公开(公告)号：US20130012030A1

公开(公告)日：2013-01-10

申请号：US13634526

申请日：2010-03-17

申请人： Annamalai Lakshmanan ,  Jianshe Tang ,  Dustin W. Ho ,  Francimar C. Schmitt ,  Alan Tso ,  Tom K. Cho ,  Brian Sy-Yuan Shieh ,  Hari K. Ponnekanti ,  Chris Eberspacher ,  Zheng Yuan

发明人： Annamalai Lakshmanan ,  Jianshe Tang ,  Dustin W. Ho ,  Francimar C. Schmitt ,  Alan Tso ,  Tom K. Cho ,  Brian Sy-Yuan Shieh ,  Hari K. Ponnekanti ,  Chris Eberspacher ,  Zheng Yuan

IPC分类号： H01L21/31

CPC分类号： H01L31/1824 ,  C23C16/24 ,  C23C16/452 ,  C23C16/45514 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/4557 ,  C23C16/45574 ,  C23C16/5096 ,  H01L31/202 ,  Y02E10/545 ,  Y02P70/521

摘要： An apparatus and methods for depositing amorphous and microcrystalline silicon films during the formation of solar cells are provided. In one embodiment, a method and apparatus is provided for generating and introducing hydrogen radicals directly into a processing region of a processing chamber for reaction with a silicon-containing precursor for film deposition on a substrate. In one embodiment, the hydrogen radicals are generated by a remote plasma source and directly introduced into the processing region via a line of sight path to minimize the loss of energy by the hydrogen radicals prior to reaching the processing region.

摘要翻译： 提供了在形成太阳能电池期间沉积非晶硅和微晶硅膜的装置和方法。 在一个实施方案中，提供了一种方法和装置，用于将氢自由基直接生成并引入到处理室的处理区域中，以与用于在基底上沉积膜的含硅前体反应。 在一个实施方案中，氢自由基由远程等离子体源产生，并且经由视线路径直接引入处理区域，以在到达处理区域之前最小化氢自由基的能量损失。

公开(公告)号：US20120171852A1

公开(公告)日：2012-07-05

申请号：US13266978

申请日：2010-08-02

申请人： Zheng Yuan ,  Mandar B. Pandit ,  Francimar C. Schmitt ,  Yi Zheng ,  Fan Yang ,  Lipan Li ,  Alan Tso ,  Dustin W. Ho ,  Tom K. Cho ,  Randhir Thakur

发明人： Zheng Yuan ,  Mandar B. Pandit ,  Francimar C. Schmitt ,  Yi Zheng ,  Fan Yang ,  Lipan Li ,  Alan Tso ,  Dustin W. Ho ,  Tom K. Cho ,  Randhir Thakur

IPC分类号： H01L21/20 ,  C23C16/50

CPC分类号： H01L21/02532 ,  C23C16/24 ,  C23C16/452 ,  C23C16/505 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/32449 ,  H01L21/02576 ,  H01L21/02579 ,  H01L21/0262 ,  H01L31/076 ,  H01L31/1804 ,  H01L31/1824 ,  H01L31/202 ,  Y02E10/545 ,  Y02E10/547 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

摘要： Methods for forming and treating a silicon containing layer in a thin film transistor structure or solar cell devices are provided. In one embodiment, a method for forming a silicon containing layer on a substrate includes providing a substrate into a processing chamber, providing a gas mixture having a silicon containing gas into the processing chamber, providing a hydrogen containing gas from a remote plasma source coupled to the processing chamber, applying a RF power less than 17.5 mWatt/cm2 to the processing chamber, and forming a silicon containing layer on the substrate.

摘要翻译： 提供了在薄膜晶体管结构或太阳能电池器件中形成和处理含硅层的方法。 在一个实施例中，在衬底上形成含硅层的方法包括将衬底提供到处理室中，将具有含硅气体的气体混合物提供到处理室中，从远程等离子体源提供含氢气体，其耦合到 处理室，向处理室施加小于17.5mW / cm 2的RF功率，并在基板上形成含硅层。

公开(公告)号：US20100037823A1

公开(公告)日：2010-02-18

申请号：US12537278

申请日：2009-08-07

申请人： TOM K. CHO ,  Zheng Yuan ,  Brian Sy-Yuan Shieh

发明人： TOM K. CHO ,  Zheng Yuan ,  Brian Sy-Yuan Shieh

IPC分类号： C23C16/00 ,  B05B1/14

CPC分类号： C23C16/042 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/505

摘要： The present invention generally relates to a gas distribution showerhead and a shadow frame for an apparatus. By extending the corners of the gas distribution showerhead the electrode area may be expanded relative to the anode and thus, uniform film properties may be obtained. Additionally, the expanded corners of the gas distribution showerhead may have gas passages extending therethrough. In one embodiment, hollow cathode cavities may be present on the bottom surface of the showerhead without permitting gas to pass therethrough. The shadow frame in the apparatus may also have its corner areas extended out to enlarge the anode in the corner areas of the substrate being processed and thus, may lead to deposition of a material on the substrate having substantially uniform properties.

摘要翻译： 本发明一般涉及用于装置的气体分配喷头和阴影框架。 通过延伸气体分配喷头的角部，电极面积可以相对于阳极膨胀，因此可获得均匀的膜性质。 此外，气体分配喷头的扩展角可以具有从其延伸穿过的气体通道。 在一个实施例中，中空阴极腔可以存在于喷头的底表面上，而不允许气体通过。 装置中的阴影框架还可以将其拐角区域延伸出来，以扩大正在处理的基板的拐角区域中的阳极，并且因此可能导致材料沉积在具有基本均匀性质的基板上。

公开(公告)号：US20130004681A1

公开(公告)日：2013-01-03

申请号：US13174690

申请日：2011-06-30

申请人： Alan Tso ,  Jeonghoon Oh ,  Yi Zheng ,  Tom K. Cho ,  Zheng Yuan ,  Lin Zhang ,  Qunhua Wang ,  Robin L. Tiner

发明人： Alan Tso ,  Jeonghoon Oh ,  Yi Zheng ,  Tom K. Cho ,  Zheng Yuan ,  Lin Zhang ,  Qunhua Wang ,  Robin L. Tiner

IPC分类号： C23C16/50 ,  F24H9/12

CPC分类号： C23C16/45565

摘要： Embodiments of the present invention provide a plasma processing chamber having a mini blocker plate for delivering processing gas to a processing chamber and methods to use the mini blocker plate to improve uniformity. The blocker plate assembly comprising a mini blocker plate having a plurality of through holes, and two or more standoff spacers configured to position the mini blocker plate at a distance away from a blocker plate.

摘要翻译： 本发明的实施例提供了一种等离子体处理室，其具有用于将处理气体输送到处理室的微型封隔板以及使用迷你封隔板来提高均匀性的方法。 阻挡板组件包括具有多个通孔的迷你阻塞板，以及两个或更多个支架间隔件，其构造成将迷你阻挡板定位成远离阻挡板。

公开(公告)号：US20110171774A1

公开(公告)日：2011-07-14

申请号：US12967648

申请日：2010-12-14

申请人： Francimar C. Schmitt ,  Zheng Yuan ,  Yi Zheng ,  Fan Yang ,  Lipan Li

发明人： Francimar C. Schmitt ,  Zheng Yuan ,  Yi Zheng ,  Fan Yang ,  Lipan Li

IPC分类号： H01L31/0376

CPC分类号： H01L31/03921 ,  H01L31/03685 ,  H01L31/03762 ,  H01L31/075 ,  H01L31/076 ,  H01L31/1816 ,  H01L31/202 ,  Y02E10/545 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

摘要： Embodiments of the present invention generally provide a method for forming a plurality of thin film single or multi-junction solar cell in a substrate processing chamber. In one embodiment, a method for processing a plurality of thin film solar cell substrates includes depositing sequentially a first undoped layer and a first doped layer over a surface of a first substrate and a chamber component in a single processing chamber, removing the substrate having the doped and undoped layers from the processing chamber, removing the second doped layer deposited on the chamber component to expose underlying first undoped layer which serves as a seasoning layer for a second substrate to be processed in the processing chamber, and depositing sequentially a second undoped layer and a second doped layer on the second substrate in the processing chamber. In one example, the first undoped layer is amorphous silicon or microcrystalline silicon. A full cleaning process may be performed at desired intervals to expose the surfaces of the chamber component before a regular seasoning process and the subsequent depositions are proceeded in the processing chamber.

摘要翻译： 本发明的实施方案通常提供在基板处理室中形成多个薄膜单结或多结太阳能电池的方法。 在一个实施例中，一种用于处理多个薄膜太阳能电池基板的方法包括在单个处理室中顺序地在第一基板和室部件的表面上沉积第一未掺杂层和第一掺杂层，去除具有 去除来自处理室的掺杂和未掺杂的层，去除沉积在室组件上的第二掺杂层，以暴露下面的第一未掺杂层，其用作待处理室中待处理的第二衬底的调味层，以及顺序地沉积第二未掺杂层 以及处理室中的第二衬底上的第二掺杂层。 在一个示例中，第一未掺杂层是非晶硅或微晶硅。 可以以期望的间隔进行全部清洁处理，以在经常的调味过程之前露出室部件的表面，并且随后的沉积在处理室中进行。

公开(公告)号：US08417801B2

公开(公告)日：2013-04-09

申请号：US13292583

申请日：2011-11-09

申请人： Sanjay Dalal ,  Chun-Kwok Lee ,  Edward Wong ,  Zheng Yuan ,  Srinath Anantharaman

发明人： Sanjay Dalal ,  Chun-Kwok Lee ,  Edward Wong ,  Zheng Yuan ,  Srinath Anantharaman

IPC分类号： G06F15/177 ,  G06F15/16 ,  G06F15/173

CPC分类号： G06Q10/10 ,  G06Q50/205

摘要： An educational and training system allows organization and management of computers and course material used in teaching and administering classes of computer based information. Remote users access computers in laboratories or virtual classrooms as if they were actually using the computers within the laboratory or classroom. The system also allows management and tracking of the remote users and of other various course details.

摘要翻译： 教育和培训系统允许组织和管理用于教学和管理计算机信息类的计算机和课程材料。 远程用户在实验室或虚拟教室中访问计算机，就像实际使用实验室或教室中的计算机一样。 该系统还允许远程用户的管理和跟踪以及其他各种课程细节。

公开(公告)号：US20130050574A1

公开(公告)日：2013-02-28

申请号：US13220000

申请日：2011-08-29

申请人： Taoran Lu ,  Zheng Yuan ,  Yu Huang ,  Dapeng Oliver Wu ,  Hong Heather Yu

发明人： Taoran Lu ,  Zheng Yuan ,  Yu Huang ,  Dapeng Oliver Wu ,  Hong Heather Yu

IPC分类号： H04N7/01

CPC分类号： G06K9/00751 ,  G06K9/4671

摘要： A system and method for retargeting video sequences are provided. A method for retargeting a video includes a plurality of frames includes determining saliency information for the plurality of frames, determining a cost metric for the video, and retargeting the video based on the cost metric to produce a retargeted video. The cost metric considers loss due to cropping, scaling, temporal factors, and spatial factors. The retargeting makes use of a crop window for each frame in the plurality of frames.

摘要翻译： 提供了一种用于重定向视频序列的系统和方法。 用于重新定位视频的方法包括多个帧包括确定多个帧的显着性信息，确定视频的成本度量，以及基于成本度量重新定位视频以产生重定向视频。 成本指标考虑到由于种植，缩放，时间因素和空间因素造成的损失。 重定向使用多个帧中的每个帧的裁剪窗口。

公开(公告)号：US08275892B2

公开(公告)日：2012-09-25

申请号：US13212846

申请日：2011-08-18

申请人： Jian Lin ,  Zheng Yuan

发明人： Jian Lin ,  Zheng Yuan

IPC分类号： G06F15/16

CPC分类号： H04L67/025

摘要： In one embodiment, a device is connected to a first computer via a first local communication port of the first computer. If the device is configured to autoconnect with a second computer upon connection of the device to the first computer, a remote access session is established between the first computer and the second computer. Low-level local communication from the device is intercepted at the first local communication port of the first computer. The low-level local communication is transmitted from the first computer to the second computer via the remote access session. The low-level local communication is injected to a second local communication port of the second computer to thereby provide an autoconnection of the device to the second computer.

摘要翻译： 在一个实施例中，设备经由第一计算机的第一本地通信端口连接到第一计算机。 如果设备被配置为在将设备连接到第一计算机时与第二计算机自动连接，则在第一计算机和第二计算机之间建立远程访问会话。 来自设备的低级本地通信在第一计算机的第一本地通信端口被拦截。 低级本地通信通过远程访问会话从第一计算机发送到第二计算机。 低级本地通信被注入到第二计算机的第二本地通信端口，从而提供设备到第二计算机的自动连接。

公开(公告)号：US20120059915A1

公开(公告)日：2012-03-08

申请号：US13292583

申请日：2011-11-09

申请人： Sanjay Dalal ,  Chun-Kwok Lee ,  Edward Wong ,  Zheng Yuan ,  Srinath Anantharaman

发明人： Sanjay Dalal ,  Chun-Kwok Lee ,  Edward Wong ,  Zheng Yuan ,  Srinath Anantharaman

IPC分类号： G06F15/177

CPC分类号： G06Q10/10 ,  G06Q50/205

摘要： An educational and training system allows organization and management of computers and course material used in teaching and administering classes of computer based information. Remote users access computers in laboratories or virtual classrooms as if they were actually using the computers within the laboratory or classroom. The system also allows management and tracking of the remote users and of other various course details.

摘要翻译： 教育和培训系统允许组织和管理用于教学和管理计算机信息类的计算机和课程材料。 远程用户在实验室或虚拟教室中访问计算机，就像实际使用实验室或教室中的计算机一样。 该系统还允许远程用户的管理和跟踪以及其他各种课程细节。

公开(公告)号：US20110114177A1

公开(公告)日：2011-05-19

申请号：US12838861

申请日：2010-07-19

申请人： Fan Yang ,  Lin Zhang ,  Yi Zheng ,  Francimar Schmitt ,  Zheng Yuan

发明人： Fan Yang ,  Lin Zhang ,  Yi Zheng ,  Francimar Schmitt ,  Zheng Yuan

IPC分类号： H01L31/0264 ,  H01L31/0376 ,  H01L31/20

CPC分类号： H01L31/03685 ,  H01L31/03762 ,  H01L31/075 ,  H01L31/076 ,  H01L31/1824 ,  H01L31/202 ,  Y02E10/545 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

摘要： A method and apparatus for forming solar cells is provided. In one embodiment, a photovoltaic device includes a first p-i-n junction cell formed on a substrate, wherein the p-i-n junction cell comprises a p-type silicon containing layer, an intrinsic type silicon containing layer formed over the p-type silicon containing layer, and a n-type silicon containing layer formed over the intrinsic type silicon containing layer, wherein the intrinsic type silicon containing layer comprises a first pair of microcrystalline layer and amorphous silicon layer.

摘要翻译： 提供一种用于形成太阳能电池的方法和装置。 在一个实施例中，光伏器件包括形成在衬底上的第一pin结单元，其中该pin结单元包括p型含硅层，在p型含硅层上形成本征型含硅层，以及 在本征型含硅层上形成n型含硅层，其中本征型含硅层包括第一对微晶层和非晶硅层。