公开(公告)号：US20060051972A1

公开(公告)日：2006-03-09

申请号：US10936156

申请日：2004-09-07

申请人： Chieh Chen ,  Atul Kumar ,  Yuri Pikovsky ,  Chung Lee

发明人： Chieh Chen ,  Atul Kumar ,  Yuri Pikovsky ,  Chung Lee

IPC分类号： H01L21/469 ,  C23C16/00

CPC分类号： H01L21/02271 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/0212 ,  H01L21/02123 ,  H01L21/02126 ,  H01L21/02131 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/022 ,  H01L21/312 ,  H01L21/316 ,  H01L21/76808 ,  H01L21/76811 ,  H01L21/76835 ,  Y10T29/41

摘要： A method of forming a hybrid inorganic/organic dielectric layer on a substrate for use in an integrated circuit is provided, wherein the method includes forming a first dielectric layer on the substrate via chemical vapor deposition, and forming a second dielectric layer on the first dielectric layer via chemical vapor deposition, wherein one of the first dielectric layer and the second dielectric layer is formed from an organic dielectric material, and wherein the other of the first dielectric layer and the second dielectric layer is formed from an inorganic dielectric material.

摘要翻译： 提供了一种在用于集成电路的衬底上形成杂化无机/有机电介质层的方法，其中所述方法包括通过化学气相沉积在衬底上形成第一电介质层，并在第一电介质上形成第二电介质层 层，其中所述第一介电层和所述第二介电层中的一个由有机介电材料形成，并且其中所述第一介电层和所述第二介电层中的另一个由无机介电材料形成。

公开(公告)号：US20050158454A1

公开(公告)日：2005-07-21

申请号：US11071668

申请日：2005-03-02

申请人： Chung Lee ,  Atul Kumar ,  Chieh Chen ,  Yuri Pikovsky

发明人： Chung Lee ,  Atul Kumar ,  Chieh Chen ,  Yuri Pikovsky

IPC分类号： B05D3/02 ,  B05D7/24 ,  B29C71/02 ,  C08G61/02 ,  C08J5/18 ,  H01L21/312 ,  B05D5/06

CPC分类号： B29C71/02 ,  B05D1/60 ,  B05D3/0254 ,  B29C2071/022 ,  B29C2071/025 ,  B29C2071/027 ,  C08G61/02 ,  C08G61/025 ,  C08G2261/3424 ,  C08J5/18 ,  H01L21/0212 ,  H01L21/3127

摘要： A method of forming an organic light-emitting display on a substrate is disclosed, wherein the method includes forming a thin film transistor portion of the device on the substrate, wherein the thin film transistor portion includes control circuitry having an array of thin film transistors; and forming a light-emitting portion of the device over the thin film transistor portion, wherein the light-emitting portion includes an organic light-emitting layer, an electrode layer in electrical communication with the organic light-emitting layer, a polymer barrier layer disposed between the organic light-emitting layer and the electrode, and at least one other passive polymer layer, wherein the barrier layer and at least one other passive polymer layer are formed from a same polymer material.

摘要翻译： 公开了一种在衬底上形成有机发光显示器的方法，其中该方法包括在衬底上形成器件的薄膜晶体管部分，其中薄膜晶体管部分包括具有薄膜晶体管阵列的控制电路; 以及在所述薄膜晶体管部分上形成所述器件的发光部分，其中所述发光部分包括有机发光层，与所述有机发光层电连通的电极层，设置有聚合物阻挡层 在有机发光层和电极之间以及至少一个其它被动聚合物层，其中阻挡层和至少一个其它被动聚合物层由相同的聚合物材料形成。

公开(公告)号：US20050223989A1

公开(公告)日：2005-10-13

申请号：US10816179

申请日：2004-03-31

申请人： Chung Lee ,  Atul Kumar ,  Chieh Chen ,  Yuri Pikovsky

发明人： Chung Lee ,  Atul Kumar ,  Chieh Chen ,  Yuri Pikovsky

IPC分类号： B05D1/18 ,  B05D3/06 ,  B05D7/00 ,  B05D7/24 ,  C23C16/00 ,  H01L21/312

CPC分类号： H01L21/0212 ,  B05D1/185 ,  B05D1/60 ,  B05D3/065 ,  B05D3/067 ,  B05D7/52 ,  H01L21/02263 ,  H01L21/02304 ,  H01L21/02337 ,  H01L21/02362 ,  H01L21/3121 ,  H01L21/3127

摘要： A system for depositing a composite polymer dielectric film on a substrate is disclosed, wherein the composite polymer dielectric film includes a low dielectric constant polymer layer disposed between a first silane-containing layer and a second silane-containing layer. The system includes a process module having a processing chamber and a monomer delivery system configured to admit a gas-phase monomer into the processing chamber for deposition of the low dielectric constant polymer layer, a post-treatment module for annealing the composite polymer dielectric film, and a silane delivery system configured to admit a vapor flow containing a silane precursor into at least one of the process module and the post-treatment module for the formation of the first silane-containing layer and the silane-containing layer.

摘要翻译： 公开了一种用于在基板上沉积复合聚合物电介质膜的系统，其中复合聚合物电介质膜包括设置在第一含硅烷层和第二含硅烷层之间的低介电常数聚合物层。 该系统包括具有处理室和单体输送系统的处理模块，该单体输送系统构造成将气相单体进入处理室以沉积低介电常数聚合物层，用于退火复合聚合物电介质膜的后处理模块， 以及硅烷输送系统，其被构造成允许含有硅烷前体的蒸汽流进入至少一个工艺模块和后处理模块中，用于形成第一含硅烷层和含硅烷层。

公开(公告)号：US20050174045A1

公开(公告)日：2005-08-11

申请号：US11071764

申请日：2005-03-02

申请人： Chung Lee ,  Atul Kumar ,  Chieh Chen ,  Yuri Pikovsky

发明人： Chung Lee ,  Atul Kumar ,  Chieh Chen ,  Yuri Pikovsky

IPC分类号： B05D3/02 ,  B05D7/24 ,  B29C71/02 ,  C08G61/02 ,  C08J5/18 ,  H01L21/312 ,  H01J1/62

CPC分类号： B29C71/02 ,  B05D1/60 ,  B05D3/0254 ,  B29C2071/022 ,  B29C2071/025 ,  B29C2071/027 ,  C08G61/02 ,  C08G61/025 ,  C08G2261/3424 ,  C08J5/18 ,  H01L21/0212 ,  H01L21/3127

摘要： An organic light-emitting display is disclosed, wherein the organic light-emitting display includes a thin film transistor portion including an array of thin film transistors, and a light-emitting portion including an array of organic light-emitting elements in electrical communication with the array of thin film transistors, wherein the light-emitting portion is formed from a plurality of layers of materials, and wherein the plurality of layers of materials in the light-emitting portion includes a plurality of passive polymer layers each formed from a single polymer material. Systems and methods for forming organic light-emitting displays are also disclosed.

摘要翻译： 公开了一种有机发光显示器，其中所述有机发光显示器包括薄膜晶体管部分，所述薄膜晶体管部分包括薄膜晶体管阵列，以及发光部分，包括与所述有机发光元件电连通的有机发光元件阵列 薄膜晶体管阵列，其中所述发光部分由多层材料形成，并且其中所述发光部分中的所述多个材料层包括多个被动聚合物层，每个被动聚合物层由单一聚合物材料形成 。 还公开了用于形成有机发光显示器的系统和方法。

公开(公告)号：US07309395B2

公开(公告)日：2007-12-18

申请号：US10816179

申请日：2004-03-31

申请人： Chung J. Lee ,  Atul Kumar ,  Chieh Chen ,  Yuri Pikovsky

发明人： Chung J. Lee ,  Atul Kumar ,  Chieh Chen ,  Yuri Pikovsky

IPC分类号： C23C16/52 ,  C23C16/04 ,  C23C16/22 ,  C23C16/452 ,  C23C16/48 ,  C23F1/00 ,  H01L21/306

CPC分类号： H01L21/0212 ,  B05D1/185 ,  B05D1/60 ,  B05D3/065 ,  B05D3/067 ,  B05D7/52 ,  H01L21/02263 ,  H01L21/02304 ,  H01L21/02337 ,  H01L21/02362 ,  H01L21/3121 ,  H01L21/3127

摘要： A system for depositing a composite polymer dielectric film on a substrate is disclosed, wherein the composite polymer dielectric film includes a low dielectric constant polymer layer disposed between a first silane-containing layer and a second silane-containing layer. The system includes a process module having a processing chamber and a monomer delivery system configured to admit a gas-phase monomer into the processing chamber for deposition of the low dielectric constant polymer layer, a post-treatment module for annealing the composite polymer dielectric film, and a silane delivery system configured to admit a vapor flow containing a silane precursor into at least one of the process module and the post-treatment module for the formation of the first silane-containing layer and the silane-containing layer.

摘要翻译： 公开了一种用于在基板上沉积复合聚合物电介质膜的系统，其中复合聚合物电介质膜包括设置在第一含硅烷层和第二含硅烷层之间的低介电常数聚合物层。 该系统包括具有处理室和单体输送系统的处理模块，该单体输送系统构造成将气相单体进入处理室以沉积低介电常数聚合物层，用于退火复合聚合物电介质膜的后处理模块， 以及硅烷输送系统，其被构造成允许含有硅烷前体的蒸汽流进入至少一个工艺模块和后处理模块中，用于形成第一含硅烷层和含硅烷层。

公开(公告)号：US07425346B2

公开(公告)日：2008-09-16

申请号：US10936156

申请日：2004-09-07

申请人： Chieh Chen ,  Atul Kumar ,  Yuri Pikovsky ,  Chung J. Lee

发明人： Chieh Chen ,  Atul Kumar ,  Yuri Pikovsky ,  Chung J. Lee

IPC分类号： B05D5/12 ,  C23C16/18

CPC分类号： H01L21/02271 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/0212 ,  H01L21/02123 ,  H01L21/02126 ,  H01L21/02131 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/022 ,  H01L21/312 ,  H01L21/316 ,  H01L21/76808 ,  H01L21/76811 ,  H01L21/76835 ,  Y10T29/41

摘要： A method of forming a hybrid inorganic/organic dielectric layer on a substrate for use in an integrated circuit is provided, wherein the method includes forming a first dielectric layer on the substrate via chemical vapor deposition, and forming a second dielectric layer on the first dielectric layer via chemical vapor deposition, wherein one of the first dielectric layer and the second dielectric layer is formed from an organic dielectric material, and wherein the other of the first dielectric layer and the second dielectric layer is formed from an inorganic dielectric material.

摘要翻译： 提供了一种在用于集成电路的衬底上形成杂化无机/有机电介质层的方法，其中所述方法包括通过化学气相沉积在衬底上形成第一电介质层，并在第一电介质上形成第二电介质层 层，其中所述第一介电层和所述第二介电层中的一个由有机介电材料形成，并且其中所述第一介电层和所述第二介电层中的另一个由无机介电材料形成。

公开(公告)号：US20050000435A1

公开(公告)日：2005-01-06

申请号：US10900878

申请日：2004-07-27

申请人： Chung Lee ,  Atul Kumar ,  Chieh Chen

发明人： Chung Lee ,  Atul Kumar ,  Chieh Chen

IPC分类号： B01J19/12 ,  B01J19/18 ,  B05D1/00 ,  B05D3/02 ,  B05D3/06 ,  B05D7/24 ,  B29C71/02 ,  C08G61/02 ,  C08J5/18 ,  C08L65/00 ,  C08L65/04 ,  C23C16/452 ,  F28D17/00 ,  H01L21/312 ,  H01L21/768 ,  H01L23/532 ,  C23C16/00

CPC分类号： H01L23/5329 ,  B01J19/123 ,  B01J19/1887 ,  B01J2219/00153 ,  B01J2219/00159 ,  B01J2219/0879 ,  B05D1/007 ,  B05D1/60 ,  B05D3/0254 ,  B05D3/061 ,  B05D3/062 ,  B29C71/02 ,  B29C2071/022 ,  B29C2071/025 ,  B29C2071/027 ,  C08G61/02 ,  C08G61/025 ,  C08G2261/3424 ,  C08J5/18 ,  C08J2365/04 ,  C08L65/00 ,  C08L65/04 ,  C23C16/452 ,  F28D17/005 ,  H01L21/0212 ,  H01L21/02263 ,  H01L21/312 ,  H01L21/3127 ,  H01L23/53238 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/00

摘要： A reactor for forming a reactive intermediate from a precursor for the deposition of a low dielectric constant polymer film via transport polymerization is disclosed. The reactor includes an inlet for admitting a flow of the precursor into the reactor, an interior for converting the precursor to the reactive intermediate, an outlet for admitting a flow of the reactive intermediate out of the interior, and at least one of an energy source and an oxidant source associated with the outlet for decomposing residues in the outlet.

摘要翻译： 公开了一种用于通过传输聚合沉积低介电常数聚合物膜的前体形成反应性中间体的反应器。 反应器包括用于将前体流入入反应器的入口，用于将前体转化为反应性中间体的内部，用于允许反应性中间体流出内部的出口和至少一个能量源 以及与出口相关联的用于分解出口中残留物的氧化剂源。

公开(公告)号：US20070119369A1

公开(公告)日：2007-05-31

申请号：US11642383

申请日：2006-12-19

申请人： Chung Lee ,  Atul Kumar ,  Chieh Chen

发明人： Chung Lee ,  Atul Kumar ,  Chieh Chen

IPC分类号： C23C16/00

CPC分类号： H01L23/5329 ,  B01J19/123 ,  B01J19/1887 ,  B01J2219/00153 ,  B01J2219/00159 ,  B01J2219/0879 ,  B05D1/007 ,  B05D1/60 ,  B05D3/0254 ,  B05D3/061 ,  B05D3/062 ,  B29C71/02 ,  B29C2071/022 ,  B29C2071/025 ,  B29C2071/027 ,  C08G61/02 ,  C08G61/025 ,  C08G2261/3424 ,  C08J5/18 ,  C08J2365/04 ,  C08L65/00 ,  C08L65/04 ,  C23C16/452 ,  F28D17/005 ,  H01L21/0212 ,  H01L21/02263 ,  H01L21/312 ,  H01L21/3127 ,  H01L23/53238 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/00

摘要： A method of producing a reactive intermediate having at least two free radicals from a precursor having a general formula of Xm—Ar—(CZ′Z″Y)n via a reactor made at least partially of a material M that is reactive with the precursor to produce at least one of MaYb and McXd is disclosed. The method comprises heating the reactor, introducing a flow of precursor into the reactor, contacting the precursor with the material M to form the reactive intermediate and at least one of MaYb and McXd, and reducing MaYb to M and a compound comprising Y and/or reducing McXd to M and a compound comprising X after forming the reactive intermediate and the at least one of MaYb and McXd.

摘要翻译： 一种制备具有至少两个自由基的反应性中间体的方法，所述反应性中间体具有通式X a -Ar-（CZ'Z“Y”）n前体的前体经由 至少部分由材料M制成的反应器，该反应器与前体反应以产生至少一个M a，B和M c， 公开了X 。 该方法包括加热反应器，将前体流引入反应器中，将前体与材料M接触以形成反应性中间体，以及至少一种M a 并且将M和M和包含Y和/或C的化合物还原成M和包含Y和/ 或者在形成反应性中间体之后还原M和包含X的化合物，以及至少一个M a > b＆lt;＆gt;和＆lt;＆lt; C＆gt;＆lt; d＆gt;

公开(公告)号：US20050274322A1

公开(公告)日：2005-12-15

申请号：US11155209

申请日：2005-06-16

申请人： Chung Lee ,  Atul Kumar ,  Chieh Chen

发明人： Chung Lee ,  Atul Kumar ,  Chieh Chen

IPC分类号： B01J19/12 ,  B01J19/18 ,  B05D1/00 ,  B05D3/02 ,  B05D3/06 ,  B05D7/24 ,  B29C71/02 ,  C08G61/02 ,  C08J5/18 ,  C08L65/00 ,  C08L65/04 ,  C23C16/452 ,  F28D17/00 ,  H01L21/312 ,  H01L21/768 ,  H01L23/532 ,  C23C16/00

CPC分类号： B01J19/123 ,  B01J19/1887 ,  B01J2219/00153 ,  B01J2219/00159 ,  B01J2219/0879 ,  B05D1/007 ,  B05D1/60 ,  B05D3/0254 ,  B05D3/061 ,  B05D3/062 ,  B29C71/02 ,  B29C2071/022 ,  B29C2071/025 ,  B29C2071/027 ,  C08G61/02 ,  C08G61/025 ,  C08G2261/3424 ,  C08J5/18 ,  C08J2365/04 ,  C08L65/00 ,  C08L65/04 ,  C23C16/452 ,  F28D17/005 ,  H01L21/0212 ,  H01L21/02271 ,  H01L21/312 ,  H01L21/3127 ,  H01L23/53238 ,  H01L23/5329 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/12044 ,  H01L2924/00

摘要： A reactor for forming a reactive intermediate for a transport polymerization process is disclosed, wherein the reactor includes an exterior unit having an inlet, an outlet, and an interior disposed between the inlet and the outlet; a heater body located in said interior, wherein the heater body is at least partially conductively insulated from said reactor; an energy source coupled outside said reactor for providing energy to said heater body via radiative heat transfer; and an interior surface located in the interior, wherein the interior surface is at least partially formed from a material M that reacts with at least one of X and Y to remove at least one of X and Y from the precursor thereby forming the reactive intermediate and at least one of a compound MaYb and a compound McXd.

摘要翻译： 公开了一种用于形成用于运输聚合方法的反应性中间体的反应器，其中所述反应器包括具有入口，出口和设置在所述入口和所述出口之间的内部的外部单元; 位于所述内部的加热器主体，其中所述加热器主体至少部分地与所述反应器导电绝缘; 耦合在所述反应器外部的能量源，用于经由辐射热传递向所述加热器主体提供能量; 以及位于所述内部的内表面，其中所述内表面至少部分地由与所述X和Y中的至少一个反应的材料M形成，以从所述前体中除去X和Y中的至少一个，从而形成所述反应性中间体， 化合物M a a B b和化合物M C x D 2中的至少一个。

公开(公告)号：US20070216300A1

公开(公告)日：2007-09-20

申请号：US11800938

申请日：2007-05-07

申请人： Chung Lee ,  Chieh Chen ,  Atul Kumar

发明人： Chung Lee ,  Chieh Chen ,  Atul Kumar

IPC分类号： H01J1/62 ,  B05D5/00

CPC分类号： C08G61/025 ,  B29C71/02 ,  B29C2071/022 ,  B29C2071/025 ,  B29C2071/027 ,  C08G61/02 ,  C08G2261/3424 ,  C08J5/18 ,  H01L21/0212 ,  H01L21/02186 ,  H01L21/022 ,  H01L21/3127 ,  H01L51/448 ,  Y02E10/549

摘要： An organic opto-electronic device is disclosed. One embodiment comprises a substrate, one or more organic device layers disposed over the substrate, and a multi-layer barrier disposed over the one or more organic device layers, the multi-layer barrier comprising a parylene-based layer and a layer comprising an ultraviolet protectant material.

摘要翻译： 公开了一种有机光电器件。 一个实施例包括衬底，设置在衬底上的一个或多个有机器件层，以及设置在一个或多个有机器件层上的多层势垒层，所述多层势垒包括聚对二甲苯基层和包含紫外线的层 保护材料。