公开(公告)号：US20100047954A1

公开(公告)日：2010-02-25

申请号：US12548273

申请日：2009-08-26

申请人： Tzay-Fa (Jeff) Su ,  Hien-Minh Huu Le ,  Fang Mei ,  Yong-kee Chae ,  Michel R. Frei ,  Asaf Schlezinger ,  Shuran Sheng ,  Jeffrey S. Sullivan ,  David Tanner

发明人： Tzay-Fa (Jeff) Su ,  Hien-Minh Huu Le ,  Fang Mei ,  Yong-kee Chae ,  Michel R. Frei ,  Asaf Schlezinger ,  Shuran Sheng ,  Jeffrey S. Sullivan ,  David Tanner

IPC分类号： H01L31/18

CPC分类号： B26F3/002 ,  B23K26/364 ,  B23K26/40 ,  B23K2103/172 ,  B26F3/004 ,  B65G49/064 ,  B65G49/068 ,  B65G2249/02 ,  C03B33/0222 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/67236 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/6776 ,  H01L21/681 ,  H01L31/02008 ,  H01L31/075 ,  H01L31/076 ,  H01L31/1876 ,  Y02E10/548 ,  Y02P40/57 ,  Y02P70/521

摘要： The present invention generally relates to a system that can be used to form a photovoltaic device, or solar cell, using processing modules that are adapted to perform one or more steps in the solar cell formation process. The automated solar cell fab is generally an arrangement of automated processing modules and automation equipment that is used to form solar cell devices. The automated solar fab will thus generally comprise a substrate receiving module that is adapted to receive a substrate, one or more absorbing layer deposition cluster tools having at least one processing chamber that is adapted to deposit a silicon-containing layer on a surface of the substrate, one or more back contact deposition chambers, one or more material removal chambers, a solar cell encapsulation device, an autoclave module, an automated junction box attaching module, and one or more quality assurance modules that are adapted to test and qualify the completely formed solar cell device.

摘要翻译： 本发明一般涉及一种可用于形成光伏器件或太阳能电池的系统，该系统使用适于在太阳能电池形成过程中执行一个或多个步骤的处理模块。 自动化太阳能电池制造厂通常是用于形成太阳能电池器件的自动化处理模块和自动化设备的布置。 因此，自动化太阳能工厂将通常包括适于接收衬底的衬底接收模块，一个或多个吸收层沉积簇工具，其具有至少一个适于在衬底的表面上沉积含硅层的处理室 ，一个或多个背接触沉积室，一个或多个材料去除室，太阳能电池封装装置，高压釜模块，自动接线盒附接模块和一个或多个质量保证模块，其适于测试和限定完全形成 太阳能电池装置。

公开(公告)号：US20090263930A1

公开(公告)日：2009-10-22

申请号：US12493020

申请日：2009-06-26

申请人： YONG KEE CHAE ,  Soo Young Choi ,  Shuran Sheng

发明人： YONG KEE CHAE ,  Soo Young Choi ,  Shuran Sheng

IPC分类号： H01L31/18 ,  H01L31/0376

CPC分类号： H01L31/075 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/0245 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02573 ,  H01L21/0262 ,  H01L31/03685 ,  H01L31/076 ,  H01L31/1824 ,  Y02E10/545 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

摘要： Embodiments of the invention as recited in the claims relate to thin film multi-junction solar cells and methods and apparatuses for forming the same. In one embodiment a method of forming a thin film multi-junction solar cell over a substrate is provided. The method comprises positioning a substrate in a reaction zone, providing a gas mixture to the reaction zone, wherein the gas mixture comprises a silicon containing compound and hydrogen gas, forming a first region of an intrinsic type microcrystalline silicon layer on the substrate at a first deposition rate, forming a second region of the intrinsic type microcrystalline silicon layer on the substrate at a second deposition rate higher than the first deposition rate, and forming a third region of the intrinsic type microcrystalline silicon layer on the substrate at a third deposition rate lower than the second deposition rate.

摘要翻译： 权利要求中所述的本发明的实施例涉及薄膜多结太阳能电池及其形成方法和装置。 在一个实施例中，提供了一种在衬底上形成薄膜多结太阳能电池的方法。 该方法包括将基底定位在反应区中，向反应区提供气体混合物，其中气体混合物包含含硅化合物和氢气，在第一个衬底上形成本征型微晶硅层的第一区域 沉积速率，以高于第一沉积速率的第二沉积速率在衬底上形成本征型微晶硅层的第二区域，以及在第三沉积速率下在衬底上形成本征型微晶硅层的第三区域 比第二沉积速率。

公开(公告)号：US20080264480A1

公开(公告)日：2008-10-30

申请号：US12164236

申请日：2008-06-30

申请人： Soo-Young Choi ,  Yong-Kee Chae ,  Shuran Sheng

发明人： Soo-Young Choi ,  Yong-Kee Chae ,  Shuran Sheng

IPC分类号： H01L31/00

CPC分类号： H01L31/076 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/18 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/547 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

摘要： Embodiments of the present invention generally relate to solar cells and methods and apparatuses for forming the same. More particularly, embodiments of the present invention relate to thin film multi-junction solar cells and methods and apparatuses for forming the same.

公开(公告)号：US20130199606A1

公开(公告)日：2013-08-08

申请号：US13366817

申请日：2012-02-06

申请人： Shuran Sheng ,  Lin Zhang ,  David Tanner ,  Xuesong Lu

发明人： Shuran Sheng ,  Lin Zhang ,  David Tanner ,  Xuesong Lu

IPC分类号： H01L31/0224 ,  H01L31/18

CPC分类号： H01L31/022425 ,  H01L31/068 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

摘要： Embodiments of the present invention are directed to a process for making solar cells. In one embodiment, a method of manufacturing a solar cell device, includes providing a substrate having a first surface and a second surface, selectively disposing a first metal paste in a first pattern on the first surface of the substrate, forming a first dielectric layer over the first metal paste on the first surface of the substrate, forming a second metal paste in a second pattern over the first dielectric layer align with the first metal paste, and simultaneously heating the first and the second metal pastes disposed on the first surface of the substrate to form a first group of contacts on the first surface of the substrate, wherein at least a portion of the second metal paste forms the first group of contacts that each extend through the first dielectric layer to connect with the first metal paste to the first surface of the substrate.

摘要翻译： 本发明的实施例涉及制造太阳能电池的方法。 在一个实施例中，制造太阳能电池器件的方法包括提供具有第一表面和第二表面的衬底，在衬底的第一表面上选择性地将第一金属膏以第一图案布置，形成第一介电层， 在第一介电层上形成第二图案的第二金属膏与第一金属膏对准，同时加热设置在第一金属膏的第一表面上的第一和第二金属浆料， 衬底，以在衬底的第一表面上形成第一组触点，其中第二金属膏的至少一部分形成第一组触点，每组触点延伸穿过第一电介质层，以将第一金属膏连接到第一组 基板的表面。

公开(公告)号：US20110120536A1

公开(公告)日：2011-05-26

申请号：US12623277

申请日：2009-11-20

申请人： DAPENG WANG ,  Shuran Sheng ,  Yong-Kee Chae

发明人： DAPENG WANG ,  Shuran Sheng ,  Yong-Kee Chae

IPC分类号： H01L31/0236 ,  H01L31/18

CPC分类号： H01L31/075 ,  H01L31/02165 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/02366 ,  H01L31/056 ,  H01L31/1816 ,  H01L31/202 ,  Y02E10/52 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

摘要： A method and apparatus for forming a roughened wavelength selective reflector layer are provided. In one embodiment, a method of forming a solar cell device includes forming a wavelength selective reflector layer between a first p-i-n junction and a second p-i-n junction formed on a substrate, and performing a post treatment process on the wavelength selective reflector layer to form the uneven surface with the roughness greater than 20 nm. In another embodiment, a photovoltaic device includes a wavelength selective reflector layer disposed between a first p-i-n junction and a second p-i-n junction formed on a substrate, wherein the wavelength selective reflector layer has an uneven surface having a surface roughness greater than 20 nm.

摘要翻译： 提供了形成粗糙波长选择反射层的方法和装置。 在一个实施例中，形成太阳能电池器件的方法包括在形成在衬底上的第一pin结和第二pin结之间形成波长选择性反射层，并对波长选择反射层进行后处理，以形成不均匀的 表面粗糙度大于20nm。 在另一个实施例中，光伏器件包括设置在形成在衬底上的第一p-i-n结和第二p-i-n结之间的波长选择反射层，其中波长选择反射层具有表面粗糙度大于20nm的不平坦表面。

公开(公告)号：US20110053356A1

公开(公告)日：2011-03-03

申请号：US12553007

申请日：2009-09-02

申请人： Xiesen Yang ,  Yong-Kee Chae ,  Shuran Sheng ,  Liwei Li

发明人： Xiesen Yang ,  Yong-Kee Chae ,  Shuran Sheng ,  Liwei Li

IPC分类号： H01L21/205

CPC分类号： H01L21/0262 ,  C23C16/24 ,  C23C16/452 ,  C23C16/45512 ,  C23C16/45565 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32449 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02595

摘要： Embodiments of the present invention generally relate to methods of forming a microcrystalline silicon layer on a substrate in a deposition chamber. In, one embodiment, the method includes flowing a processing gas into a diffuser region between a backing plate and a showerhead of the deposition chamber, flowing the processing gas through a plurality of holes in the showerhead and into a process volume between the showerhead and a substrate support in the deposition chamber, igniting a plasma in the process volume, back-flowing gas ions formed in the plasma through the plurality of holes in the showerhead and into the diffuser region, mixing the gas ions and the processing gas in the diffuser region, re-flowing the gas ions and processing gas through the plurality of holes in the showerhead and into the process volume, and depositing a microcrystalline silicon layer on the substrate.

摘要翻译： 本发明的实施方案一般涉及在沉积室中的衬底上形成微晶硅层的方法。 在一个实施例中，该方法包括将处理气体流入到沉积室的背板和喷头之间的扩散器区域中，使处理气体通过喷头中的多个孔流入喷头和喷淋头之间的过程体积 在沉积室中的基板支撑件，点燃处理体积中的等离子体，在等离子体中形成的回流气体离子通过喷头中的多个孔并进入扩散器区域，将气体离子和处理气体混合在扩散器区域 使气体离子和处理气体再次流过喷头中的多个孔并进入处理体积，并在基底上沉积微晶硅层。

公开(公告)号：US20100258169A1

公开(公告)日：2010-10-14

申请号：US12422551

申请日：2009-04-13

申请人： Shuran Sheng ,  Yong Kee Chae

发明人： Shuran Sheng ,  Yong Kee Chae

IPC分类号： H01L31/00 ,  H01L21/20

CPC分类号： H01L21/02532 ,  H01L21/02576 ,  H01L21/02579 ,  H01L21/02595 ,  H01L21/0262 ,  H01L31/076 ,  H01L31/077 ,  H01L31/1824 ,  Y02E10/545 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

摘要： A method for an intrinsic type microcrystalline silicon layer is provided. In one embodiment, the microcrystalline silicon layer is fabricated by providing a substrate into a processing chamber, supplying a gas mixture into the processing chamber, applying a RF power at a first mode in the gas mixture, pulsing the gas mixture into the processing chamber, and applying the RF power at a second mode in the pulsed gas mixture.

摘要翻译： 提供本征型微晶硅层的方法。 在一个实施例中，微晶硅层通过将衬底提供到处理室中，将气体混合物供应到处理室中，在气体混合物中以第一模式施加RF功率，将气体混合物脉冲到处理室中， 以及在脉冲气体混合物中以第二模式施加RF功率。

公开(公告)号：US20090142878A1

公开(公告)日：2009-06-04

申请号：US12263253

申请日：2008-10-31

申请人： Soo Young Choi ,  Yong-Kee Chae ,  Shuran Sheng ,  Liwei Li

发明人： Soo Young Choi ,  Yong-Kee Chae ,  Shuran Sheng ,  Liwei Li

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L31/18

CPC分类号： H01L21/0262 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02576 ,  H01L21/02595 ,  H01L21/02667 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/02366 ,  H01L31/075 ,  H01L31/076 ,  H01L31/186 ,  H01L31/202 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

摘要： Embodiments of the present invention include an improved method of forming a thin film solar cell device using a plasma processing treatment between two or more deposition steps. Embodiments of the invention also generally provide a method and apparatus for forming the same. The present invention may be used to advantage to form other single junction, tandem junction, or multi-junction solar cell devices.

摘要翻译： 本发明的实施例包括使用在两个或更多个沉积步骤之间的等离子体处理处理来形成薄膜太阳能电池器件的改进方法。 本发明的实施例还通常提供用于形成该方法和装置的方法和装置。 本发明可用于形成其它单结，串联结或多结太阳能电池器件。

公开(公告)号：US20080245414A1

公开(公告)日：2008-10-09

申请号：US11733184

申请日：2007-04-09

申请人： Shuran Sheng ,  Yong Kee Chae ,  Tae Kyung Won ,  Liwei Li ,  Soo Young Choi ,  Yanping Li ,  Joe Griffith Cruz

发明人： Shuran Sheng ,  Yong Kee Chae ,  Tae Kyung Won ,  Liwei Li ,  Soo Young Choi ,  Yanping Li ,  Joe Griffith Cruz

IPC分类号： H01L31/00

CPC分类号： H01L31/022425 ,  H01L31/0745 ,  H01L31/076 ,  H01L31/077 ,  H01L31/1824 ,  H01L31/202 ,  Y02E10/545 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

摘要： An improved PV solar cell structure and methods for manufacturing the same are provided. In one embodiment, a photovoltaic device includes a first photoelectric conversion unit, a first transparent conductive oxide layer and a first microcrystalline silicon layer disposed between and in contact with the photoelectric conversion unit and the transparent conductive oxide layer. In another embodiment, a method of forming a photovoltaic solar cell includes providing a substrate having a first transparent conductive oxide layer disposed thereon, depositing a first microcrystalline silicon layer on the transparent conductive oxide layer, and forming a first photoelectric conversion unit on the microcrystalline silicon layer.

摘要翻译： 提供了一种改进的PV太阳能电池结构及其制造方法。 在一个实施例中，光伏器件包括第一光电转换单元，第一透明导电氧化物层和设置在光电转换单元和透明导电氧化物层之间并与之接触的第一微晶硅层。 在另一实施例中，形成光伏太阳能电池的方法包括提供一个其上设置有第一透明导电氧化物层的衬底，在透明导电氧化物层上沉积第一微晶硅层，以及在微晶硅上形成第一光电转换单元 层。

公开(公告)号：US08252624B2

公开(公告)日：2012-08-28

申请号：US12980132

申请日：2010-12-28

申请人： David Tanner ,  Hien-Minh Huu Le ,  Quancheng (Tommy) Gu ,  Shuran Sheng ,  Yong Kee Chae ,  Tzay-Fa (Jeff) Su ,  Dapeng Wang

发明人： David Tanner ,  Hien-Minh Huu Le ,  Quancheng (Tommy) Gu ,  Shuran Sheng ,  Yong Kee Chae ,  Tzay-Fa (Jeff) Su ,  Dapeng Wang

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： H01L31/022466 ,  H01L21/67236 ,  H01L21/67736 ,  H01L31/02168 ,  H01L31/03921 ,  H01L31/056 ,  H01L31/075 ,  H01L31/076 ,  H01L31/202 ,  Y02E10/52 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

摘要： A method and apparatus for forming solar cells is provided. In one embodiment, a photovoltaic device includes a antireflection coating layer disposed on a first surface of a substrate, a barrier layer disposed on a second surface of the substrate, a first transparent conductive oxide layer disposed on the barrier layer, a conductive contact layer disposed on the first transparent conductive oxide layer, a first p-i-n junction formed on the conductive contact layer, and a second transparent conductive oxide layer formed on the first p-i-n junction.

摘要翻译： 提供一种用于形成太阳能电池的方法和装置。 在一个实施例中，光伏器件包括设置在衬底的第一表面上的抗反射涂层，设置在衬底的第二表面上的阻挡层，设置在阻挡层上的第一透明导电氧化物层，设置在导电接触层 在第一透明导电氧化物层上形成在导电接触层上的第一pin结，以及形成在第一pin结上的第二透明导电氧化物层。