窒化アルミニウム接合体及びその製造方法
    131.
    发明申请
    窒化アルミニウム接合体及びその製造方法 审中-公开
    氮化铝结合体及其制造方法

    公开(公告)号:WO2004110957A1

    公开(公告)日:2004-12-23

    申请号:PCT/JP2004/008584

    申请日:2004-06-11

    Inventor: 江崎 龍夫

    Abstract: 本発明の窒化アルミニウム接合体は、接着剤を用いることなく互いに接合された2枚の窒化アルミニウム焼結体板と、その接合界面の一部分に形成されている金属層とからなり、前記接合体の中心を通る側断面でみて、前記接合界面における前記焼結体板同士が直接対面している直接接合領域には、接合界面に沿っての長さLが平均して0.5~4μmの空孔が複数存在し、且つ該空孔により非接合部が形成されており、 前記側断面について、下記式(1): 非接合率Q=(X/Y)×100   …(1)  式中、Xは、直接結合領域に存在する前記空孔の長さLの合計値で表される前記非接合部の接合界面方向長さであり、     Yは、前記空孔が存在している直接結合領域の長さである、により算出される非接合率Qが、平均して0.1~0.5%の範囲にあることを特徴とする。かかるAlN接合体は、内部の金属層の反りが有効に抑制され、接合強度が高く、且つ耐久性にも優れており、半導体製造装置において、半導体ウエハーを載置して処理するためのプレートヒーターや静電チャックとして有用である。

    Abstract translation: 本发明的氮化铝结合体的特征在于包括两个不使用任何粘合剂共轭的氮化铝烧结体板,以及在其共轭界面的一部分中形成的金属层,其中,从横截面图 共轭体的中心,共轭界面上的烧结体板本身直接相对的直接共轭区域具有多个孔,其平均在共轭界面的长度为0.5-4μm,多个孔形成非 - 共轭部分。 在横截面图中,由下式(1)计算的非共轭百分比(Q)平均为0.1〜0.5% 非共轭百分比(Q)=(X / Y)×100(1)其中X是共轭界面方向上的非共轭部分的长度,以孔的各自长度的总数 存在于直接共轭区域中,Y是存在孔的直接共轭区域的长度。 这种AlN共轭体在内部金属层中的翘曲有效地抑制,具有高共轭强度,耐久性优异,在半导体制造装置中,作为板状加热器或静电卡盘用于加工位于其上的半导体晶片 。

    PROCEDE DE METALLISATION ET/OU DE BRASAGE PAR UN ALLIAGE DE SILICIUM DE PIECES EN CERAMIQUE OXYDE NON MOUILLABLE PAR LEDIT ALLIAGE
    133.
    发明申请
    PROCEDE DE METALLISATION ET/OU DE BRASAGE PAR UN ALLIAGE DE SILICIUM DE PIECES EN CERAMIQUE OXYDE NON MOUILLABLE PAR LEDIT ALLIAGE 审中-公开
    使用硅合金的冶金和/或制造方法,用于通过合金合金非易熔的氧化物陶瓷部件

    公开(公告)号:WO2003037823A1

    公开(公告)日:2003-05-08

    申请号:PCT/FR2002/003656

    申请日:2002-10-24

    Abstract: L'invention concerne un procédé de métallisation par un alliage de silicium fusible à une température T1 de certaines zones de la surface d'une pièce en céramique oxyde non mouillable par ledit alliage, comprenant successivement une étape de dépôt de carbone sur lesdites zones à métalliser de ladite pièce, une étape de dépôt de l'alliage de silicium sous forme solide sur au moins une partie de ladite pièce, de façon à ce que ledit alliage ait au moins un point de contact avec lesdites zones à métalliser suivie d'une étape de chauffage à une température supérieure ou égale à T1, ledit alliage se rassemblant à l'état fondu sur lesdites zones à métalliser. Ce procédé s'applique également au brasage de pièces, dont l'une au moins est une pièce en céramique oxyde non mouillable par ladite composition.Application desdits procédés au domaine de l'électronique, de l'électrotechnique, du génie thermique, du génie chimique.

    Abstract translation: 本发明涉及使用在温度T1下熔化的硅合金的金属化方法。 根据本发明,上述合金用于对不能被所述合金润湿的氧化物陶瓷部件的表面的某些区域进行金属化。 本发明的方法包括以下连续步骤:将碳沉积在待金属化部分的区域上; 固体形式的硅合金沉积在所述部件的至少一个部分上,使得在合金和待金属化区域之间存在至少一个接触点; 然后,将该部分和组合物一起加热至大于或等于T1的温度,该熔融合金收集在待金属化区域上。 上述方法也可用于包括至少一种不被所述组合物润湿的氧化物陶瓷部件的部件的钎焊。 本发明的方法可用于电子,电气工程,热工程和化学工程领域。

    PROCESS FOR MANUFACTURING A SINTERED STRUCTURAL CERAMIC PART OF ALUMINUM NITRIDE
    138.
    发明申请
    PROCESS FOR MANUFACTURING A SINTERED STRUCTURAL CERAMIC PART OF ALUMINUM NITRIDE 审中-公开
    硝酸铝烧结结构陶瓷部件的制造工艺

    公开(公告)号:WO1998029354A1

    公开(公告)日:1998-07-09

    申请号:PCT/FR1997002042

    申请日:1997-11-13

    Abstract: The invention process is comprised of the following steps: a) preparation of a homogeneous mixture of boron nitride BN, aluminum, and a binder in the form of a liquid or paste, which will solidify by means of a chemical reaction and/or the drying of a thinner, the boron nitride and the aluminum being in powder form; b) forming of said mixture by mold casting, followed by pressing and heating at a temperature not higher than approximately 70 DEG C, in order to harden the binder and obtain a sold raw mix which can be handled; c) elimination of the binder by heating at a temperature of about 300 DEG C; d) impregnation of the pores of the raw mix by immersion in a bath of aluminum or aluminum alloy in molten state, separation of the impregnated preform from the bath, and cooling; e) machining of the Al-BN composite preform to obtain the final dimensions of the desired part; f) sintering and reaction at a temperature of between 900 and 1000 DEG C in order to form an aluminum nitride-based ceramic object; g) thermal treatment at a temperature of between 1100 and 1250 DEG C to produce the migration of the residual aluminum from the pores of the part, and the mechanical elimination of the aluminum collected on the surface after possible cooling.

    Abstract translation: 本发明方法包括以下步骤:a)制备氮化硼BN,铝和液体或糊状物形式的粘合剂的均匀混合物,其将通过化学反应和/或干燥而固化 较薄的氮化硼和铝为粉末形式; b)通过模铸法形成所述混合物,然后在不高于约70℃的温度下加压和加热,以使粘合剂硬化并获得可以处理的出售的原料混合物; c)通过在约300℃的温度下加热消除粘合剂; d)通过浸入熔融状态的铝或铝合金浴中浸渍原料混合物的孔,将浸渍的预成型体与浴分离并冷却; e)对Al-BN复合预制件进行加工以获得所需部件的最终尺寸; f)在900-1000℃的温度下烧结和反应以形成氮化铝基陶瓷物体; g)在1100至1250℃的温度下进行热处理,以产生残留的铝从部件的孔隙迁移,以及在可能的冷却后在表面上收集的铝的机械消除。

    JOINING OF ROUGH CARBON-CARBON COMPOSITES WITH HIGH JOINT STRENGTH
    139.
    发明申请
    JOINING OF ROUGH CARBON-CARBON COMPOSITES WITH HIGH JOINT STRENGTH 审中-公开
    高强度碳化硼复合材料的加工

    公开(公告)号:WO1997019035A1

    公开(公告)日:1997-05-29

    申请号:PCT/US1996018480

    申请日:1996-11-19

    Abstract: Carbon-carbon composite parts (1, 2) are joined with minimum surface preparation. A reactive-bonding joint interlayer (5) having thickness greater than 1 mil is formed of fine particles of carbide-forming metallic ingredients and carbon. The joint layer (5) is sandwiched between the two carbon-carbon parts (1, 2) to be joined and the assembly is heated under a compressive pressure to a temperature sufficient to complete the bonding reaction. No special surface preparation is required for the carbon-carbon parts due to the nature of the reactive-bonding. The mechanical properties of the joint are assured by selecting the metal-carbon ingredients so that thermal expansion mismatch is minimized. Shear strength exhibited by the resulting joints is greater than the interlaminar shear strength of the carbon-carbon composite material.

    Abstract translation: 碳 - 碳复合材料部件(1,2)以最小的表面处理接合。 厚度大于1密耳的反应性接合中间层(5)由碳化物形成金属成分和碳的微细颗粒形成。 接合层(5)夹在要接合的两个碳 - 碳部件(1,2)之间,并将组件在压缩压力下加热到足以完成接合反应的温度。 由于反应性粘合的性质,碳 - 碳部件不需要特殊的表面处理。 通过选择金属 - 碳成分确保接头的机械性能,使热膨胀失配最小化。 所得接头表现的剪切强度大于碳 - 碳复合材料的层间剪切强度。

    TRANSIENT LIQUID PHASE CERAMIC BONDING
    140.
    发明申请
    TRANSIENT LIQUID PHASE CERAMIC BONDING 审中-公开
    瞬态液相陶瓷接合

    公开(公告)号:WO1995004627A1

    公开(公告)日:1995-02-16

    申请号:PCT/US1994008313

    申请日:1994-08-10

    Abstract: Ceramics are joined to themselves or to metals using a transient liquid phase method employing three layers, one of which (18) is a refractory metal, ceramic or alloy. The refractory layer (18) is placed between two metal layers (20 and 22), each of which has a lower melting point than the refractory layer. The three layers are pressed between the two articles to be bonded (14 and 16) to form an assembly (12). The assembly is heated to a bonding temperature at which the refractory layer remains solid, but the two metal layers melt to form a liquid. The refractory layer reacts with the surrounding liquid and a single solid bonding layer is eventually formed. The layers may be designed to react completely with each other and form refractory intermetallic bonding layers. Another method for joining ceramic articles employs a ceramic interlayer sandwiched between two metal layers.

    Abstract translation: 使用采用三层的瞬态液相法将陶瓷与本身或金属结合,其中之一(18)是难熔金属,陶瓷或合金。 耐火层(18)放置在两个金属层(20和22)之间,每个金属层的熔点比耐火层低。 三层被压在待接合的两个物品(14和16)之间以形成组件(12)。 将组件加热至耐火层保持固体的粘合温度,但两个金属层熔化以形成液体。 耐火层与周围的液体反应,最终形成单一的固体粘合层。 这些层可以被设计成彼此完全反应并形成难熔金属间结合层。 用于接合陶瓷制品的另一种方法是使用夹在两个金属层之间的陶瓷夹层。

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