公开(公告)号：US07655542B2

公开(公告)日：2010-02-02

申请号：US11426127

申请日：2006-06-23

申请人： Soo Young Choi ,  Takako Takehara ,  John M. White ,  Yong Kee Chae

发明人： Soo Young Choi ,  Takako Takehara ,  John M. White ,  Yong Kee Chae

IPC分类号： H01L21/20 ,  H01L21/36

CPC分类号： H01L21/02579 ,  C23C16/24 ,  C30B25/105 ,  C30B29/06 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32495 ,  H01L21/0237 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02576 ,  H01L21/0262 ,  H01L31/1824 ,  Y02E10/545 ,  Y02P70/521

摘要： Methods for depositing a microcrystalline silicon film layer with improved deposition rate and film quality are provided in the present invention. Also, photovoltaic (PV) cell having a microcrystalline silicon film is provided. In one embodiment, the method produces a microcrystalline silicon film on a substrate at a deposition rate greater than about 20 nm per minute, wherein the microcrystalline silicon film has a crystallized volume between about 20 percent to about 80 percent.

摘要翻译： 在本发明中提供了具有改进的沉积速率和膜质量的沉积微晶硅膜层的方法。 此外，提供具有微晶硅膜的光伏（PV）电池。 在一个实施例中，该方法以大于约20nm /分钟的沉积速率在衬底上产生微晶硅膜，其中微晶硅膜的结晶体积在约20％至约80％之间。

公开(公告)号：US07923354B2

公开(公告)日：2011-04-12

申请号：US12563837

申请日：2009-09-21

申请人： Soo Young Choi ,  Takako Takehara ,  John M. White ,  Yong Kee Chae

发明人： Soo Young Choi ,  Takako Takehara ,  John M. White ,  Yong Kee Chae

IPC分类号： H01L21/20 ,  H01L21/36

CPC分类号： H01L21/02579 ,  C23C16/24 ,  C30B25/105 ,  C30B29/06 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32495 ,  H01L21/0237 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02576 ,  H01L21/0262 ,  H01L31/1824 ,  Y02E10/545 ,  Y02P70/521

摘要： Methods for depositing a microcrystalline silicon film layer with improved deposition rate and film quality are provided in the present invention. Also, a photovoltaic (PV) cell having a microcrystalline silicon film is provided. In one embodiment, the method produces a microcrystalline silicon film on a substrate at a deposition rate greater than about 20 nm per minute, wherein the microcrystalline silicon film has a crystallized volume between about 20 percent to about 80 percent.

摘要翻译： 在本发明中提供了具有改进的沉积速率和膜质量的沉积微晶硅膜层的方法。 此外，提供具有微晶硅膜的光伏（PV）电池。 在一个实施例中，该方法以大于约20nm /分钟的沉积速率在衬底上产生微晶硅膜，其中微晶硅膜的结晶体积在约20％至约80％之间。

公开(公告)号：US20100003780A1

公开(公告)日：2010-01-07

申请号：US12563837

申请日：2009-09-21

申请人： Soo Young Choi ,  Takako Takehara ,  John M. White ,  Yong Kee Chae

发明人： Soo Young Choi ,  Takako Takehara ,  John M. White ,  Yong Kee Chae

IPC分类号： H01L21/20 ,  H01L31/18

CPC分类号： H01L21/02579 ,  C23C16/24 ,  C30B25/105 ,  C30B29/06 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32495 ,  H01L21/0237 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02576 ,  H01L21/0262 ,  H01L31/1824 ,  Y02E10/545 ,  Y02P70/521

摘要： Methods for depositing a microcrystalline silicon film layer with improved deposition rate and film quality are provided in the present invention. Also, a photovoltaic (PV) cell having a microcrystalline silicon film is provided. In one embodiment, the method produces a microcrystalline silicon film on a substrate at a deposition rate greater than about 20 nm per minute, wherein the microcrystalline silicon film has a crystallized volume between about 20 percent to about 80 percent.

摘要翻译： 在本发明中提供了具有改进的沉积速率和膜质量的沉积微晶硅膜层的方法。 此外，提供具有微晶硅膜的光伏（PV）电池。 在一个实施例中，该方法以大于约20nm /分钟的沉积速率在衬底上产生微晶硅膜，其中微晶硅膜的结晶体积在约20％至约80％之间。

公开(公告)号：US07648892B2

公开(公告)日：2010-01-19

申请号：US12258194

申请日：2008-10-24

申请人： Soo Young Choi ,  Takako Takehara ,  John M. White ,  Yong Kee Chae

发明人： Soo Young Choi ,  Takako Takehara ,  John M. White ,  Yong Kee Chae

IPC分类号： H01L21/30 ,  H01L21/36

CPC分类号： H01L21/02579 ,  C23C16/24 ,  C30B25/105 ,  C30B29/06 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32495 ,  H01L21/0237 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02576 ,  H01L21/0262 ,  H01L31/1824 ,  Y02E10/545 ,  Y02P70/521

摘要： Methods for depositing a microcrystalline silicon film layer with improved deposition rate and film quality are provided in the present invention. Also, a photovoltaic (PV) cell having a microcrystalline silicon film is provided. In one embodiment, the method produces a microcrystalline silicon film on a substrate at a deposition rate greater than about 20 nm per minute, wherein the microcrystalline silicon film has a crystallized volume between about 20 percent to about 80 percent.

摘要翻译： 在本发明中提供了具有改进的沉积速率和膜质量的沉积微晶硅膜层的方法。 此外，提供具有微晶硅膜的光伏（PV）电池。 在一个实施例中，该方法以大于约20nm /分钟的沉积速率在衬底上产生微晶硅膜，其中微晶硅膜的结晶体积在约20％至约80％之间。

公开(公告)号：US20090053847A1

公开(公告)日：2009-02-26

申请号：US12258194

申请日：2008-10-24

申请人： SOO YOUNG CHOI ,  Takako Takehara ,  John M. White ,  Yong Kee Chae

发明人： SOO YOUNG CHOI ,  Takako Takehara ,  John M. White ,  Yong Kee Chae

IPC分类号： H01L31/105

CPC分类号： H01L21/02579 ,  C23C16/24 ,  C30B25/105 ,  C30B29/06 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32495 ,  H01L21/0237 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02576 ,  H01L21/0262 ,  H01L31/1824 ,  Y02E10/545 ,  Y02P70/521

摘要： Methods for depositing a microcrystalline silicon film layer with improved deposition rate and film quality are provided in the present invention. Also, a photovoltaic (PV) cell having a microcrystalline silicon film is provided. In one embodiment, the method produces a microcrystalline silicon film on a substrate at a deposition rate greater than about 20 nm per minute, wherein the microcrystalline silicon film has a crystallized volume between about 20 percent to about 80 percent.

摘要翻译： 在本发明中提供了具有改进的沉积速率和膜质量的沉积微晶硅膜层的方法。 此外，提供具有微晶硅膜的光伏（PV）电池。 在一个实施例中，该方法以大于约20nm /分钟的沉积速率在衬底上产生微晶硅膜，其中微晶硅膜的结晶体积在约20％至约80％之间。

公开(公告)号：US20070298590A1

公开(公告)日：2007-12-27

申请号：US11426127

申请日：2006-06-23

申请人： Soo Young Choi ,  Takako Takehara ,  John M. White ,  Yong Kee Chae

发明人： Soo Young Choi ,  Takako Takehara ,  John M. White ,  Yong Kee Chae

IPC分类号： H01L31/00 ,  H05H1/24 ,  H01L21/20 ,  H01L21/36

CPC分类号： H01L21/02579 ,  C23C16/24 ,  C30B25/105 ,  C30B29/06 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32495 ,  H01L21/0237 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02576 ,  H01L21/0262 ,  H01L31/1824 ,  Y02E10/545 ,  Y02P70/521

摘要： Methods for depositing a microcrystalline silicon film layer with improved deposition rate and film quality are provided in the present invention. Also, photovoltaic (PV) cell having a microcrystalline silicon film is provided. In one embodiment, the method produces a microcrystalline silicon film on a substrate at a deposition rate greater than about 20 nm per minute, wherein the microcrystalline silicon film has a crystallized volume between about 20 percent to about 80 percent.

摘要翻译： 在本发明中提供了具有改进的沉积速率和膜质量的沉积微晶硅膜层的方法。 此外，提供具有微晶硅膜的光伏（PV）电池。 在一个实施例中，该方法以大于约20nm /分钟的沉积速率在衬底上产生微晶硅膜，其中微晶硅膜的结晶体积在约20％至约80％之间。

公开(公告)号：US20090077804A1

公开(公告)日：2009-03-26

申请号：US12201840

申请日：2008-08-29

申请人： Robert Z. Bachrach ,  Yong-Kee Chae ,  Soo Young Choi ,  Nicholas G.J. De Vries ,  Yacov Elgar ,  Eric A. Englhardt ,  Michel R. Frei ,  Charles Gay ,  Parris Hawkins ,  Choi (Gene) Ho ,  James Craig Hunter ,  Penchala N. Kankanala ,  Liwei Li ,  Wing Hoo (Hendrick) Lo ,  Danny Cam Toan Lu ,  Fang Mei ,  Stephen P. Murphy ,  Srujal (Steve) Patel ,  Matthew J.B. Saunders ,  Asaf Schlezinger ,  Shuran Sheng ,  Tzay-Fa (Jeff) Su ,  Jeffrey S. Sullivan ,  David Tanner ,  Teresa Trowbridge ,  Brice Walker ,  John M. White ,  Tae K. Won

发明人： Robert Z. Bachrach ,  Yong-Kee Chae ,  Soo Young Choi ,  Nicholas G.J. De Vries ,  Yacov Elgar ,  Eric A. Englhardt ,  Michel R. Frei ,  Charles Gay ,  Parris Hawkins ,  Choi (Gene) Ho ,  James Craig Hunter ,  Penchala N. Kankanala ,  Liwei Li ,  Wing Hoo (Hendrick) Lo ,  Danny Cam Toan Lu ,  Fang Mei ,  Stephen P. Murphy ,  Srujal (Steve) Patel ,  Matthew J.B. Saunders ,  Asaf Schlezinger ,  Shuran Sheng ,  Tzay-Fa (Jeff) Su ,  Jeffrey S. Sullivan ,  David Tanner ,  Teresa Trowbridge ,  Brice Walker ,  John M. White ,  Tae K. Won

IPC分类号： H01L31/18 ,  H01L21/304 ,  B26F3/00

CPC分类号： H01L21/67236 ,  B23K26/364 ,  B26F3/002 ,  B26F3/004 ,  B65G49/064 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/04 ,  C03B33/03 ,  C03B33/033 ,  H01L21/67132 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/67715 ,  H01L21/67721 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/6776 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/03921 ,  H01L31/0504 ,  H01L31/075 ,  H02S50/00 ,  H02S50/10 ,  Y02E10/548 ,  Y02P40/57 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T29/49355 ,  Y10T29/5196 ,  Y10T29/53113 ,  Y10T29/5313 ,  Y10T29/5317 ,  Y10T29/53187 ,  Y10T29/53365 ,  Y10T29/53417 ,  Y10T225/10 ,  Y10T225/325 ,  Y10T225/329

摘要： The present invention generally relates to a sectioning module positioned within an automated solar cell device fabrication system. The solar cell device fabrication system is adapted to receive a single large substrate and form multiple silicon thin film solar cell devices from the single large substrate.

摘要翻译： 本发明一般涉及一种位于自动化太阳能电池器件制造系统内的切片模块。 太阳能电池器件制造系统适于接收单个大型衬底并从单个大衬底形成多个硅薄膜太阳能电池器件。

公开(公告)号：US08225496B2

公开(公告)日：2012-07-24

申请号：US12202199

申请日：2008-08-29

申请人： Robert Z. Bachrach ,  Yong-Kee Chae ,  Soo Young Choi ,  Nicholas G. J. De Vries ,  Yacov Elgar ,  Eric A. Englhardt ,  Michel R. Frei ,  Charles Gay ,  Parris Hawkins ,  Choi (Gene) Ho ,  James Craig Hunter ,  Penchala N. Kankanala ,  Liwei Li ,  Wing Hoo (Hendrick) Lo ,  Danny Cam Toan Lu ,  Fang Mei ,  Stephen P. Murphy ,  Srujal (Steve) Patel ,  Matthew J. B. Saunders ,  Asaf Schlezinger ,  Shuran Sheng ,  Tzay-Fa (Jeff) Su ,  Jeffrey S. Sullivan ,  David Tanner ,  Teresa Trowbridge ,  Brice Walker ,  John M. White ,  Tae K. Won

发明人： Robert Z. Bachrach ,  Yong-Kee Chae ,  Soo Young Choi ,  Nicholas G. J. De Vries ,  Yacov Elgar ,  Eric A. Englhardt ,  Michel R. Frei ,  Charles Gay ,  Parris Hawkins ,  Choi (Gene) Ho ,  James Craig Hunter ,  Penchala N. Kankanala ,  Liwei Li ,  Wing Hoo (Hendrick) Lo ,  Danny Cam Toan Lu ,  Fang Mei ,  Stephen P. Murphy ,  Srujal (Steve) Patel ,  Matthew J. B. Saunders ,  Asaf Schlezinger ,  Shuran Sheng ,  Tzay-Fa (Jeff) Su ,  Jeffrey S. Sullivan ,  David Tanner ,  Teresa Trowbridge ,  Brice Walker ,  John M. White ,  Tae K. Won

IPC分类号： H01L51/44 ,  H01L51/48 ,  H01L21/768 ,  H01L31/072

CPC分类号： H01L21/67236 ,  B23K26/364 ,  B26F3/002 ,  B26F3/004 ,  B65G49/064 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/04 ,  C03B33/03 ,  C03B33/033 ,  H01L21/67132 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/67715 ,  H01L21/67721 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/6776 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/03921 ,  H01L31/0504 ,  H01L31/075 ,  H02S50/00 ,  H02S50/10 ,  Y02E10/548 ,  Y02P40/57 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T29/49355 ,  Y10T29/5196 ,  Y10T29/53113 ,  Y10T29/5313 ,  Y10T29/5317 ,  Y10T29/53187 ,  Y10T29/53365 ,  Y10T29/53417 ,  Y10T225/10 ,  Y10T225/325 ,  Y10T225/329

摘要： The present invention generally relates to a system that can be used to form a photovoltaic device, or solar cell, using processing modules that are adapted to perform one or more steps in the solar cell formation process. The automated solar cell fab is generally an arrangement of automated processing modules and automation equipment that is used to form solar cell devices. The automated solar fab will thus generally comprise a substrate receiving module that is adapted to receive a substrate, one or more absorbing layer deposition cluster tools having at least one processing chamber that is adapted to deposit a silicon-containing layer on a surface of the substrate, one or more back contact deposition chambers, one or more material removal chambers, a solar cell encapsulation device, an autoclave module, an automated junction box attaching module, and one or more quality assurance modules that are adapted to test and qualify the completely formed solar cell device.

摘要翻译： 本发明一般涉及一种可用于形成光伏器件或太阳能电池的系统，该系统使用适于在太阳能电池形成过程中执行一个或多个步骤的处理模块。 自动化太阳能电池制造厂通常是用于形成太阳能电池器件的自动化处理模块和自动化设备的布置。 因此，自动化太阳能工厂将通常包括适于接收衬底的衬底接收模块，一个或多个吸收层沉积簇工具，其具有至少一个适于在衬底的表面上沉积含硅层的处理室 ，一个或多个背接触沉积室，一个或多个材料去除室，太阳能电池封装装置，高压釜模块，自动接线盒附接模块和一个或多个质量保证模块，其适于测试和限定完全形成 太阳能电池装置。

公开(公告)号：US20090077805A1

公开(公告)日：2009-03-26

申请号：US12202199

申请日：2008-08-29

申请人： Robert Z. BACHRACH ,  Yong-Kee Chae ,  Soo Young Choi ,  Nicholas G.J. De Vries ,  Yacov Elgar ,  Eric A. Englhardt ,  Michael R. Frei ,  Charles Gay ,  Parris Hawkins ,  Choi (Gene) Ho ,  James Craig Hunter ,  Penchala N. Kankanala ,  Liwei Li ,  Wing Hoo (Hendrick) Lo ,  Danny Cam Toan Lu ,  Fang Mei ,  Stephen P. Murphy ,  Srujal (Steve) Patel ,  Matthew J.B. Saunders ,  Asaf Schlezinger ,  Shuran Sheng ,  Tzay-Fa (Jeff) Su ,  Jeffrey S. Sullivan ,  David Tanner ,  Teresa Trowbridge ,  Brice Walker ,  John M. White ,  Tae K. Won

发明人： Robert Z. BACHRACH ,  Yong-Kee Chae ,  Soo Young Choi ,  Nicholas G.J. De Vries ,  Yacov Elgar ,  Eric A. Englhardt ,  Michael R. Frei ,  Charles Gay ,  Parris Hawkins ,  Choi (Gene) Ho ,  James Craig Hunter ,  Penchala N. Kankanala ,  Liwei Li ,  Wing Hoo (Hendrick) Lo ,  Danny Cam Toan Lu ,  Fang Mei ,  Stephen P. Murphy ,  Srujal (Steve) Patel ,  Matthew J.B. Saunders ,  Asaf Schlezinger ,  Shuran Sheng ,  Tzay-Fa (Jeff) Su ,  Jeffrey S. Sullivan ,  David Tanner ,  Teresa Trowbridge ,  Brice Walker ,  John M. White ,  Tae K. Won

IPC分类号： H01L31/18 ,  H05K13/00

CPC分类号： H01L21/67236 ,  B23K26/364 ,  B26F3/002 ,  B26F3/004 ,  B65G49/064 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/04 ,  C03B33/03 ,  C03B33/033 ,  H01L21/67132 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/67715 ,  H01L21/67721 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/6776 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/03921 ,  H01L31/0504 ,  H01L31/075 ,  H02S50/00 ,  H02S50/10 ,  Y02E10/548 ,  Y02P40/57 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T29/49355 ,  Y10T29/5196 ,  Y10T29/53113 ,  Y10T29/5313 ,  Y10T29/5317 ,  Y10T29/53187 ,  Y10T29/53365 ,  Y10T29/53417 ,  Y10T225/10 ,  Y10T225/325 ,  Y10T225/329

摘要： The present invention generally relates to a system that can be used to form a photovoltaic device, or solar cell, using processing modules that are adapted to perform one or more steps in the solar cell formation process. The automated solar cell fab is generally an arrangement of automated processing modules and automation equipment that is used to form solar cell devices. The automated solar fab will thus generally comprise a substrate receiving module that is adapted to receive a substrate, one or more absorbing layer deposition cluster tools having at least one processing chamber that is adapted to deposit a silicon-containing layer on a surface of the substrate, one or more back contact deposition chambers, one or more material removal chambers, a solar cell encapsulation device, an autoclave module, an automated junction box attaching module, and one or more quality assurance modules that are adapted to test and qualify the completely formed solar cell device.

摘要翻译： 本发明一般涉及一种可用于形成光伏器件或太阳能电池的系统，该系统使用适于在太阳能电池形成过程中执行一个或多个步骤的处理模块。 自动化太阳能电池制造厂通常是用于形成太阳能电池器件的自动化处理模块和自动化设备的布置。 因此，自动化太阳能工厂将通常包括适于接收衬底的衬底接收模块，一个或多个吸收层沉积簇工具，其具有至少一个处理室，该处理室适于在衬底的表面上沉积含硅层 ，一个或多个背接触沉积室，一个或多个材料去除室，太阳能电池封装装置，高压釜模块，自动接线盒附接模块和一个或多个质量保证模块，其适于测试和限定完全形成 太阳能电池装置。

公开(公告)号：US08114484B2

公开(公告)日：2012-02-14

申请号：US11833983

申请日：2007-08-04

申请人： Ya-Tang Yang ,  Tae Kyung Won ,  Soo Young Choi ,  Takako Takehara ,  John M. White

发明人： Ya-Tang Yang ,  Tae Kyung Won ,  Soo Young Choi ,  Takako Takehara ,  John M. White

IPC分类号： H01H1/24 ,  C23C16/00

CPC分类号： H01J37/32357 ,  C23C16/24 ,  C23C16/345 ,  C23C16/5096 ,  H01J37/32091

摘要： Methods for forming a film stack suitable for transistor fabrication using a low temperature plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) process are provided. In one embodiment, the method includes providing a substrate in a PECVD chamber, depositing a dual layer SiNx film on the substrate, depositing a dual layer amorphous silicon film on the SiNx film, and depositing a n-doped silicon film on the dual layer amorphous silicon film. The aforementioned films are deposited at a temperature less than about 300 degrees Celsius in the same PECVD chamber.

摘要翻译： 提供了使用低温等离子体增强化学气相沉积（PECVD）工艺形成适用于晶体管制造的膜堆叠的方法。 在一个实施例中，该方法包括在PECVD室中提供衬底，在衬底上沉积双层SiNx膜，在SiNx膜上沉积双层非晶硅膜，以及在双层非晶体上沉积n掺杂硅膜 硅膜。 上述膜在相同的PECVD室中以低于约300摄氏度的温度沉积。