公开(公告)号：CN103681640B

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201310058066.1

申请日：2013-02-25

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 谷本亮 ,  井本孝志 ,  安藤善康 ,  野田真史 ,  岩政直树 ,  宫下浩一 ,  川户雅敏 ,  岩本正次 ,  田中润 ,  堂前佑辅

IPC: H01L25/065 ,  H01L23/29 ,  H01L23/31 ,  H01L21/98

CPC classification number: H01L23/488 ,  H01L21/50 ,  H01L21/6836 ,  H01L21/78 ,  H01L23/3128 ,  H01L24/29 ,  H01L24/32 ,  H01L24/45 ,  H01L24/48 ,  H01L24/73 ,  H01L24/83 ,  H01L24/85 ,  H01L24/92 ,  H01L24/97 ,  H01L25/0657 ,  H01L25/50 ,  H01L2221/68327 ,  H01L2224/2741 ,  H01L2224/27436 ,  H01L2224/2919 ,  H01L2224/32013 ,  H01L2224/32145 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/45147 ,  H01L2224/48145 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/48228 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2224/83191 ,  H01L2224/83856 ,  H01L2224/83862 ,  H01L2224/83986 ,  H01L2224/92165 ,  H01L2224/92247 ,  H01L2224/94 ,  H01L2224/97 ,  H01L2225/06506 ,  H01L2225/0651 ,  H01L2225/06562 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/15787 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/3511 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/83 ,  H01L2224/27 ,  H01L2224/05599

Abstract: 本发明涉及叠层型半导体装置。提供可以消除当在半导体芯片的粘接剂层内埋入比其小型的半导体芯片时产生的缺点的叠层型半导体装置。实施方式的叠层型半导体装置（1）具备配置于电路基板（2）上的第1半导体芯片（6）、使第1半导体芯片（6）粘合于电路基板（2）的粘接层（7）和具有比第1半导体芯片（6）小的外形的第2半导体芯片（10）。第2半导体芯片（10）至少一部分埋入于粘接层（7）内。粘接层（7）具有95μm以上且150μm以下的范围的厚度，并且包括当埋入第2半导体芯片（10）时的热时粘度为500Pa·s以上且5000Pa·s以下的范围的热固化性树脂。

公开(公告)号：CN103681640A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310058066.1

申请日：2013-02-25

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 谷本亮 ,  井本孝志 ,  安藤善康 ,  野田真史 ,  岩政直树 ,  宫下浩一 ,  川户雅敏 ,  岩本正次 ,  田中润 ,  堂前佑辅

IPC: H01L25/065 ,  H01L23/29 ,  H01L23/31 ,  H01L21/98

CPC classification number: H01L23/488 ,  H01L21/50 ,  H01L21/6836 ,  H01L21/78 ,  H01L23/3128 ,  H01L24/29 ,  H01L24/32 ,  H01L24/45 ,  H01L24/48 ,  H01L24/73 ,  H01L24/83 ,  H01L24/85 ,  H01L24/92 ,  H01L24/97 ,  H01L25/0657 ,  H01L25/50 ,  H01L2221/68327 ,  H01L2224/2741 ,  H01L2224/27436 ,  H01L2224/2919 ,  H01L2224/32013 ,  H01L2224/32145 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/45147 ,  H01L2224/48145 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/48228 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2224/83191 ,  H01L2224/83856 ,  H01L2224/83862 ,  H01L2224/83986 ,  H01L2224/92165 ,  H01L2224/92247 ,  H01L2224/94 ,  H01L2224/97 ,  H01L2225/06506 ,  H01L2225/0651 ,  H01L2225/06562 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/15787 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/3511 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/83 ,  H01L2224/27 ,  H01L2224/05599

Abstract: 本发明涉及叠层型半导体装置。提供可以消除当在半导体芯片的粘接剂层内埋入比其小型的半导体芯片时产生的缺点的叠层型半导体装置。实施方式的叠层型半导体装置（1）具备配置于电路基板（2）上的第1半导体芯片（6）、使第1半导体芯片（6）粘合于电路基板（2）的粘接层（7）和具有比第1半导体芯片（6）小的外形的第2半导体芯片（10）。第2半导体芯片（10）至少一部分埋入于粘接层（7）内。粘接层（7）具有95μm以上且150μm以下的范围的厚度，并且包括当埋入第2半导体芯片（10）时的热时粘度为500Pa·s以上且5000Pa·s以下的范围的热固化性树脂。

公开(公告)号：CN103199028A

公开(公告)日：2013-07-10

申请号：CN201210308848.1

申请日：2012-08-27

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 井本孝志 ,  石田胜广 ,  蒋田英雄 ,  渡边昭吾 ,  佐野雄一 ,  谷本亮 ,  安藤善康 ,  武部直人 ,  岩本正次 ,  竹本康男

IPC: H01L21/60 ,  H01L21/48

CPC classification number: H01L2224/451 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48465 ,  H01L2224/78 ,  H01L2224/78301 ,  H01L2224/85 ,  H01L2224/85181 ,  H01L2224/85205 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/30107 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00012

Abstract: 本发明提供能够既抑制成本又降低噪声、并且既确保金属线与焊盘的连接强度又顺畅连续地进行接合的半导体装置的制造方法。半导体装置的制造方法，通过毛细管以及能够切换成闭合状态和打开状态的线夹，用线连接在基板上形成的基板侧电极焊盘和在芯片上形成的芯片侧电极焊盘。通过化学镀在基板侧电极焊盘的最表层形成镀金。使毛细管移动至越过线对基板侧电极焊盘接合的一次接合的位置的正上方的位置为止，接着对基板侧电极焊盘进行线的一次接合。

公开(公告)号：CN103094220A

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN201210313377.3

申请日：2012-08-29

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 种泰雄 ,  井本孝志 ,  川户雅敏 ,  宫下浩一 ,  安藤善康 ,  谷本亮

IPC: H01L23/00 ,  H01L25/065

CPC classification number: H01L24/73 ,  H01L2224/32145 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/48145 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2225/06562 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明涉及存储装置、半导体装置及其制造方法。提供制造成本低廉的存储装置、半导体装置及其制造方法。半导体装置具有搭载于基板上、通过接合线与基板连接的第1芯片和叠层于第1芯片上地搭载于基板上、比前述第1芯片大的第2芯片。在第2芯片的与第1芯片的粘接面的与形成有接合线的部分相对应的部分涂敷绝缘层，在第2芯片的粘接面形成粘接层，并使基板与第2芯片相贴合。

公开(公告)号：CN103000600A

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN201210071044.4

申请日：2012-03-16

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 井本孝志 ,  安藤善康 ,  谷本亮 ,  岩本正次 ,  竹本康男 ,  田口英男 ,  武部直人 ,  宫下浩一 ,  田中润 ,  石田胜广 ,  渡边昭吾 ,  佐野雄一

IPC: H01L23/488 ,  H01L23/29 ,  H01L25/065

CPC classification number: H01L23/3135 ,  H01L23/145 ,  H01L23/3128 ,  H01L23/49816 ,  H01L23/49894 ,  H01L24/05 ,  H01L24/13 ,  H01L24/16 ,  H01L24/45 ,  H01L24/48 ,  H01L24/73 ,  H01L25/0657 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05624 ,  H01L2224/13144 ,  H01L2224/13147 ,  H01L2224/16237 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/45124 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/45147 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48145 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/48228 ,  H01L2224/48624 ,  H01L2224/48824 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2224/81815 ,  H01L2224/83104 ,  H01L2224/92247 ,  H01L2225/06562 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01028 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/181 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/32145 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2924/207

Abstract: 本发明涉及半导体装置。在一个实施例中，一种半导体装置具有基底、第一半导体芯片、电极、第一和第二连接部件以及第一和第二密封部件。所述电极被设置在所述第一半导体芯片上并包含Al。所述第一连接部件电连接所述电极和所述基底，并包含Au或Cu。所述第一密封部件密封所述第一半导体芯片和所述第一连接部件。一个或多个第二半导体芯片层叠在所述第一密封部件上。所述第二密封部件密封所述第一连接部件、所述一个或多个第二半导体芯片以及一个或多个第二连接部件。所述第一密封部件中的Cl离子和Br离子的总重量W1与所述第一密封部件和所述基底的树脂的重量W0的比率小于等于7.5ppm。

公开(公告)号：CN100468612C

公开(公告)日：2009-03-11

申请号：CN200510069718.7

申请日：2005-03-25

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 井本孝志 ,  田窪知章 ,  细川隆治 ,  井守义久 ,  佐藤隆夫 ,  黑泽哲也 ,  桐谷美佳

IPC: H01L21/00

CPC classification number: H01L23/3142 ,  H01L23/3121 ,  H01L23/3178 ,  H01L23/5222 ,  H01L23/5329 ,  H01L24/48 ,  H01L24/73 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/16227 ,  H01L2224/16235 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/10155 ,  H01L2924/10157 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/15153 ,  H01L2924/1517 ,  H01L2924/15174 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/1532 ,  H01L2924/16152 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2224/45099 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2924/207

Abstract: 一种半导体器件，其包括：半导体元件，在所述半导体元件中，在半导体衬底的表面上形成有由包括绝缘膜的多个膜层构成的层叠膜，并且层叠膜的部分被从半导体衬底的表面上去除，从而在该部分暴露出半导体衬底；安装衬底，在其上安装半导体元件；以及树脂层，其利用树脂密封半导体元件的至少一个表面。

公开(公告)号：CN1284239C

公开(公告)日：2006-11-08

申请号：CN02148231.4

申请日：2002-06-25

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 山崎尚 ,  远藤光芳 ,  田漥知章 ,  尾山勝彦 ,  井本孝志 ,  松井幹雄

IPC: H01L25/00 ,  H01L23/12 ,  H01L23/48 ,  H01L21/50

CPC classification number: H01L25/0657 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/32245 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48247 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2225/0652 ,  H01L2225/06524 ,  H01L2225/06527 ,  H01L2225/06541 ,  H01L2225/06555 ,  H01L2225/06562 ,  H01L2225/06572 ,  H01L2225/06586 ,  H01L2924/01039 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/15153 ,  H01L2924/1517 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/1532 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00012

Abstract: 本发明芯片叠层式半导体器件，包括：具有多个端子的多个半导体芯片；和多个芯片搭载基板，每一个至少搭载这些半导体芯片中的一个，同时设置有多个电连接该半导体芯片各端子的中继端子，以从外侧接近并包围搭载该半导体芯片的部分，而且，在二层以上层叠之中的至少一层中，至少一个上述半导体芯片的中心部与上述各中继端子的全体配置的中心部偏心地搭载于该半导体基板。

公开(公告)号：CN1405885A

公开(公告)日：2003-03-26

申请号：CN02148231.4

申请日：2002-06-25

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 山崎尚 ,  远藤光芳 ,  田漥知章 ,  尾山勝彦 ,  井本孝志 ,  松井幹雄

IPC: H01L25/00 ,  H01L23/12 ,  H01L23/48 ,  H01L21/50

CPC classification number: H01L25/0657 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/32245 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48247 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2225/0652 ,  H01L2225/06524 ,  H01L2225/06527 ,  H01L2225/06541 ,  H01L2225/06555 ,  H01L2225/06562 ,  H01L2225/06572 ,  H01L2225/06586 ,  H01L2924/01039 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/15153 ,  H01L2924/1517 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/1532 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00012

Abstract: 将搭载具有多个端子4的多个半导体芯片3的至少一个的多个芯片搭载基板2层叠到2层以上。各基板上设置多个与芯片3的各端子4电连接的中继端子5，使其从外侧接近包围搭载芯片3的部分。对于各层基板2中的至少一层基板2，将其中的至少一个芯片3从各中继端子5的全体配置中心部Y偏心地搭载其中心部C。

公开(公告)号：CN1399338A

公开(公告)日：2003-02-26

申请号：CN02122159.6

申请日：2002-05-31

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 尾山胜彦 ,  远藤光芳 ,  田窪知章 ,  山崎尚 ,  井本孝志

IPC: H01L25/065 ,  H01L23/50

CPC classification number: H01L23/5382 ,  H01L25/0657 ,  H01L25/105 ,  H01L2224/16

Abstract: 在形成有同一图案的芯片连接用配线4的第1～第4PTP基板5a～5d上，安装DRAM芯片3a～3d。把安装芯片后的各PTP基板5a～5d，和分别形成有不同图案的层间连接用配线6的第1～第4的各IVH基板7a～7d，沿着它们的厚度方向交替层叠。

公开(公告)号：CN1392608A

公开(公告)日：2003-01-22

申请号：CN02123138.9

申请日：2002-06-19

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 下江宏 ,  奥村尚久 ,  井本孝志 ,  细川隆治

IPC: H01L25/00

CPC classification number: H01L25/0657 ,  H01L2224/16 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2225/06541 ,  H01L2225/06572 ,  H01L2225/06586 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2224/0401

Abstract: 半导体叠层组件，具备：用第1粘接剂把半导体芯片粘接到基底基板上边构成的多个单体封装；用第2粘接剂使该多个单体封装彼此粘接起来形成的叠层体；覆盖上述半导体芯片上表面且具有与上述第1粘接剂大体上相同的热膨胀系数的第3粘接剂层；用上述第2粘接剂粘接到最上部的上述单体封装上的最上部基板。