公开(公告)号：US07338836B2

公开(公告)日：2008-03-04

申请号：US10974006

申请日：2004-10-25

申请人： Yu-Chong Tai ,  Damien C. Rodger

发明人： Yu-Chong Tai ,  Damien C. Rodger

IPC分类号： H01L21/44

CPC分类号： H01L24/19 ,  B81C1/0023 ,  B81C1/00333 ,  H01L21/561 ,  H01L21/568 ,  H01L21/6835 ,  H01L23/5387 ,  H01L23/5389 ,  H01L24/97 ,  H01L2221/68345 ,  H01L2224/04105 ,  H01L2224/20 ,  H01L2224/211 ,  H01L2224/24137 ,  H01L2224/96 ,  H01L2224/97 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/01061 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01077 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/12041 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/12044 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/1433 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/1815 ,  H01L2924/19043 ,  H01L2224/82 ,  H01L2924/00

摘要： A method for manufacturing integrated objects, e.g., electronic devices, biological devices. The method includes providing a holder substrate, which has at least one recessed region, the recessed region having a predetermined shape. The holder substrate has a selected thickness and is characterized as being substantially rigid in shape. The method includes aligning a chip comprising a face and a backside into the predetermined shape of the recessed region and disposing the chip into the recessed region. The chip is secured into the recessed region. The method includes providing a first film of insulating material having a first thickness overlying the face and portions of the holder substrate to attach the chip to a portion of the first film of insulating material and patterning the first film of insulating material to form at least one opening through a portion of the first thickness to a contact region on the face of the chip. The method includes forming a metallization layer overlying the first film of insulating material to couple to the contact region through the one opening and forming a protective layer overlying the metallization layer. The method includes releasing the chip from the holder substrate while maintaining attachment of the chip to the first film of insulating material.

摘要翻译： 一种用于制造诸如电子装置的生物装置的集成物体的方法。 该方法包括提供具有至少一个凹陷区域的保持器基底，该凹陷区域具有预定形状。 保持器基板具有选定的厚度，并且其特征在于其形状基本上是刚性的。 该方法包括将包括面和背面的芯片对准到凹陷区域的预定形状，并将芯片设置在凹陷区域中。 芯片固定在凹陷区域内。 该方法包括提供绝缘材料的第一膜，其具有覆盖在保持器基板的表面和部分上的第一厚度，以将芯片附接到第一绝缘材料膜的一部分，并且使第一绝缘材料膜形成图案以形成至少一个 通过第一厚度的一部分打开到芯片的表面上的接触区域。 该方法包括形成覆盖绝缘材料的第一膜的金属化层，以通过一个开口耦合到接触区域并形成覆盖金属化层的保护层。 该方法包括从保持器基板释放芯片，同时保持芯片与第一绝缘材料膜的连接。

公开(公告)号：US20060271129A1

公开(公告)日：2006-11-30

申请号：US11272383

申请日：2005-11-10

申请人： Yu-Chong Tai ,  Damien Rodger ,  Wen Li

发明人： Yu-Chong Tai ,  Damien Rodger ,  Wen Li

IPC分类号： A61N2/02

CPC分类号： A61N2/02

摘要： This invention relates to the design and fabrication of micro electromechanical systems (MEMS) for applications in such varied fields as the biomedical, micro-fluidics and chemical analysis fields.

摘要翻译： 本发明涉及在诸如生物医学，微流体学和化学分析领域的各种领域中的应用的微机电系统（MEMS）的设计和制造。

公开(公告)号：US20060254972A1

公开(公告)日：2006-11-16

申请号：US11408501

申请日：2006-04-20

申请人： Yu-Chong Tai ,  Siyang Zheng ,  Henry Lin ,  Ram Datar ,  Richard Cote

发明人： Yu-Chong Tai ,  Siyang Zheng ,  Henry Lin ,  Ram Datar ,  Richard Cote

IPC分类号： B01D63/00

CPC分类号： B01D69/02 ,  B01D61/14 ,  B01D61/18 ,  B01D61/20 ,  B01D67/0034 ,  B01D67/0088 ,  B01D71/022 ,  B01D71/72 ,  B01D2325/021 ,  Y10T436/25375

摘要： The present invention provides a parylene-based membrane filter device for capturing of circulating tumor cells (CTC). The membrane filter has an array of holes having a predetermined geometric design with precisely controlled size, shape and density. In one aspect, the device has a stack of substantially parallel membrane filters with uniformly-spaced and/or monodispersed holes.

摘要翻译： 本发明提供了一种用于捕获循环肿瘤细胞（CTC）的聚对二甲苯基膜过滤装置。 膜过滤器具有具有预定几何设计并具有精确控制的尺寸，形状和密度的孔阵列。 在一个方面，该装置具有基本上平行的具有均匀间隔和/或单分散孔的膜过滤器的堆叠。

公开(公告)号：US20060240294A1

公开(公告)日：2006-10-26

申请号：US11455886

申请日：2006-06-20

申请人： Michael Freund ,  Yu-Chong Tai ,  Colin Cameron ,  Xing Yang

发明人： Michael Freund ,  Yu-Chong Tai ,  Colin Cameron ,  Xing Yang

IPC分类号： H01M8/04 ,  H01M4/96 ,  H01M8/02 ,  H01M8/18 ,  H01M8/08

CPC分类号： H01M8/1004 ,  H01M8/00 ,  H01M8/0289 ,  H01M8/04089 ,  H01M8/0656 ,  H01M8/1007 ,  H01M8/186 ,  Y02E60/528

摘要： A fuel cell is used to create pressure by reverse biasing the fuel cell. A voltage is applied across the fuel cell to change the liquid near the fuel cell into gas, and expand its volume. The volume expansion is used for work function, either to expand a housing or move a piston or the like. By removing the voltage, the fuel cell can regenerate by absorbing the gas to again create energy, thereby retracting the volume expansion. In an embodiment, water may be the electrolyte which is electrolyzed to form hydrogen and oxygen gas, and then recombined into water.

公开(公告)号：US20060007983A1

公开(公告)日：2006-01-12

申请号：US11040116

申请日：2005-01-24

申请人： Yu-Chong Tai ,  Matthieu Liger ,  Theodore Harder ,  Satoshi Konishi ,  Scott Miserendino

发明人： Yu-Chong Tai ,  Matthieu Liger ,  Theodore Harder ,  Satoshi Konishi ,  Scott Miserendino

IPC分类号： G01J5/00

CPC分类号： C23C18/02

摘要： A method of making carbon thin films comprises depositing a catalyst on a substrate, depositing a hydrocarbon in contact with the catalyst and pyrolyzing the hydrocarbon. A method of controlling a carbon thin film density comprises etching a cavity into a substrate, depositing a hydrocarbon into the cavity, and pyrolyzing the hydrocarbon while in the cavity to form a carbon thin film. Controlling a carbon thin film density is achieved by changing the volume of the cavity. Methods of making carbon containing patterned structures are also provided. Carbon thin films and carbon containing patterned structures can be used in NEMS, MEMS, liquid chromatography, and sensor devices.

摘要翻译： 制造碳薄膜的方法包括在基材上沉积催化剂，沉积与催化剂接触的烃并热解烃。 控制碳薄膜密度的方法包括将空腔蚀刻到基底中，将烃沉积到空腔中，并在空腔中热解烃以形成碳薄膜。 通过改变空腔的体积来实现碳薄膜密度的控制。 还提供了制备含碳图案结构的方法。 碳薄膜和含碳图案结构可用于NEMS，MEMS，液相色谱和传感器装置。

公开(公告)号：US20050274174A1

公开(公告)日：2005-12-15

申请号：US11059625

申请日：2005-02-17

申请人： Yu-Chong Tai ,  Jun Xie ,  Chi-yuan Shih ,  Qing He

发明人： Yu-Chong Tai ,  Jun Xie ,  Chi-yuan Shih ,  Qing He

IPC分类号： G01N1/00 ,  G01N30/30 ,  G01N30/54 ,  G01N30/60 ,  G01N35/00

CPC分类号： G01N30/54 ,  G01N30/30 ,  G01N30/6095 ,  G01N2030/3007 ,  G01N2030/3015 ,  G01N2030/303 ,  G01N2030/3053 ,  G01N2035/00108

摘要： An apparatus for liquid chromatography comprises a liquid chromatography separation column on a substrate, wherein the separation column is coupled to a heater on the substrate. A chip-based temperature controlled liquid chromatography device comprises a substrate, a thermal isolation zone, and a separation column thermally isolated from the substrate by the thermal isolation zone. An apparatus for chip-based liquid chromatography comprising a cooling device is provided. A temperature gradient liquid chromatography system comprises a chip-based temperature controlled liquid chromatography device, a fluidic coupling, and an electrical interface. Methods of making and methods of using of chip-based temperature gradient liquid chromatography devices are also provided.

摘要翻译： 用于液相色谱的装置包括在基底上的液相色谱分离柱，其中分离柱与基底上的加热器相连。 基于芯片的温度控制液相色谱装置包括基底，热隔离区和通过热隔离区与基底热隔离的分离柱。 提供了一种包括冷却装置的基于芯片的液相色谱仪。 温度梯度液相色谱系统包括基于芯片的温度控制液相色谱装置，流体耦合和电接口。 还提供了制备方法和使用基于芯片的温度梯度液相色谱装置的方法。

公开(公告)号：US06612535B1

公开(公告)日：2003-09-02

申请号：US09012309

申请日：1998-01-23

申请人： Yu-Chong Tai ,  Xing Yang ,  Charles Grosjean

发明人： Yu-Chong Tai ,  Xing Yang ,  Charles Grosjean

IPC分类号： F16K3102

CPC分类号： F16K99/0001 ,  B81B2201/054 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/0315 ,  B81C1/00158 ,  F15C5/00 ,  F16K99/0015 ,  F16K99/0044 ,  F16K99/0061 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/008

摘要： A valve where the valve membrane is made from silicone rubber. Preferably the valve is a microelectromechanical systems (MEMS) thermopneumatic valve. Because of the advantageous physical properties of silicone rubber, the valve provides desirable performance with reasonable power consumption.

摘要翻译： 阀膜由硅橡胶制成。 优选地，阀是微机电系统（MEMS）热气动阀。 由于硅橡胶的有利的物理性能，阀门具有合理的功耗所需的性能。

公开(公告)号：US06598750B2

公开(公告)日：2003-07-29

申请号：US09741968

申请日：2000-12-20

申请人： Yu-Chong Tai ,  Xing Yang

发明人： Yu-Chong Tai ,  Xing Yang

IPC分类号： B01D6700

CPC分类号： B01D67/0088 ,  B01D39/2093 ,  B01D67/0034 ,  B01D67/0062 ,  B01D67/0072 ,  B01D71/02 ,  B01D71/72 ,  B01D2239/0471 ,  B01D2239/0478 ,  B01D2239/10 ,  B01D2325/021

摘要： A micromachined membrane particle filter is formed by making holes in a silicon and coating over the holes with Parylene.

摘要翻译： 通过在硅中形成孔并用聚对二甲苯涂覆在孔上形成微加工膜颗粒过滤器。

公开(公告)号：US06436229B2

公开(公告)日：2002-08-20

申请号：US09741403

申请日：2000-12-19

申请人： Yu-Chong Tai ,  Xuan-Oi Wang

发明人： Yu-Chong Tai ,  Xuan-Oi Wang

IPC分类号： B44C122

CPC分类号： B81C1/00531 ,  B81C99/0025 ,  B81C2201/0132 ,  B81C2201/0138 ,  H01J2237/3344 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/32135 ,  H01L21/67069

摘要： An apparatus and method for gas-phase bromine trifluoride (BrF3) silicon isotropic room temperature etching system for both bulk and surface micromachining. The gas-phase BrF3 can be applied in a pulse mode and in a continuous flow mode. The etching rate in pulse mode is dependent on gas concentration, reaction pressure, pulse duration, pattern opening area and effective surface area.

摘要翻译： 用于体相和表面微加工的气相溴化三氟化硼（BrF 3）硅各向同性室温蚀刻系统的装置和方法。 气相BrF3可以以脉冲模式和连续流动模式施加。 脉冲模式下的蚀刻速率取决于气体浓度，反应压力，脉冲持续时间，图案开口面积和有效表面积。

公开(公告)号：US6146543A

公开(公告)日：2000-11-14

申请号：US427513

申请日：1999-10-26

申请人： Yu-Chong Tai ,  Xing Yang

发明人： Yu-Chong Tai ,  Xing Yang

IPC分类号： B81B3/00 ,  B82B3/00 ,  H01L21/00 ,  H01L29/82

CPC分类号： B81B3/007 ,  B81B2201/031

摘要： A micromachined multi-layered microbellows-style actuator capable of delivering larger deflections compared to a single layered flat membrane of comparable size. Anchor structures are disclosed that improve the strength of the microbellows membrane. A characterization apparatus is used to measure microbellows membrane performance. Thermopneumatic actuators having a resistive heater chip are also disclosed. The microbellows membrane is manufactured by alternating deposition of structural layers and sacrificial layers on a substrate. The structural layers can be made of silicon nitride and the sacrificial layers can be made of polysilicon. The substrate is etched from the back to form an opening exposing the sacrificial layers, and then the membrane is released by etching away the sacrificial layers.

摘要翻译： 与具有相似尺寸的单层平膜相比，微加工的多层微波导式致动器能够提供更大的偏转。 公开了提高微量膜的强度的锚结构。 使用表征装置来测量微波膜的性能。 还公开了具有电阻加热器芯片的热气动执行器。 微波膜是通过在衬底上交替沉积结构层和牺牲层来制造的。 结构层可以由氮化硅制成，并且牺牲层可以由多晶硅制成。 从背面蚀刻衬底以形成暴露牺牲层的开口，然后通过蚀刻去除牺牲层来释放膜。