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公开(公告)号：JP2004531749A
公开(公告)日：2004-10-14
申请号：JP2002545309
申请日：2001-11-03
Applicant: ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー.
Inventor： エフ キャメロン ジェームズ , エム ジドウスキー トーマス
IPC: C07B61/00 , C07C17/263 , C07C22/08 , C07C303/20 , C07C303/32 , C07C309/24 , C07C381/12 , C09K3/00 , G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: C07C303/20 , C07C303/32 , C07C309/24 , C07C381/12 , G03F7/0045 , G03F7/038 , G03F7/0382 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , Y10S430/115 , Y10S430/122
Abstract: 本発明は、新規な光感応性酸発生剤化合物（ＰＡＧｓ）およびそれらの化合物を含むフォトレジスト組成物に関する。 詳しくは、本発明は、放射線で露光されることによりα， α−ジフルオロアルキルスルホン酸を発生させる光感応性酸発生剤化合物に関する。 このようなＰＡＧｓを含むポジ型およびネガ型の化学的に増幅されたレジストが特に好まれている。 本発明はまたこのようなＰＡＧｓおよびα， α−ジフルオロアルキルスルホン酸の合成方法も含む。
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公开(公告)号：JP2004217658A
公开(公告)日：2004-08-05
申请号：JP2004004286
申请日：2004-01-09
Applicant: Clariant Gmbh , クラリアント・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング
Inventor： LERCH ALEXANDER DR , SEEBACH MICHAEL , MUELLER WOLF-DIETER
IPC: C07C303/22 , C07C303/32 , C07C309/42
CPC classification number: C07C303/32 , C07C303/22 , C07C309/42
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method capable of being conducted in both industrial and continuous manners, and capable of giving an extremely uniform product suitably used for a detergent, from viewpoints of chemical composition, quality, and color, in a very good yield.
SOLUTION: This method for producing an acyloxybenzenesulfonate comprises reacting an carboxylic acid derivative with a phenolsufonic acid salt, wherein the reaction is conducted in the presence of an antioxidant.
COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI-
公开(公告)号：JP2018052923A
公开(公告)日：2018-04-05
申请号：JP2017164497
申请日：2017-08-29
Inventor： イマッド・アカッド , ウィリアム・ウィリアムズ・サード , コン・リウ
IPC: C08F20/38 , C07D303/40 , C07D519/00 , G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/20 , C07C309/12
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C69/753 , C07C303/32 , C07C309/00 , C07C309/12 , C07C381/12 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , C07D303/40 , C07D317/34 , C07D317/72 , C07D327/08 , C07D333/76 , C07D335/16 , C07D339/08 , C07D409/12 , C07D493/18 , C08F2/50 , C08F232/08 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/30 , G03F7/38 , C08F2220/281 , C08F2220/1891 , C08F220/20
Abstract: 【課題】溶解度及び線幅の粗さの改善されたバランスを示す光酸発生化合物の提供。 【解決手段】以下の構造を有する化合物。 (R 1 は、ヒドロキシル、ラクトン等;R 2 は、ヒドロキシル、ラクトン、−[(CH2)n−Y−SO3−Z+]等、R 3 、R 4 は、其々独立して、水素、シアノ、アルキル等;Qは、置換エチレン等、Xは、−CH2−、−O−等;nは0、1、又は2;Yは1つ以上のフッ素原子を含むC1−4アルキレン;Z+は、有機カチオン) 【選択図】なし
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公开(公告)号：JP2018049264A
公开(公告)日：2018-03-29
申请号：JP2017169148
申请日：2017-09-04
Applicant: 信越化学工業株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/038 , C07C279/26 , C07F9/24 , C07F9/6584 , C08F220/26 , C08F212/02 , G03F7/20 , C07D295/215 , C07D279/12 , G03F7/004
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C69/753 , C07C69/76 , C07C69/78 , C07C303/32 , C07C309/04 , C07C309/06 , C07C309/09 , C07C309/17 , C07C309/19 , C07C309/24 , C08F212/02 , C08F220/22 , C08F220/24 , C08F220/38 , C08F224/00 , C08F228/02 , C08F2220/282 , C08F2220/283 , C08F2220/303 , C08F2220/382 , G03F7/0382 , G03F7/0392 , G03F7/0395 , G03F7/0397 , G03F7/16 , G03F7/2004 , G03F7/2006 , G03F7/2037 , G03F7/30 , G03F7/38
Abstract: 【課題】増感効果が高く、酸拡散を抑える効果も有し、解像性、LWR、CDUが良好なレジスト材料、及びこれを用いるパターン形成方法を提供する。 【解決手段】ベースポリマーと、ヨウ素化芳香族基を有するカルボン酸の、2,5,8,9−テトラアザ−1−ホスファビシクロ[3.3.3]ウンデカン塩、ビグアニド塩又はホスファゼン塩とを含むレジスト材料。 【選択図】なし
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公开(公告)号：JP6267752B2
公开(公告)日：2018-01-24
申请号：JP2016138388
申请日：2016-07-13
Applicant: ハンツマン ペトロケミカル エルエルシー , Huntsman Petrochemical LLC
Inventor： ジヨージ・エイ・スミス , ダニエル・アール・ウエーバー , ツエン・チヤイ
IPC: C07C69/612 , C07C67/343 , C07C67/347 , C07C67/08 , C07C309/24 , C07C303/06 , C07C67/293
CPC classification number: C07C303/32 , C07C67/08 , C07C67/31 , C07C67/343 , C07C69/612 , C07C309/58 , C08K5/10 , C08K5/42
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP6243790B2
公开(公告)日：2017-12-06
申请号：JP2014089627
申请日：2014-04-23
Applicant: 花王株式会社
IPC: C07C11/02 , C07C309/04 , C07C303/06 , B01J27/053 , B01J21/12 , B01J21/04 , C07C1/24
CPC classification number: C07C1/24 , C07C303/32
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公开(公告)号：JP6214134B2
公开(公告)日：2017-10-18
申请号：JP2012076373
申请日：2012-03-29
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C381/12 , C09K3/00 , G03F7/004 , G03F7/039 , H01L21/027 , C07C309/17
CPC classification number: C07C309/17 , C07C25/18 , C07C303/32 , C07C309/06 , C07C309/07 , C07C309/12 , C07C309/19 , C07C381/12 , C07D333/46 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/123
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公开(公告)号：JP6093890B2
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：JP2016035263
申请日：2016-02-26
Applicant: ウィスタ ラボラトリーズ リミテッド
Inventor： クルナス、スコット , ストーレイ、ジョン、メルヴィン、デヴィッド , シンクレア、ジェイムス、ピーター , バッデレイ、トーマス、クレイヴェン , アイサック、アーシャム , シンプソン、マイケル , ウィリアムソン、クレイグ , ウッド、バリー、アラン , ウィッシク、クロード、ミシェル , ハリントン、チャールズ、ロバート , リカルド、ジャネット、エリザベス , ホースリー、デヴィッド , ロー、イン、シェ , マーシャル、コリン , カーン、カラール、アーマッド , ラーチ、クリストファー、ポール
IPC: A61P17/00 , A61P31/12 , A61P31/14 , A61P31/18 , A61P33/06 , A61P35/00 , A61P33/00 , A61P31/04 , A61P43/00 , A61K47/38 , A61K47/26 , A61K47/10 , A61K47/02 , A61K47/36 , A61K47/32 , A61K9/28 , A61K47/12 , A61K47/22 , A61K47/18 , A61K47/04 , A61K31/5415
CPC classification number: A61K31/5415 , A61K9/0053 , A61K9/2095 , A61L2/0052 , C07D279/20 , A61K9/2893 , C07C303/32 , C07C309/04 , C07C309/05 , C07C309/30 , C07C309/35
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公开(公告)号：JP6021165B2
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：JP2010120700
申请日：2010-05-26
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C309/17 , C07C381/12 , C09K3/00 , G03F7/004 , G03F7/039 , C07C309/12
CPC classification number: G03F7/039 , C07C303/32 , C07C309/17 , C07C381/12 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , C07C2101/14 , C07C2103/74 , Y10S430/106 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/123
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公开(公告)号：JP5977594B2
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：JP2012139446
申请日：2012-06-21
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C303/32 , C07C309/06 , C07C309/12 , C07D333/46 , C07D335/02 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2041 , G03F7/38 , Y10S430/108 , Y10S430/111 , Y10S430/122 , Y10S430/123
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