小型非线性异质结双极晶体管阵列

    公开(公告)号:CN1501510A

    公开(公告)日:2004-06-02

    申请号:CN03164998.X

    申请日:2003-09-30

    申请人: M/A-COM公司

    IPC分类号: H01L29/737 H01L27/02

    摘要: 本发明公开一种HBT阵列中,其中的HBT构成为非线性、即交错排列,因此减少了阵列中的相邻HBT之间的热耦合冲击并避开了用于线性HBT阵列所需的最小集电极-集电极间隔设计规则。采用这种非线性结构,相邻HBT彼此不对准。在优选实施例中,阵列中的相邻HBT构成为角对角排列,并且在更优选实施例中,相邻HBT的集电极对准或公用,即一个HBT的集电极与相邻HBT的集电极公用。在最优选实施例中,HBT以发射极镇流/基极镇流图形的形式(称为“混合镇流”或“双镇流”)被镇流。

    半导体装置以及半导体装置的制造方法

    公开(公告)号:CN104979179B

    公开(公告)日:2018-03-16

    申请号:CN201510160872.9

    申请日:2015-04-07

    IPC分类号: H01L21/28

    摘要: 提供一种半导体装置以及半导体装置的制造方法,其能够一边得到良好的电气特性,一边抑制在硅衬底处形成的保护膜等的功能受损,抑制Si-Ti面的剥离。N型硅衬底(2)在一个面具有由P型硅构成并与N型硅衬底(2)形成PN结的正极层(1),在另一个面具有由N型硅层构成的负极层(3)。半导体装置(10)还具备:第一电极膜(4),其在负极层(3)上形成,由钛构成,形成SiTi接合;第二电极膜(7),其在第一电极膜(4)上形成,由Al-Si构成,形成Ti-AlSi接合;第三电极膜(5),其在第二电极膜上形成,由Ni构成,形成AlSi-Ni接合;以及第四电极膜(6),其在第三电极膜(5)上形成,由Au构成。