전자 부품의 제조 방법
    6.
    发明公开
    전자 부품의 제조 방법 有权
    制造电子元件的方法

    公开(公告)号:KR1020150049468A

    公开(公告)日:2015-05-08

    申请号:KR1020130130082

    申请日:2013-10-30

    发明人: 임재성 김주형

    IPC分类号: H01L21/48 H01L21/58

    摘要: 유연한구조를갖는전자부품의제조방법은휘어지거나펼칠수 있는유연한구조로이루어지면서열전달이가능한열전달부가패터닝되는구조를갖는제1 기판, 휘어지거나펼칠수 있는유연한구조로이루어지면서일면에전기연결이가능한제1 패드가구비되는집적회로소자, 및휘어지거나펼칠수 있는유연한구조로이루어지면서상기기판과상기집적회로소자가서로접착되도록상기기판과상기집적회로소자사이에구비되는접착필름을포함하는휘어지거나펼칠수 있는유연한구조를갖는집적회로소자패키지를형성하는단계; 휘어지거나펼칠수 있는유연한구조로이루어지면서일면에전기연결이가능한제2 패드가구비되는제2 기판을형성하는단계; 및상기집적회로소자의제1 패드와상기제2 기판의제2 패드를서로면접시켜전기적으로연결시키면서상기제2 기판에상기집적회로소자패키지가접착되도록열압착(thermo-compression) 공정을수행하고, 상기열압착공정을수행할때 상기열전달부를통하여상기제1 기판으로부터상기제2 기판으로열전달이이루어지는단계를포함할수 있다.

    摘要翻译: 柔性结构的电子部件的制造方法包括形成可弯曲或扩展的柔性结构的集成电路器件封装的步骤,包括: 由可弯曲或展开的柔性结构形成的第一基板,并具有其中能够传热的传热单元被图案化的结构; 集成电路装置,其由可弯曲或展开的柔性结构形成,并且具有能够在一侧电连接的第一焊盘; 以及由柔性结构形成的接合膜,该柔性结构可以弯曲或展开并且被放置在基板和集成电路器件之间,使得基板和集成电路器件接合。 制造方法还包括: 形成第二基板的步骤,所述第二基板由可弯曲或展开的柔性结构形成,并且具有能够在一侧电连接的第二焊盘; 以及执行热压缩处理的步骤,使得集成电路器件封装结合到第二衬底,同时通过区域连接连接集成电路器件的第一焊盘和第二焊盘的第二焊盘,并将热量从 当进行热压缩处理时通过热传递单元将第一基板通过第二基板。