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    Method for generating microscopic patterns of protein and other macromolecules
    61.
    发明授权
    Method for generating microscopic patterns of protein and other macromolecules 有权
    产生蛋白质和其他大分子的微观图谱的方法

    公开(公告)号：US08921283B2

    公开(公告)日：2014-12-30

    申请号：US11930063

    申请日：2007-10-30

    申请人： Paul Bridgman ,  Stephen Turney

    发明人： Paul Bridgman ,  Stephen Turney

    IPC分类号： G03F7/00 ,  G03F7/085 ,  G03F7/09 ,  B01J19/00 ,  C40B40/02 ,  C40B50/18

    CPC分类号： G01N33/4833 ,  B01J19/0046 ,  B01J2219/00441 ,  B01J2219/00605 ,  B01J2219/00612 ,  B01J2219/00637 ,  B01J2219/00725 ,  B01J2219/00743 ,  C12M23/10 ,  C40B50/18 ,  G03F7/085 ,  G03F7/09

    摘要： Methods and apparatuses for generating microscopic patterns of macromolecules such as proteins on a solid surface are described. Pulsed laser light is used to alter surface portions of a solid surface substrate in a predetermined pattern, by removing macromolecules from surface portions of the substrate where the light is focused. The same wavelength light at lower intensity can be used to visualize the removal by its reflection from the specimen surface along the path to the detector. Select macromolecules introduced to the substrate selectively adhere to select surface portions, thereby depositing macromolecules in the predetermined pattern on the solid surface.

    摘要翻译： 描述了在固体表面上产生大分子如蛋白质的微观图案的方法和装置。 脉冲激光用于通过从光的聚焦的基板的表面部分去除大分子，以预定的图案来改变固体表面基板的表面部分。 可以使用较低强度的相同波长的光，以通过其沿着到检测器的路径的样品表面的反射来可视化去除。 引入到基板中的选择大分子选择性地粘附到选择表面部分上，从而以固定表面上的预定图案沉积大分子。

    Pattern forming method
    65.
    发明授权
    Pattern forming method 失效
    图案形成方法

    公开(公告)号：US5879863A

    公开(公告)日：1999-03-09

    申请号：US787390

    申请日：1997-01-22

    申请人： Tsukasa Azuma ,  Masaki Narita ,  Katsuya Okumura

    发明人： Tsukasa Azuma ,  Masaki Narita ,  Katsuya Okumura

    IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/085 ,  G03F7/11 ,  H01L21/027 ,  G03F7/00

    CPC分类号： G03F7/11 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/085

    摘要： Disclosed is a method of forming a pattern, comprising the steps of forming an underlying film on a semiconductor substrate, bringing a vapor of a neutralizer, which generates an acid upon exposure to light, into contact with the surface of the underlying film so as to form a primer layer, coating the primer layer with a chemical amplification resist, and selectively exposing the resist layer to light, followed by developing to form a resist pattern.

    摘要翻译： 公开了一种形成图案的方法，包括以下步骤：在半导体衬底上形成下面的膜，使在暴露于光时产生酸的中和剂的蒸汽与下面的膜的表面接触，从而 形成底漆层，用化学放大抗蚀剂涂覆底漆层，并将抗蚀剂层选择性地曝光，随后显影以形成抗蚀剂图案。

    Azo dyes as adhesion promotion additive in polydimethylglutarimide
    66.
    发明授权
    Azo dyes as adhesion promotion additive in polydimethylglutarimide 失效
    偶氮染料作为粘合促进剂在聚二甲基戊二酰亚胺中

    公开(公告)号：US5604073A

    公开(公告)日：1997-02-18

    申请号：US453027

    申请日：1995-05-30

    申请人： Mohamad T. Krounbi ,  Alfred F. Renaldo ,  Douglas J. Werner

    发明人： Mohamad T. Krounbi ,  Alfred F. Renaldo ,  Douglas J. Werner

    IPC分类号： G03F7/085 ,  H05K3/14 ,  G03F7/00

    CPC分类号： G03F7/085 ,  H05K3/143

    摘要： In a bi-layer lift-off process, the adhesion characteristics of a PMGI release layer are substantially improved by the use of ortho-hydroxy substituted 4-phenylazo compounds (azo dyes), a class of nonactinic dyes, as an adhesion promoter additive. These azo dyes, due to their chemical structure, exhibit selective binding to various metals by acting as a chelating ligand to the metal surface. Formulations of a specific azo dye, Sudan Orange G, at concentrations from 0.25 to 1.0 percent (by weight) in PMGI exhibits no loss of adhesion at prebake temperature in the range of 120 to 160 degrees C.

    摘要翻译： 在双层剥离过程中，通过使用邻羟基取代的4-苯基偶氮化合物（偶氮染料）作为一种非活性染料作为粘合促进剂添加剂，使PMGI释放层的粘合特性得到显着改善。 由于它们的化学结构，这些偶氮染料通过充当金属表面的螯合配体而显示出对各种金属的选择性结合。 PMGI浓度为0.25〜1.0％的特定偶氮染料，苏丹橙G的配方，在预烘温度为120〜160℃的范围内，没有粘附损失。

    Binary vapor adhesion promoters and methods of using the same
    67.
    发明授权
    Binary vapor adhesion promoters and methods of using the same 失效
    二元蒸气粘附促进剂及其使用方法

    公开(公告)号：US5429673A

    公开(公告)日：1995-07-04

    申请号：US130620

    申请日：1993-10-01

    申请人： William R. Peterson ,  Craig M. Stauffer

    发明人： William R. Peterson ,  Craig M. Stauffer

    IPC分类号： G03F7/075 ,  C07F7/10 ,  G03F7/085 ,  H01L21/312 ,  C09D5/00

    CPC分类号： H01L21/02304 ,  C07F7/10 ,  G03F7/085 ,  H01L21/02307 ,  H01L21/3125

    摘要： Novel compositions are provided for use in the vapor priming of substrates used in the preparation and production of microelectronic devices comprising a first component comprising an organosilane having a hydrolyzable silicon-nitrogen bond and a second component selected from the group consisting of a second organosilane different from the first component having a hydrolyzable silicon-nitrogen bond, a hydrocarbon, an ether, a disiloxane and an alkoxysilane in which all components have substantially the same boiling points at atmospheric pressure. These compositions which are vaporized and transported to an area of silylation on a substrate by an inert gas, silylate the substrate surface and provide for uniform successful coating with organic films. These organosilane mixtures allow for rapid vapor priming and silylation steps in the manufacture of microelectronic devices with successful subsequent coating of the substrates with uniform organic films.

    摘要翻译： 提供新的组合物用于制备和生产微电子器件中使用的底物的气相引发，其中包括含有可水解的硅 - 氮键的有机硅烷的第一组分和选自第二有机硅烷的第二组分，所述第二组分不同于 具有可水解硅 - 氮键的第一组分，烃，醚，二硅氧烷和烷氧基硅烷，其中所有组分在大气压下具有基本上相同的沸点。 这些组合物通过惰性气体蒸发并运输到基板上的甲硅烷基化区域，使基材表面甲硅烷基化并提供均匀成功地涂覆有机薄膜。 这些有机硅烷混合物允许在制造微电子器件时进行快速蒸发引发和硅烷化步骤，成功地随后用均匀的有机膜涂覆基底。

    "> Fluorosurfactant in photoresist for amorphous
    69.
    发明授权
    Fluorosurfactant in photoresist for amorphous "Teflon" patterning 失效
    无定形“特氟龙”图案的光致抗蚀剂中的含氟表面活性剂

    公开(公告)号：US5403437A

    公开(公告)日：1995-04-04

    申请号：US148773

    申请日：1993-11-05

    申请人： Howard R. Beratan ,  Chih-Chen Cho ,  Scott R. Summerfelt

    发明人： Howard R. Beratan ,  Chih-Chen Cho ,  Scott R. Summerfelt

    IPC分类号： B05D1/40 ,  B05D7/00 ,  B32B27/30 ,  C09D127/12 ,  G03F7/004 ,  G03F7/085 ,  H01L21/312 ,  H01L21/822 ,  H01L27/04 ,  B44C1/22 ,  B29C37/00

    CPC分类号： G03F7/085 ,  G03F7/0046

    摘要： This is a device and method of forming such, wherein the device has an amorphous "TEFLON" (TFE AF) layer. The method comprising: depositing an TFE AF layer 36 on a substrate; combining a fluorosurfactant with a first material to produce a second material 38; and depositing the second material 38 on the TFE AF layer 36. The method may include: patterning and etching the second material; removing the second material; and forming a third material 42 on the TFE AF layer 44. The third material may be a metal or a semiconductor. The ZFSNF fluorosurfactant may be combined with a photoresist and then patterned and etched. The TFE AF layer may also be heated. A second coating of the second material may also be added.

    摘要翻译： 这是一种形成这种装置和方法，其中该装置具有非晶“TEFLON”（TFE AF）层。 该方法包括：在衬底上沉积TFE AF层36; 将含氟表面活性剂与第一材料组合以产生第二材料38; 并将第二材料38沉积在TFE AF层36上。该方法可以包括：图案化和蚀刻第二材料; 去除第二种材料; 并在TFE AF层44上形成第三材料42.第三材料可以是金属或半导体。 ZFSNF含氟表面活性剂可与光致抗蚀剂组合，然后进行图案化和蚀刻。 TFE AF层也可以被加热。 还可以添加第二材料的第二涂层。