abstract: 本发明提供了一种新型叠氮基肉桂醛化合物,当用作提供光致抗蚀剂的感光单元的中间体时,该化合物引入一种在曝光部分以及未曝光部分之间有高灵敏度和高反差的感光部分,而且该化合物本身也可以用作感光部分。所述的肉桂醛化合物如式(I)所示:其中R代表低级烷基,Y代表H或磺酸盐基团。

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