陶瓷多层基板的制造方法

    公开(公告)号:CN102415227B

    公开(公告)日:2014-07-09

    申请号:CN201080019491.4

    申请日:2010-04-15

    IPC分类号: H05K3/46 H05K3/12 H05K3/18

    摘要: 在利用电子照相法形成陶瓷多层基板的正反主面的电极时,改善曝光调色剂所导致的不良情况。在载体构件上形成在要形成表面电极的部位具有开口部的第1外层陶瓷层,通过电子照相法、利用电极调色剂在该外层陶瓷层的开口部形成表面电极。然后,在第1外层陶瓷层及表面电极上交替形成内层陶瓷层和内部电极图案,以获得层叠体,之后,通过电子照相法、利用电极调色剂在层叠体上形成背面电极。之后,形成第2外层陶瓷层,以填埋背面电极以外的区域,将层叠体从载体构件剥离,并将该层叠体进行烧成,从而获得陶瓷多层基板。由于在形成表面/背面电极时产生的曝光调色剂由外层陶瓷层覆盖,因此,能解决电极间短路、IR恶化等问题。

    陶瓷多层基板的制造方法

    公开(公告)号:CN102415227A

    公开(公告)日:2012-04-11

    申请号:CN201080019491.4

    申请日:2010-04-15

    IPC分类号: H05K3/46 H05K3/12 H05K3/18

    摘要: 在利用电子照相法形成陶瓷多层基板的正反主面的电极时,改善曝光调色剂所导致的不良情况。在载体构件上形成在要形成表面电极的部位具有开口部的第1外层陶瓷层,通过电子照相法、利用电极调色剂在该外层陶瓷层的开口部形成表面电极。然后,在第1外层陶瓷层及表面电极上交替形成内层陶瓷层和内部电极图案,以获得层叠体,之后,通过电子照相法、利用电极调色剂在层叠体上形成背面电极。之后,形成第2外层陶瓷层,以填埋背面电极以外的区域,将层叠体从载体构件剥离,并将该层叠体进行烧成,从而获得陶瓷多层基板。由于在形成表面/背面电极时产生的曝光调色剂由外层陶瓷层覆盖,因此,能解决电极间短路、IR恶化等问题。